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(1) 금속판을 배치하고, 상기 금속판과 일정한 거리를 두고 수평으로 막대 형상의 나노 구조물이 부착될 고정대를 배치하는 단계; (2) 막대 형상의 나노 구조물이 분산되어 있는 용액을 상기 고정대와 금속판 사이에 상기 고정대와 금속판의 적어도 그 일부가 잠기도록 제공하는 단계; 및 (3) 상기 고정대와 금속판에 전압을 가하여 용액 내 나노 구조물을 고정대에 부착시키는 단계 를 포함하는 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 기계적, 전기적 및 화학적 신호를 검출하는 프로브의 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 단계 (3) 이후, 상기 고정대에 부착된 나노 구조물을 방전법을 이용하여 처리함으로써 고정대의 끝단 보다 돌출된 나노 구조물 부분의 길이를 조절하는 단계를 더 포함하는 방법
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제 2 항에 있어서, 단계 (3) 이후, 상기 고정대에 부착된 나노 구조물을 고정 수단을 이용하여 상기 고정대에 보다 단단히 고정시키는 단계를 더 포함하는 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고정 수단은 크롬 및 알루미늄으로부터 선택된 금속 또는 이산화규소(SiO2)의 절연 물질을 포함하는 무기 물질을 고정대와 막대 형상의 나노 구조물이 연결된 부위에 섬들(Islands)의 형태(물방울 형태)로 증착시켜 형성하는 것을 특징으로 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 무기물질의 섬들(물방울 형태)을 클러스터(cluster)의 형태로 형성하는 특징으로 하는 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고정수단은 막대 형상의 나노 구조물과 고정대가 연결된 부위에 코팅 필름을 부착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고정수단은 막대 형상의 나노 구조물과 고정대가 연결된 부위를 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope) 상에서 용융 접합(sion-welding)에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
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팁 끝에 막대 형상의 나노 구조물을 부착하기 위하여, (1) 임의의 형상의 제 1 전극을 배치하는 단계;(2) 팁을 전압이 인가될 수 있도록 전도성이 있게 제조하고 상기 제 1 전극으로부터 일정한 거리를 두고 배치하는 단계;(3) 상기 팁 끝과 상기 제 1 전극 사이에 막대 형상의 나노 구조물이 분산되어 있는 용액을 상기 제 1 전극과 상기 팁 각각의 적어도 일부가 잠기도록 제공하는 단계; 및 (4) 상기 전극들에 전압을 가하여 상기 용액 내 분산되어 있는 나노 구조물을 팁 끝에 부착시키는 단계 를 포함하는 프로브 팁의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 단계 (4) 이후, 고정 수단을 이용하여 상기 팁 끝에 부착된 나노 구조물을 보다 단단히 고정시키는 단계를 더 포함하는 방법
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(1) 실리콘 기판 상에 한쌍의 금속 전극으로 이루어진 고정대를 배치하는 단계; (2) 막대 형상의 나노 구조물이 분산되어 있는 용액을 상기 두 금속 전극 사이에 상기 금속 전극들의 인접한 단부가 전부 혹은 일부가 잠기도록 제공하는 단계; (3) 상기 금속 전극들에 전압을 가하여 용액 내 분산되어 있는 나노 구조물을 상기 전극들의 단부에 부착시키는 단계; 및 (4) 상기 금속 전극의 단부 일부분을 꺾어 올려 “ㄴ” 자 같은 형태로 만드는 단계 를 포함하는 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 기계적, 전기적 및 화학적 신호를 검출하는 프로브의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 단계 (3) 이후, 고정 수단을 이용하여 상기 금속 전극에 부착된 나노 구조물을 보다 단단히 고정시키는 단계를 더 포함하는 방법
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(1) 실리콘 기판 위에 에칭을 통해 홈을 만들고, 그 위에 금속을 증착시켜 제 1 전극을 형성하는 단계; (2) 제 1 전극의 상부에 일정한 거리를 두고 끝부분이 제 1 전극을 향하여 돌출된 제 2 전극을 형성하는 단계; (3) 두 전극 사이에 막대 형상의 나노 구조물이 분산되어 있는 용액을 두 전극의 사이에 배치하는 단계; (4) 상기 두 전극에 전압을 가하여 상기 용액 내 분산되어 있는 나노 구조물을 제 2 전극의 돌출부에 부착시키는 단계 를 포함하는 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 기계적, 전기적 및 화학적 신호를 검출하는 프로브의 제조 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 단계 (4) 이후, 고정 수단을 이용하여 상기 제 2 전극의 돌출부에 부착된 나노 구조물을 보다 단단히 고정시키는 단계를 더 포함하는 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 단계 (4) 이후, 고정 수단을 이용하여 상기 제 2 전극의 돌출부에 부착된 나노 구조물을 보다 단단히 고정시키는 단계를 더 포함하는 방법
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