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그 내부에 금속 전극 구비하고 그 일측에 금속 전극 노출부를 갖고 병렬식으로 배치된 세라믹 평판들, 상기 세라믹 평판들 사이에 통공이 형성되도록 상기 세라믹 평판들 사이에 배치되는 복수개의 세라믹 스페이서와, 상기 세라믹 평판 들 및 세라믹 스페이서들을 접합시키는 글래스 페이스트를 포함하는 저온 플라즈마 반응기에 있어서, 상기 세라믹 평판들 중 내부 열을 방출하는 방열홈을 구비한 최상단층 세라믹 평판과 최하단층 세라믹 평판, 및 전후면이 밀랍 폴리싱 처리된 복수개의 세라믹 평판들을 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마 반응기
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다층 세라믹 평판을 구비한 유전체 장벽 방전 방식 평판형 저온 플라즈마 반응기를 구성하는 방법에 있어서, 세라믹 평판 사이의 접합을 하는 공정에서 상호 접합에 앞서 글래스 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 유기 용제를 제거한 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 세라믹 평판의 접합하고자 하는 면을 서로 마주보게 한 후 융착 시키는 단계와;상기 융착된 세라믹 평판 전후면을 밀랍 폴리싱 처리하는 단계를 포함하는 저온 플라즈마 반응기 제조 방법
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다층 세라믹 평판을 구비한 유전체 장벽 방전 방식 평판형 저온 플라즈마 반응기를 구성하는 방법에 있어서, 금속 전극을 세라믹 평판의 일측면의 내부에 스크린 인쇄 처리하는 단계와;상기 금속 전극을 상기 세라믹 평판의 가장자리까지 연결되어 외부의 전극이 통전할 수 있는 전극 접촉부를 스크린 인쇄 처리하되 이웃하는 세라믹 평판의 전극 접촉부와 서로 반대 방향으로 엇갈려 배열되도록 형성하는 단계와;상기 금속전극의 프린팅 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 금속 전극 프링팅 면의 유기 용제 제거 공정 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 금속전극의 열처리가 끝난 후 금속전극의 경계면과 약간 겹쳐지도록 글래스 페이스트를 금속전극의 둘레에 스크린 인쇄 하는 단계;상기 글래스 페이스트로 프린팅된 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트 프린팅 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 세라믹 평판의 접합하고자 하는 면을 서로 마주보게 한 후 융착 시키는 단계와;상기 융착된 세라믹 평판 전후면을 밀랍 폴리싱 처리하는 단계를 포함하는 저온 플라즈마 반응기 제조 방법
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다층 세라믹 평판을 구비한 유전체 장벽 방전 방식 평판형 저온 플라즈마 반응기를 구성하는 방법에 있어서, 상기 세라믹 평판의 일측면 내부와 이에 대응하는 타 세라믹 평판의 일측면의 내부에 각각 금속전극으로 스크린 인쇄 처리하는 단계와;상기 금속 전극을 상기 세라믹 평판의 가장자리까지 연결되어 외부의 전극이 통전할 수 있는 전극 접촉부를 스크린 인쇄 처리하되 이웃하는 세라믹 평판의 전극 접촉부와 서로 반대 방향으로 엇갈려 배열되도록 형성하는 단계와; 상기 금속전극의 프린팅 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 금속 전극 프린팅 면의 유기 용제를 제거한 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 금속전극의 열처리가 끝난 후 금속전극의 경계면과 약간 겹쳐지도록 글래스 페이스트를 금속전극의 둘레에 스크린 인쇄 하는 단계와;상기 글래스 페이스트로 프린팅 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 프린팅된 면의 유기 용제를 제거한 후 4페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 세라믹 평판의 접합하고자 하는 면을 서로 마주보게 한 후 융착 시키는 단계와;상기 융착된 세라믹 평판 전후면을 밀랍 폴리싱 처리하는 단계를 포함하는 저온 플라즈마 반응기 제조 방법
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다층 세라믹 평판을 구비한 유전체 장벽 방전 방식 평판형 저온 플라즈마 반응기를 구성하는 방법에 있어서, 상기 금속 전극을 세라믹 평판의 일 측면의 내부에 스크린 인쇄 하고, 상기 세라믹 평판의 가장자리까지 연결되어 외부의 전극이 통전할 수 있는 전극접촉부를 형성하되 이웃하는 세라믹 평판의 전극 접촉부와 서로 반대 방향으로 엇갈려 배열되도록 형성하는 단계와;상기 금속전극의 프린팅 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 금속 전극 프린팅 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 금속 전극 프린팅 면의 유기 고분자 제거후 금속전극의 열처리가 끝난 후 금속전극의 경계면과 약간 겹쳐지도록 글래스 페이스트를 금속전극의 둘레에 스크린 인쇄 하는 단계와;상기 금속 전극 둘레에 글래스 페이스트로 프린팅 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 금속 전극 둘레에 글래스 페이스트로 프린팅 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 세라믹 평판의 일측면에 금속전극과 글래스 페이스트에 의하여 스크린 인쇄으로 처리된 면위에 다시 글래스 페이스트를 스크린 인쇄 하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 스크린 인쇄된 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 스크린 인쇄된 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 세라믹 평판의 접합하고자 하는 면을 서로 마주보게 한 후 융착 시키는 단계와;상기 융착된 세라믹 평판 전후면을 밀랍 폴리싱 처리하는 단계를 포함하는 저온 플라즈마 반응기 제조 방법
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다층 세라믹 평판을 구비한 유전체 장벽 방전 방식 평판형 저온 플라즈마 반응기를 구성하는 방법에 있어서, 세라믹 평판의 일면에 글래스 페이스트를 스크린 인쇄 하는 단계와;상기 글래스 페이스트로 프린팅 면이 노출된 상태에서페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 프린팅된 면의 유기 용제를 제거한 후페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 프린팅된 면위에 금속 전극을 세라믹 평판의 일 측면의 내부에 스크린 인쇄 하고, 상기 세라믹 평판의 가장자리까지 연결되어 외부의 전극이 통전할 수 있는 전극접촉부를 형성하되 이웃하는 세라믹 평판의 전극 접촉부와 서로 반대 방향으로 엇갈려 배열되도록 형성하는 단계와,;상기 금속전극의 프린팅 면이 노출된 상태에서 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 금속 전극 프린팅 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 금속전극의 열처리가 끝난 후 금속전극의 경계면과 약간 겹쳐지도록 글래스 페이스트를 금속전극의 둘레에 스크린 인쇄 하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 스크린 인쇄된 면이 노출된 상태에서페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 스크린 인쇄된 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 세라믹 평판의 일측면에 금속전극과 글래스 페이스트에 의하여 스크린 인쇄으로 처리된 면위에 글래스 페이스트를 재스크린 인쇄 하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 재스크린 인쇄된 면이 노출된 상태에서 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하는 단계와;상기 글래스 페이스트가 재스크린 인쇄된 면의 유기 용제 제거 후 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하는 단계와;상기 밀납 폴리싱 처리된 세라믹 평판의 접합하고자 하는 면을 서로 마주보게 한 후 융착 시키는 단계와;상기 융착된 세라믹 평판 전후면을 밀랍 폴리싱 처리하는 단계를 포함하는 저온 플라즈마 반응기 제조 방법
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제 3항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,상기 금속전극의 형상은 모든 모서리가 둥글게 처리되는 단계를 특징으로 하는 다층 세라믹 평판을 구비한 저온 플라즈마 반응기의 제조방법
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제 3항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,상기 금속전극의 재질을 전도성 금속으로 형성하는 특징으로 하는 다층 세라믹 평판을 구비한 저온 플라즈마 반응기의 제조방법
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제 3항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,상기 복수개의 세라믹 평판의 일측에는 상기 전극 접촉부와 대응되는 위치에 금속전극 노출부가 마련하도록 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마 반응기의 제조방법
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제 3항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 세라믹 평판중 최상단층 세라믹 평판과 최하단층 세라믹 평판에 내부 열을 방출하기 위한 방열홈을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마 반응기 제조 방법
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