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기준전극의 개구를 향하여 개방된 관통구조의 공간부(11)를 가지는 실리콘 웨이퍼(24)에 형성되는, 형상기억합금(SMA) 박막을 이용한 나노 유량 제어용 마이크로 밸브에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼(24) 상에 형성되며, 일정한 길이 및 너비의 관통홈을 구비한 절연층(13); 상기 절연층(13)의 상기 관통홈의 양단을 막도록 형성하되, 소정의 길이의 중앙부를 형성하여, 그 중앙부에 탄소나노튜브를 배치하기 위한 트랜치(15, 15')를 형성하며, 상기 중앙부를 제외한 부분은 상기 절연층(13)의 높이와 실질적으로 동일한 높이를 가지도록 배치되어, 상기 절연층(13)과 함께 챔버(18)를 형성하기 위한 DLC층(14, 14'); 상기 DLC 층(14, 14')의 트랜치(15, 15') 상부에 배치되도록 형성되는 상기 탄소나노튜브(16, 16'); 상기 챔버(18)의 전면적과 상기 탄소나노튜브(16, 16')의 챔버(18) 측 일부를 덮으면서 설치되는 상기 SMA 박막(17); 및 상기 SMA 박막(17)에 전기 에너지를 공급하기 위한 전극(19, 19') 을 포함하되, 밸브의 오프시에 상기 SMA 박막(17)이 상기 챔버(18)로 진입하는 KCl 용액의 유입을 차단하는 동시에, 상기 탄소나노튜브(16, 16')를 통한 액간 첩촉을 차단하는 것을 특징으로 하는 SMA 박막을 이용한 나노 유량 제어용 마이크로 밸브
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