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실리콘 웨이퍼(10), 절연용 실리콘 산화층(SIO2)(11) 및 상부 실리콘층(SOI)(12)의 상부에 구성되는, 형상기억합금 박막을 이용한 나노 유량 제어용 펌프에 있어서, 일정한 너비 및 깊이의 홈을 구비한 절연층(13); 상기 절연층(13)의 상기 관통홈의 양단을 막도록 형성하되, 소정의 길이의 중앙부를 형성하여, 그 중앙부에 탄소나노튜브를 배치하기 위한 트랜치(15, 15')를 형성하며, 상기 중앙부를 제외한 부분은 상기 절연층(13)의 높이와 실질적으로 동일한 높이를 가지도록 배치되어, 상기 절연층(13)과 함께 챔버(18)를 형성하기 위한 DLC층(14, 14'); 상기 DLC 층(14, 14')의 상면에 상기 트랜치(15, 15')에 형성되는 탄소나노튜브(16, 16'); 상기 챔버(18)의 전면적과 상기 탄소나노튜브(16, 16')의 챔버(18) 측 일부를 덮으면서 설치되는 SMA 박막(17); 및 상기 SMA 박막(17)에 전기 에너지를 공급하는 전극(19, 19') 을 포함하되, 상기 탄소나노튜브를 방향성 있는 다발로 구성하고, 상기 전극(19, 19')에 인가되는 전원의 온오프를 반복하여 상기 SMA 박막(17)이 맥동하도록 하여, 이러한 상기 SMA 박막(17)의 동작이 상기 챔버(18)의 공간 변위를 일으켜 압력이 발생하여 다발의 탄소나노튜브를 통하여 유체의 이송이 이루어지도록 하는 것 을 특징으로 하는 형상기억합금 박막을 이용한 나노 유량 제어용 펌프
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