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ＵＶ경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템

  • 기술번호 : KST2014020278
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 UV 나노임프린트(nanoimprint) 공정에서 사용되는 UV경화성수지에 대한 실시간 경화도 측정시스템에 관한 것으로, 적외광을 방출하는 IR광원과, IR광원으로부터 방출된 적외광을 간섭시키는 간섭계와, 간섭후의 적외광이 투과되도록 설치된 UV경화성수지 시료와, 투과된 적외광을 검출하는 검출기와, 검출기의 검출결과를 연산처리하여 출력하는 디지털 프로세서로 구성되며, 상기 시료의 분자구조를 분석하는 FT-IR분광기; 자외광을 방출하는 UV광원과, UV광원으로부터 방출된 자외광을 FT-IR분광기내에 장착된 시료에 조사되도록 안내하는 광가이드로 구성되는 UV조사장치부;를 포함한다. UV, 경화성, 수지, 경화도, FTIR, 나노임프린트, 리소그래피
Int. CL G01N 21/35 (2014.01) G01N 21/3577 (2014.01)
CPC G01N 21/3577(2013.01) G01N 21/3577(2013.01) G01N 21/3577(2013.01) G01N 21/3577(2013.01)
출원번호/일자 1020030073477 (2003.10.21)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0547279-0000 (2006.01.20)
공개번호/일자 10-2005-0038236 (2005.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20060131) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020050070326;
심사청구여부/일자 Y (2003.10.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조동우 대한민국 경상북도포항시남구
2 이진우 대한민국 경상남도창원시
3 이승재 대한민국 서울특별시서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2003-0392181-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.03.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0021057-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0253983-23
5 특허분할출원서
Divisional Application of Patent		 2005.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2005-0424949-01
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0424942-82
7 의견서
Written Opinion		 2005.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2005-0424943-27
8 등록결정서
Decision to grant		 2005.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0570309-83
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
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적외광을 방출하는 IR광원과, 상기 IR광원으로부터 방출된 상기 적외광을 간섭시키는 간섭계와, 간섭후의 적외광이 투과되도록 설치된 UV경화성수지 시료와 투과된 적외광을 검출하는 검출기와, 상기 검출기의 검출결과를 연산처리하여 출력하는 디지털 프로세서로 구성되며, 상기 시료의 분자구조를 분석하는 FT-IR분광기;자외광을 방출하는 UV광원과, 상기 UV광원으로부터 방출된 상기 자외광을 상기 FT-IR분광기내에 장착된 상기 시료에 조사되도록 안내하는 광가이드로 구성되는 UV조사장치부;를 포함하되,상기 UV조사장치부는상기 UV광원에서 상기 자외광과 함께 방출되는 적외광을 제거시키기 위해 상기 UV광원의 전방 광로상에 구비되는 콜드미러와,상기 광가이드의 끝단측에 구비되어 상기 광가이드에서 나오는 상기 자외광의 직진성을 강화시키는 집광렌즈를 더 구비하는UV경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템
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제 2항에 있어서,상기 UV광원에서 방출되는 상기 자외광을 선택적으로 진행 또는 차단시키기 위해 상기 콜드미러 다음의 광로상에 구비되는 셔터와,상기 광가이드의 위치를 조절하여 상기 자외광이 상기 시료에 정확히 조사되도록 하는 X-Y 변환 스테이지를 더 구비하는 UV경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템
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