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유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치 및 미세임프린팅 방법

  • 기술번호 : KST2014019454
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치 및 미세임프린팅 방법에 관한 것으로, 그 목적은 종래의 써멀 타입 롤러 나노임프린팅 방식에 비해 국부적인 영역을 선택적으로 가열할 수 있어 에너지 소모를 절감할 수 있으며, 단일 압연롤 내에서 패턴 전사 후 냉각단계가 연속적으로 이어질 수 있어 정밀한 패턴 전사가 가능한 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치 및 미세임프린팅 방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 미세패턴이 각인된 압연롤을 대상 소재의 유리전이온도 이상으로 가열하여 소재를 가압함으로써 압연롤에 각인된 미세패턴을 소재에 전사하는 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치에 있어서, 상기 압연롤에 의한 소재의 가압이 이루어지는 가압영역 내에 위치하는 압연롤의 일부분만을 국부적으로 가열하도록 가압영역에 이웃한 곳에 배치된 유도가열코일; 상기 유도가열코일과 연결되어 유도가열코일로 교류전류를 공급하는 발진기; 및 상기 압연롤과 소재가 분리되어 전사된 패턴의 이형이 이루어지는 영역으로 냉각용 에어를 공급하는 송풍기를 구비하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치 및 미세임프린팅 방법에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다. 미세임프린팅, 유도가열, 압연롤, 송풍기
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080045657 (2008.05.16)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0940848-0000 (2010.01.29)
공개번호/일자 10-2009-0119545 (2009.11.19) 문서열기
공고번호/일자 (20100205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강정진 대한민국 서울특별시 서대문구
2 홍석관 대한민국 서울 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0349269-83
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0478186-65
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0720026-99
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0720043-65
8 등록결정서
Decision to grant
2010.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0029470-32
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세패턴이 각인된 압연롤을 대상 소재의 유리전이온도 이상으로 가열하여 소재를 가압함으로써 압연롤에 각인된 미세패턴을 소재에 전사하는 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치에 있어서, 상기 압연롤(110)에 의한 소재(10)의 가압이 이루어지는 가압영역(A) 내에 위치하는 압연롤(110)의 일부분만을 국부적으로 가열하도록 가압영역(A)에 이웃한 곳에 배치된 유도가열코일(130); 상기 유도가열코일(130)과 연결되어 유도가열코일(130)로 교류전류를 공급하는 발진기(140); 및 상기 압연롤(110)과 소재(10)가 분리되어 전사된 패턴의 이형이 이루어지는 영역(B)으로 냉각용 에어를 공급하는 송풍기(150)를 구비하는 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 유도가열코일(130)은 압연롤(110)의 내측 하단부에 배치된 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 유도가열코일(130)은 압연롤(110)의 외측 하단부에서 소재(10)가 공급되는 압연롤(110)의 전방에 배치된 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치
4 4
미세패턴이 각인된 압연롤을 대상 소재의 유리전이온도 이상으로 가열하여 소재를 가압함으로써 압연롤에 각인된 미세패턴을 소재에 전사하는 압연롤을 이용한 미세임프린팅 방법에 있어서, 상기 압연롤(110)에 의한 소재(10)의 가압이 이루어지는 가압영역(A)의 이웃한 위치에 유도가열코일(130)을 배치하고, 상기 유도가열코일(130)로 교류전류를 공급하여 가압영역(A) 내에 위치하는 압연롤(110)의 일부분만을 국부적으로 가열하며 소재(10)에 패턴을 전사하는 단계(S1); 및 상기 S1 단계를 통해 패턴의 전사가 이루어진 후, 소재(10)에 형성된 패턴이 압연롤(110)로부터 이형되는 영역(B)으로 냉각용 에어를 공급하여 소재(10)를 냉각시킴으로써 이형시 변형을 방지하는 단계(S2)를 구비하는 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 S1 단계에서 상기 유도가열코일(130)은 압연롤(110)의 내측 하단부에 배치되어 가압영역(A) 내에 위치하는 압연롤(110)의 일부분만을 국부적으로 가열하는 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 방법
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 S1 단계에서 상기 유도가열코일(130)은 압연롤(110)의 외측 하단부에서 소재(10)가 공급되는 압연롤(110)의 전방에 배치되어 가압영역(A)으로 진입하는 압연롤(110)의 일부분만을 국부적으로 가열하는 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 방법
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 S1 단계는 상기 압연롤(110)의 하단부에 적어도 한개 이상의 콘택트 롤러(121)가 배치되고, 압연롤(110)의 측면부에 릴리징 롤러(122)가 배치되어 압연롤(110)과 콘택트 롤러(121) 및 릴리징 롤러(122)의 사이로 소재(10)가 이동하며 패턴의 전사 및 이형이 이루어지는 롤 투 롤 미세임프린팅 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.