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차동형 이종접합 포토트랜지스터

  • 기술번호 : KST2014014190
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 차동형 이종접합 포토트랜지스터에 관한 것으로, NPIN형 이종접합 포토트랜지스터를 적어도 둘 이상 어레이하고 일부의 이종접합 포토트랜지스터에 차광막을 형성하여 차동형 이종접합 포토트랜지스터를 제작함으로써, 암전류가 낮은 값을 가지는 이상적인 수광소자를 구현할 수 있는 효과가 있다. 또한, NPIN형 이종접합 포토트랜지스터를 고용하여, 종래의 PIN 광검출기에 비하여, 높은 감도와 넓은 동적 범위(Dynamic range) 특성을 가지므로, 매우 미약한 근적외 광신호를 감지할 수 있어 인체 감지와 같은 의료용, 환경용, 군사용 등에 응용할 수 있는 효과가 있다. 이종접합, 차동, 포토트랜지스터, NPIN, 차광층
Int. CL H01L 31/10 (2006.01)
CPC H01L 31/1127(2013.01) H01L 31/1127(2013.01) H01L 31/1127(2013.01) H01L 31/1127(2013.01)
출원번호/일자 1020030098648 (2003.12.29)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0567786-0000 (2006.03.29)
공개번호/일자 10-2005-0067650 (2005.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20060405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조영창 대한민국 경기도오산시
2 김훈 대한민국 서울특별시강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
4 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0501730-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0041813-26
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0541093-36
6 의견서
Written Opinion
2005.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0762907-22
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0762942-10
8 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2005.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0762884-60
9 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2006.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0092956-12
10 등록결정서
Decision to grant
2006.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0162627-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
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InP 기판 상부에 제 1과 2 NPIN형 이종접합 포토트랜지스터가 상호 이격되어 형성되어 있고;상기 제 1과 2 NPIN형 이종접합 포토트랜지스터 각각은 InP 기판 상부에 서브 컬렉터(Sub collector)층이 형성되어 있고;상기 서브 컬렉터층 상부에 식각 방지층, 진성반도체층과 베이스 컨택층이 순차적으로 적층되어 있고;상기 베이스 컨택층 상부에 스페이서층, 제 1 에미터층, 제 2 에미터층과 에미터 컨택층이 순차적으로 적층되어 있고;상기 서브 컬렉터층 일부 상부, 상기 베이스 컨택층 일부 상부와 상기 에미터 컨택층 상부 각각에 전극패드가 형성되어 있고;상기 InP 기판 상면에서 에미터 컨택층 상부에 있는 전극패드 상부까지 패시베이션 물질막이 덮혀져 있고;상기 각각의 전극패드는 상기 패시베이션 물질막 내부에 형성된 도전성 물질이 충진된 비아홀들과 인터커넥션(Interconnection) 라인을 통하여 상기 패시베이션 물질막 상부의 전극패드들과 전기적으로 연결되어 있으며;상기 패시베이션 물질막 상부에는 상기 제 2 NPIN형 이종접합 포토트랜지스터를 차광시키는 차광층이 형성되도록 구성하며, 상기 서브 컬렉터층 상부의 전극패드는 +전압이 인가되도록 연결되도록, 상기 패시베이션 물질막 상부의 전극패드와 연결되고; 상기 베이스 컨택층 상부에 형성된 전극패드는 동일 전위 상태 또는 플로팅(Floating) 상태가 되도록, 상기 패시베이션 물질막 상부의 전극패드와 연결되고; 상기 에미터 컨택층 상부에 형성된 전극패드는 그라운드 상태 또는 - 전압이 인가되도록, 상기 패시베이션 물질막 상부의 전극패드와 연결되는 것을 특징으로 하는 차동형 이종접합 포토트랜지스터
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제 4 항에 있어서, 상기 서브 컬렉터층은 N+ InGaAs층이고, 식각 방지층은 InP층이고, 흡수층은 진성반도체 InGaAs층이고, 베이스 컨택층은 P+ InGaAs층이고, 스페이서층은 도핑되지 않은 InGaAs층이고, 상기 제 1 에미터층은 N+ InP층이고, 상기 제 2 에미터층은 상기 제 1 에미터층보다 하이도핑된 N+ InP층이고, 상기 에미터 컨택층은 N+ InGaAs층인 것을 특징으로 하는 차동형 이종접합 포토트랜지스터
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제 4 항에 있어서, 상기 패시베이션 물질막은 폴리이미드막 또는 실리콘 질화막인 것을 특징으로 하는 차동형 이종접합 포토트랜지스터
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제 4 항에 있어서, 상기 패시베이션 물질막은 폴리이미드막 또는 실리콘 질화막인 것을 특징으로 하는 차동형 이종접합 포토트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.