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집속 전자빔을 이용한 비정질 실리콘 박막으로부터 실리콘 나노결정 구조물의 제조방법 및 이에 의해 제조된 실리콘 나노결정 구조물

  • 기술번호 : KST2014013978
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알루미늄이 첨가된 비정질 실리콘 박막(a-AlxSi1-x, 0.025≤x≤0.10)을 실리콘 웨이퍼 상에 증착시키는 단계 및 상기 단계 1의 증착된 실리콘 박막에 집속 전자빔을 조사하여 실리콘 나노결정을 형성시키는 단계를 포함하는, 집속 전자빔을 이용한 실리콘 나노결정 구조물의 제조방법이다. 본 발명의 제조방법에 따라 알루미늄이 첨가된 비정질 실리콘 박막에 대해 저온에서 집속 전자빔을 조사하는 경우 나노결정의 크기 및 위치를 정밀하게 조절하여 실리콘 나노결정 구조물을 형성할 수 있다. 따라서 본 발명의 실리콘 나노결정 구조물의 제조방법을 사용하여 나노 스케일의 크기를 가지는 단일 실리콘 집적 소자, 실리콘 기반 광소자 및 광전소자의 개발이 가능하다. 실리콘 나노결정 구조물, 집속 전자빔, 알루미늄
Int. CL B82B 3/00 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020080084562 (2008.08.28)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1020782-0000 (2011.03.02)
공개번호/일자 10-2010-0025842 (2010.03.10) 문서열기
공고번호/일자 (20110309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조남희 대한민국 인천 남구
2 심재현 대한민국 인천 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0614757-02
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0385244-81
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0688044-83
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0688046-74
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0116049-87
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
알루미늄이 첨가된 비정질 실리콘 박막(a-AlxSi1-x, 0
2 2
삭제
3 3
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4 4
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5 5
제1항의 제조방법에 의해 비정질 실리콘 박막에 집속 전자빔을 조사하여 제조된 실리콘 나노결정 구조물
6 6
제5항에 있어서, 상기 나노결정의 평균 크기는 5～15 nm인 것을 특징으로 하는 실리콘 나노결정 구조물
7 7
제5항에 있어서, 상기 나노결정 구조물은 실리콘 나노팁인 것을 특징으로 하는 실리콘 나노결정 구조물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.