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고분자 광학 소자의 광회로 형성장치

  • 기술번호 : KST2014022152
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임프린트를 통한 고분자 광학 소자 제작에 있어서의 광회로 형성 장치에 관한 것으로, 내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부 상측에 자외선투과창이 결합되며, 상기 공간부와 연통되게 가압용 공압배관이 형성되어 상기 공간부에 공압이 작용하도록 형성된 가압챔버와; 상기 가압챔버 하측에 밀폐결합형성되며, 상기 공간부에 대응되게 샘플홀더가 형성되고, 상기 샘플홀더 상측에 시트수용부가 형성된 진공챔버와; 연성재질로 형성되어 상기 진공챔버의 시트수용부에 수용되어, 상기 가압챔버의 공압에 의한 작용으로 샘플을 가압시키는 가압시트와; 상기 진공챔버에 형성되어, 상기 샘플홀더와 연통되어 샘플을 고정시키는 샘플고정용 진공라인과, 상기 시트수용부에 연통되어 상기 가압시트를 고정시키는 시트고정용 진공라인으로 이루어진 진공라인;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고분자 광학 소자의 광회로 형성장치를 기술적 요지로 한다. 이에 따라 가압챔버 및 진공챔버를 구비하고, 그 내부에 샘플을 투입하여 가압시트를 작용시키는 것에 의하여 잔류층 제어가 용이하고 기포의 발생을 최소화하여 광회로의 치수 정밀도가 우수하며, 성능이 뛰어난 광학 소자를 제작할 수 있으며, 또한, 가압챔버 및 진공챔버, 그리고 가압시트의 작용에 의해 광학 소자를 간단하게 제작할 수 있어 공정이 단순하며 비용이 절감되고, 복잡하거나 다양한 형상의 광회로 및 대면적의 광회로에도 적용할 수 있어 광학 소자의 대량 생산이 가능한 이점이 있다. 고분자 광학 소자 광회로 가압시트 챔버 진공
Int. CL G02B 6/13 (2006.01)
CPC G02B 6/138(2013.01) G02B 6/138(2013.01) G02B 6/138(2013.01) G02B 6/138(2013.01) G02B 6/138(2013.01)
출원번호/일자 1020080048790 (2008.05.26)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0971005-0000 (2010.07.12)
공개번호/일자 10-2009-0122807 (2009.12.01) 문서열기
공고번호/일자 (20100720) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조상욱 대한민국 경상남도 함양군
2 김창석 대한민국 부산광역시 남구
3 정명영 대한민국 부산광역시 금정구
4 오승훈 대한민국 부산광역시 남구
5 류진화 대한민국 울산광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0374343-40
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0386107-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0052252-18
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0512559-80
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0100982-50
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0115345-37
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0115240-42
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0115276-85
10 등록결정서
Decision to grant
2010.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0273737-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 공간부(110)가 형성되고, 상기 공간부(110) 상측에 자외선투과창이 결합되며, 상기 공간부(110)와 연통되게 가압용 공압배관(130)이 형성되어 상기 공간부(110)에 공압이 작용하도록 형성된 가압챔버(100)와; 상기 가압챔버(100) 하측에 밀폐결합형성되며, 상기 공간부(110)에 대응되게 샘플홀더(210)가 형성되고, 상기 샘플홀더(210) 상측에 시트수용부(220)가 형성된 진공챔버(200)와; 연성재질로 형성되어 상기 진공챔버(200)의 시트수용부(220)에 수용되어, 상기 가압챔버(100)의 공압에 의한 작용으로 샘플(10)을 가압시키는 가압시트(300)와; 상기 진공챔버(200)에 형성되어, 상기 샘플홀더(210)와 연통되어 샘플(10)을 고정시키는 샘플고정용 진공라인(410)과, 상기 시트수용부(220)에 연통되어 상기 가압시트(300)를 고정시키는 시트고정용 진공라인(420)으로 이루어진 진공라인(400);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고분자 광학 소자의 광회로 형성장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 가압챔버(100) 및 진공챔버(200) 내부에는 자외선반사코팅층이 형성된 것을 특징으로 하는 고분자 광학 소자의 광회로 형성장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 진공챔버(200)의 샘플홀더(210) 하측에는, 샘플(10)의 열경화가 이루어지도록 핫플레이트부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 고분자 광학 소자의 광회로 형성장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 진공챔버(200)의 샘플홀더(210)와 연통되는 질소주입라인(500)이 형성되는 것을 특징으로 하는 고분자 광학 소자의 광회로 형성장치
5 5
제 1항 내지 제 4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 샘플(10)은, 임프린트 리소그래피 공정을 통해 광회로 패턴이 형성된 하부층(11)과, 상기 광회로 패턴 상층에 도포되는 광회로용 레진(12)과, 상기 광회로용 레진(12) 상층에 적층된 상부층(13)으로 이루어져, 상기 진공챔버(200)의 샘플홀더(210)에 안착되어 고정되는 것을 특징으로 하는 고분자 광학 소자의 광회로 형성장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.