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글라이딩 아크 방전을 이용한 과불화 화합물 가스 분해장치

  • 기술번호 : KST2014013970
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 글라이딩 아크 방전을 이용한 과불화 화합물 가스 분해장치에 관한 것으로, 구체적으로 상부에 배기구가 구비되어 있는 원통형 반응기와; 상기 반응기 내부에 두 개의 칼날 형상으로 장착된 전극부와; 상기 반응기 외부에 설치되며 상기 전극부에 전기를 인가하여 글라이딩 아크를 유도하는 전원과; 상기 반응기 내부의 전극부 사이에 원료가스인 과불화 화합물 가스와 희석가스를 혼합시켜 공급하는 혼합기와; 상기 혼합기로 공급되는 과불화 화합물 가스 저장장치 및 희석가스 저장장치를 포함하는 글라이딩 아크를 이용한 과불화 화합물 가스 분해장치 및 이를 이용한 과불화 화합물 가스 분해 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 과불화 화합물 가스 분해장치에 사용되는 글라이딩 아크는 이온이나 라디칼과 같은 화학 활성종들을 많이 생성하기 때문에 안정하고 분해하기 어려운 과불화 화합물 가스를 효과적으로 분해시킬 수 있다. 또한, 단위시간 당 많은 양의 유체를 처리할 수 있고, 구조가 간단한 장점이 있어 반도체 및 디스플레이 공정에 적용된다면 보다 효율적으로 과불화 화합물 가스를 처리할 수 있다. PFCs, 글라이딩 아크, 분해, 온실효과
Int. CL B01D 53/32 (2006.01)
CPC B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01)
출원번호/일자 1020080082805 (2008.08.25)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1038295-0000 (2011.05.25)
공개번호/일자 10-2010-0024108 (2010.03.05) 문서열기
공고번호/일자 (20110601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박동화 대한민국 서울특별시 서초구
2 신백균 대한민국 인천광역시 연수구
3 이종문 대한민국 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0602524-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2009-0040105-90
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0467812-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0768172-73
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0768171-27
8 등록결정서
Decision to grant
2011.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0277069-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부에 배기구가 구비되어 있는 원통형 반응기와; 상기 반응기 내부에 두 개의 스테인레스스틸 합금(SUS) 재질의 칼날 형상의 전극이 2~3 mm의 간격으로 장착된 전극부와; 상기 반응기 외부에 설치되며 상기 전극부에 전기를 인가하여 글라이딩 아크를 유도하는 펄스 AC 전원과; 상기 반응기 내부의 전극부 사이에 원료가스로 과불화 화합물 가스인 CF4, NF3 또는 SF6 가스와 희석가스를 혼합시켜 공급하는 혼합기와; 상기 혼합기로 3~10 L/min의 속도로 공급되는 과불화 화합물 가스 저장장치 및 희석가스 저장장치를 포함하는 글라이딩 아크를 이용한 과불화 화합물 가스 분해장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 반응기에서 과불화 화합물 가스가 분해된 후 배출되는 가스를 정성, 정량 분석하기 위해 배기구 말단에 구비된 분석장치를 더 포함하는 글라이딩 아크를 이용한 과불화 화합물 가스 분해장치
3 3
삭제
4 4
과불화 화합물 가스를 1/8인치 노즐을 통해 반응기에 도입시키는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 도입된 과불화 화합물 가스가 두 개의 칼날모양의 전극 사이를 지나면서 상기 전극 사이에서 발생된 아크 방전에 의해 분해되는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 분해된 가스를 배기구를 통해 배출하는 단계(단계 3)를 포함하는 제1항의 분해장치를 이용하여 과불화 화합물 가스를 분해하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 인하대학교 지역혁신센터(RIC)산업 유해폐기물 처리용 열프라즈마 공정시스템 개발