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대상체의 전기 광학 특성을 검사하기 위한 전기 광학 특성 검사 방법에 있어서,a) 고정된 상기 대상체의 전기 광학 특성 검사를 위한 목표 위치에 선형의 도전성 와이어와 상기 와이어의 외주면에 광섬유 어레이가 다발형태로 구성되어 광 가이드와 전기 신호인가가 가능한 프루브를 근접시키는 단계;b) 상기 목표 위치로 상기 프루브의 와이어를 통해 전기 신호를 인가하고, 상기 목표 위치로부터 발생되는 출력광을 상기 프루브의 광섬유 어레이를 통해 수광 하는 단계; 및c) 상기 출력광을 분석하는 단계를 포함하는 전기 광학 특성 검사 방법
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제 1 항에 있어서,상기 a) 단계는,상기 프루브를 상기 대상체의 상기 목표 위치에 맞도록 상대적으로 이동시키는 단계를 포함하는 전기 광학 특성 검사 방법
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제 1 항에 있어서,상기 b) 단계는,광파워 및 광파장 중 적어도 하나를 측정하는 단계를 포함하는 전기 광학 특성 검사 방법
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제 3 항에 있어서,상기 b) 단계는,인가되는 전류를 단계별로 변화시켜 전압의 변화를 측정하고, 이에 상응하는 상기 광파워 및 광파장을 측정하는 단계; 혹은인가되는 전압을 단계별로 변화시켜 전류의 변화를 측정하고, 이에 상응하는 상기 광파워 및 광파장을 측정하는 단계를 포함하는 전기 광학 특성 검사 방법
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제 3 항에 있어서,상기 c) 단계 이후에,미리 설정된 상기 전기 광학 특성 검사를 위한 다른 목표 위치가 존재하는지 파악하는 단계를 더 포함하되 존재하지 않는 경우,분석된 상기 광파워와 광파장을 측정시간, 상기 목표 위치, 측정 전압, 측정전류 중 적어도 하나의 정보와 매칭하여 데이터화하는 단계를 포함하는 전기 광학 특성 검사 방법
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대상체의 전기 광학 특성을 검사하기 위한 전기 광학 특성 검사 장치에 있어서,선형의 도전성 와이어와 상기 와이어의 외주면에 광섬유 어레이가 다발형태로 구성되는 프루브;고정된 상기 대상체의 전기 광학 특성 검사를 위한 목표 위치에 상기 프루브를 이송하여 근접시키는 제2 스테이지부;상기 와이어에 전원을 인가하는 전기 신호부; 및상기 프루브와 연결되며 상기 목표 위치에서 발생되는 출력광을 분석하는 광 신호부를 포함하되,상기 프루브는 상기 목표 위치에 상기 전원을 인가하여 발광시키고, 발생되는 출력광을 상기 광섬유 어레이를 통해 수광하여 광분석부로 전달하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 6 항에 있어서,상기 프루브는,상기 광섬유 어레이의 각 광섬유 끝단에 반구형의 집광렌즈가 각각 부착되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 프루브는,상기 광섬유 어레이를 외부 충격으로부터 보호하고 배열이 일정하게 유지되도록 감싸는 피복부를 포함하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 6 항에 있어서,상기 대상체가 안착되는 척과 상기 대상체를 복수의 방향으로 이동시키는 제1 스테이지부; 및상기 제1 스테이지부 및 제2 스테이지부의 다축 구동을 제어하는 신호처리 및 제어부를 더 포함하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제2 스테이지부는,제어신호에 따라 상기 대상체의 위치에 대한 상기 프루브의 상대적 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 6 항에 있어서,상기 전기 신호부는,상기 프루브의 와이어를 통해 상기 목표 위치에 인가되는 전압 또는 전류를 발생하는 전기신호 발생부; 및상기 프루브에 인가되는 상기 전압 또는 전류에 대한 반응 전류 및 반응 전압을 측정하는 전기신호 측정부를 포함하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 6 항에 있어서,상기 광 신호부는,상기 출력광을 분석하여 광 파워를 측정하는 광 파워 분석기; 및상기 출력광을 분석하여 광 파장을 측정하는 광 파장 분석기를 포함하는 전기 광학 특성 검사 장치
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제 12 항에 있어서,상기 광 신호부는,상기 프루브를 통해 수집된 출력광을 임시로 보관하는 적분구를 더 포함하며, 상기 광 파워 분석기 및 광 파장 분석기는 상기 적분구를 통해 상기 출력광을 제공받는 것을 특징으로 하는 전기 광학 특성 검사 장치
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