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재료의 결함을 구조적 및 결정학적으로 동시에 분석하기 위한 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템으로서, 재료에 입사되는 X선을 투과 X선, 반사 회절 X선, 및 투과 회절 X선으로 동시에 유발하도록 상기 입사되는 X선에 대하여 재료를 정렬하기 위해, 상기 재료를 2개의 축으로 회전 가능하고 3개의 방향으로 병진 이동 가능한 재료 정렬수단; 및상기 재료 정렬수단에 의해 유발된 상기 투과 X선, 상기 반사 회절 X선, 및 상기 투과 회절 X선을 각각 촬영하기 위한 복수의 촬영 수단을 포함하고, 상기 X선은 백색 X선인 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 반사 회절 X선 및 상기 투과 회절 X선을 촬영하기 위한 촬영수단은 각각 X선-필름인 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 투과 X선을 촬영하기 위한 촬영수단은,상기 투과 X선을 가시광선으로 변환시키기 위한 광 변환 수단; 및상기 변환된 가시광선을 포획하기 위한 광 포획 수단을 포함하는 것을 특징으로 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 4항에 있어서, 상기 촬영수단은 상기 광 변환 수단에 의해 변환된 상기 가시광선을 상기 광 포획 수단으로 유도하기 위한 반사경을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 5항에 있어서, 상기 반사경은 금이 코팅된 실리콘 단결정 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 4항에 있어서, 상기 광 변환 수단은 섬광결정을 이용하는 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 7항에 있어서, 상기 섬광결정은 CdWO4인 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 4항에 있어서, 상기 광 포획 수단은 고분해능의 영상을 얻기 위한 광학렌즈 및 상기 영상을 촬영하기 위한 CCD 카메라로 이루어지는 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 재료 정렬수단은 상기 재료와 상기 촬영 수단 간의 거리를 임의로 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 촬영수단은 상기 재료와 방향에 따라 병진이동 가능한 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 11항에 있어서, 상기 촬영수단은 모터에 의해 미세조정 가능한 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 반사 회절 X선을 촬영하기 위한 상기 촬영 수단은, 입사 X선 쪽에 위치되며, 상기 투과 회절 X선을 촬영하기 위한 상기 촬영 수단은 투과 X선 쪽에 위치되는 것을 특징으로 하는 X선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 재료 정렬수단에 의한 정렬 조건은, SiC 구조의 결정에 대하여, 상기 입사되는 X선과 상기 재료 표면과의 각도가 5°, 상기 반사 회절 벡터는 (0006) 및 상기 투과 회절 벡터는 인 것을 특징으로 하는 선 투과 / 회절 영상 결합 촬영 시스템
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