맞춤기술찾기

이전대상기술

진공펌프용 여과장치

  • 기술번호 : KST2014019440
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공챔버와 진공펌프 사이에 연결되어 상기 진공챔버 내의 기체에 포함된 불순물을 여과시키는 진공펌프용 여과장치를 제공하기 위한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 진공챔버와 연결되는 유입구 및 상기 진공펌프와 연결되는 배출구를 포함하며, 불순물을 걸러낼 수 있는 여과유체가 일정 높이만큼 채워지는 수용공간이 제공된 하우징, 일측이 상기 유입구에 연결되고 타측이 상기 여과유체에 잠긴 상태로 구비되어, 상기 진공챔버에서 유입된 기체를 상기 여과유체 내로 안내하는 안내관, 적어도 일부가 상기 여과유체 내에서 상기 안내관보다 작은 단면적을 가지며 상기 안내관에 연통 되어, 상기 안내관 내의 기체를 상기 여과유체 내로 안내하는 하나 이상의 보조관으로 구성된다. 본 발명에 의하면, 미세유량의 처리가 효율적으로 이루어져 진공펌프에 가해지는 진동 충격을 감소시키고, 상기 진공챔버 내의 기체에 포함된 불순물을 여과하는 효율이 높아지게 되어 상기 진공펌프의 수명을 연장시키는 효과를 가져온다. 진공챔버, 진공펌프, 여과장치
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01)
출원번호/일자 1020070130773 (2007.12.14)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0921743-0000 (2009.10.07)
공개번호/일자 10-2009-0063424 (2009.06.18) 문서열기
공고번호/일자 (20091015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.14)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박형기 대한민국 경기 수원시 장안구
2 정주영 대한민국 서울 송파구
3 김태균 대한민국 경기 성남시 분당구
4 최경락 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0900104-50
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.02.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0008442-10
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0137700-81
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0326816-10
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0326843-32
10 등록결정서
Decision to grant
2009.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0403000-57
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공챔버와 진공펌프 사이에 연결되어 상기 진공챔버 내의 기체에 포함된 불순물을 여과시키는 진공펌프용 여과장치에 있어서, 상기 진공챔버와 연결되는 유입구 및 상기 진공펌프와 연결되는 배출구를 포함하며, 불순물을 걸러낼 수 있는 여과유체가 일정 높이만큼 채워지는 수용공간이 제공된 하우징; 일측이 상기 유입구에 연결되고 타측이 상기 여과유체에 잠긴 상태로 구비되어, 상기 진공챔버에서 유입된 기체를 상기 여과유체 내로 안내하는 안내관; 및 상기 여과유체가 형성하는 수면에 평행한 방향으로 배치되고, 적어도 일부가 상기 여과유체 내에서 상기 안내관보다 작은 단면적을 가지며 상기 안내관에 연통되어, 상기 안내관 내의 기체를 상기 여과유체 내로 안내하는 하나 이상의 보조관; 을 포함하는 진공펌프용 여과장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 보조관은 복수 개로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 여과장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 복수 개의 보조관은 서로 다른 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 여과장치
5 5
제 4항에 있어서 상기 복수 개의 보조관은, 상기 여과유체의 수면측으로 갈수록 길이가 긴 것을 특징으로 하는 진공펌프용 여과장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.