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소정의 빛을 조사하는 발광장치(100);상기 발광장치(100)에서 나온 광선을 복수 픽셀의 개별 제어에 따라 광로를 변경하는 영상소자(200);상기 영상소자(200)중 상기 복수 픽셀의 상태를 개별 제어하는 영상소자 제어부(300);상기 영상소자(200)를 통과 또는 반사한 상기 광선이 조사되는 태양전지판(400);및상기 태양전지판(400)에서 발생한 광전류 신호에 기초하여 상기 태양전지판(400)의 양자효율을 산출하는 산출제어부(900);를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 발광장치(100)는 인공 태양광을 발생시키는 인공태양광 발생장치(110)인 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 2항에 있어서, 상기 인공태양광 발생장치(110)는,제논램프(111);및상기 제논램프(111)에서 발생하는 빛을 포집하기 위한 리플렉터(112);를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 3항에 있어서,상기 인공태양광 발생장치(110)는, 상기 리플렉터(112)를 통해 포집된 상기 빛의 스펙트럼 분포를 보정하는 보정필터(113)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 발광장치(100)의 빛을 상기 영상소자(200)에 집속시키는 집속렌즈(600)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 영상소자(200)는 상기 광선을 통과시키거나 차단할 수 있는 액정디스플레이 소자(210)인 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 영상소자(200)는 상기 광선을 반사시킬 수 있는 디지털극소거울 소자(220)인 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 산출제어부(900)에서 산출된 양자효율을 표시하기 위한 표시부(500)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 산출제어부(900)는, 상기 태양전지판(400)에서 발생하는 광전류를 전압 신호로 변환하는 전류/전압 변환기(510); 및상기 전압 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지털 변환기(520);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 2항에 있어서,상기 인공 태양광 중 특정 파장대의 광선을 통과시키는 색필터(700)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 10항에 있어서,상기 색필터(700)는 광로상에 파장대별 복수의 색필터(700)가 삽입될 수 있도록 색필터 회전장치(710)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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제 2항에 있어서,상기 인공 태양광을 태양전지판(400)에 조사하기 위해 상기 영상소자(200)와 상기 태양전지판(400) 사이에 광조절렌즈(800)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치
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발광장치(100)를 통해 소정의 빛이 조사되는 단계(S100);상기 발광장치(100)에서 나온 광선이 복수 픽셀의 개별 제어가 가능한 영상소자(200)에 집속되는 단계(S200);상기 광선이 영상소자 제어부(300)의 소정 픽셀의 제어 명령에 따라 상기 픽셀을 통과 또는 상기 픽셀에 반사되는 단계(S300);상기 픽셀에 대응되는 상기 광선이 태양전지판(400)에 조사되는 단계(S400);상기 태양전지판(400)에 조사된 상기 광선에 의해 광전류 신호가 발생되는 단계(S500);및산출 제어부(900)가 상기 광전류 신호를 기초로 양자효율을 산출하는 단계(S600);를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 방법
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제 13항에 있어서,상기 조사단계(S100)는,제논램프(111)로부터 나온 광선이 리플렉터(112)에 반사되어 특정 방향을 갖는 단계(S110);및상기 광선이 보정필터(113)를 통과하여 보정된 스펙트럼 분포를 갖는 단계(S120);인 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 방법
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제 14항에 있어서,상기 영상소자(200) 집속단계(S200)는,인공태양광 중 소정 파장대의 광선이 색필터 회전장치(710)에 삽입된 색필터(700)를 통해 투과되는 단계(S210)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 방법
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제 13항에 있어서,상기 픽셀의 통과 또는 반사 단계(S300)와 상기 태양전지판(400) 조사단계(S400) 사이에는, 상기 광선이 상기 영상소자(200)와 상기 태양전지판(400) 사이에 위치한 광조절렌즈(800)를 통과하는 단계(S310)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 방법
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제 13항에 있어서,상기 양자효율 산출단계(S600)는,공간응답특성이 균일한 광검출기에서 발생한 광전류 데이터가 상기 산출 제어부(900)에 획득되는 단계(S610);상기 태양전지판(400)에서 발생한 광전류 데이터가 상기 산출 제어부(900)에 획득되는 단계(S620);상기 산출 제어부(900)가 상기 태양전지판(400)의 광전류 데이터를 상기 광검출기의 광전류 데이터로 나누어 규격화된 데이터로 변환하는 단계(S630);및상기 규격화된 데이터에 기초하여 상기 태양전지판(400)의 양자효율 균질도 정보를 획득하는 단계(S640);인 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 방법
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제 17항에 있어서,상기 광전류 데이터 획득단계(S610)가 실행되기 전에,상기 태양전지판(400) 위치에 2축 서보 제어 이송대를 포함하는 상기 광검출기를 배치하는 단계(S605)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 방법
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