| 1 |
1
수정화학 기상증착(Modified Chemical Vapor Deposition, MVCD) 공정을 이용하여 모재 튜브를 광섬유 모재로 제조하기 위한 로에 있어서,모재 튜브가 관통하는 입구 및 출구가 마련된 케이스;상기 모재 튜브와 일정한 갭(Gap)을 유지하면서, 상기 모재 튜브를 감싸도록 케이스 내부에 구비되는 발열체;상기 모재 튜브와 대향하는 발열체의 내측면과 일정한 갭을 유지하면서, 상기 발열체 근처까지 연장 형성되도록 케이스의 입구 및 출구에 각각 구비된 머플 튜브; 및상기 발열체의 양단에 각각 구비되어, 상기 발열체와 케이스 사이에 불활성 가스가 주입되도록 통로를 제공하는 제 1 및 제 2 주입구;를 포함하되,상기 제 1 및 제 2 주입구에 각각 주입되는 불활성 가스의 유량(A, B)과, 상기 로의 공정 진행 방향에 따른 이송 속도(C)는 다음의 수학식을 만족하는 것을 특징으로 하는 발열체의 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 주입구를 통해서 주입되는 비활성 가스는 로의 공정 진행 방향으로 배출되는 것을 특징으로 하는 발열체 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 주입구 각각은 공정 진행 방향의 후방 및 전방에 위치되는 것을 특징으로 하는 발열체 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 케이스의 입구 및 출구 각각에 구비되어, 상기 모재 튜브의 외측면에 불활성 가스가 분사되도록 통로를 제공하는 한 쌍의 분사구;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발열체 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 분사구 각각은 로 내부로 외부 공기가 유입되지 않도록, 상기 입구 및 출구의 측단부로 소정 각도 경사진 것을 특징으로 하는 발열체 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 불활성 가스는 N2, Ar 및 He 을 포함하는 것을 특징으로 하는 발열체 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 발열체는 그라파이트(Graghit) 재질인 것을 특징으로 하는 발열체 산화 방지를 위한 광섬유 모재 제조용 로
|
| 8 |
8
모재 튜브의 외주면을 감싸도록 케이스 내에 구비된 발열체, 상기 모재 튜브와 대향하는 발열체의 내측면과 일정한 갭을 유지하면서, 상기 발열체 근처까지 연장 형성되도록 케이스의 입구 및 출구에 각각 구비된 머플 튜브와, 상기 발열체의 양단에 구비되어, 상기 발열체와 케이스 사이에 불활성 가스가 주입되도록 통로를 제공하는 제 1 및 제 2 주입구를 구비하는 로를 이용하여 광섬유 모재를 제조하는 방법으로서,(a) 공정 진행 방향으로 이송되는 로 내부로 모재 튜브를 투입하고, 상기 발열체의 발열을 통해 모재 튜브를 증착이 가능한 온도로 가열하면서, 상기 모재 튜브 내부로 반응 가스를 주입하여, 상기 모재 튜브 내에 클래드층 및 코어층을 순차적으로 형성시키는 단계; 및(b) 상기 공정 진행 방향으로 이송되는 로 내부로 클래드층 및 코어층이 형성된 모재 튜브를 투입하고, 상기 발열체의 발열을 통해 모재 튜브를 붕괴시키는 단계;를 포함하되,(c) 상기 모재 튜브의 가열시, 상기 발열체의 산화에 의해 생성된 산화물이 로 외부로 배출될 수 있도록, 상기 제 1 및 제 2 주입구에 다음의 수학식을 만족하는 불활성 가스를 주입시키는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 주입구를 통해서 주입되는 비활성 가스는 로의 공정 진행 방향으로 배출되고, 상기 배출에 의해 산화물이 로 내부에서 제거되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조 방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 주입구 각각은 공정 진행 방향의 후방 및 전방에 위치되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조 방법
|
| 11 |
11
제8항에 있어서,상기 불활성 가스는 N2, Ar 및 He 을 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조 방법
|
| 12 |
12
제8항 내지 제11항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된 광섬유 모재
|
| 13 |
13
제12항의 광섬유 모재로부터 인선되는 광섬유
|
