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강성체로 된 프레임(10)과,
일측 단부는 상기 프레임(10)과 일체로 연결되어 고정단부가 형성되도록 하고 타측 단부는 분리되어 자유단부가 형성되도록 하는 변위증폭부(20)와,
상기 변위증폭부(20)의 일측으로 배치되고 프레임(10)에 고정장착되어 변위증폭부(20)에 미세진동이 작용되도록하는 피에조 액추에이터(40)와,
상기 피에조 액추에이터(40)에 의해 미세진동하는 변위증폭부(20)의 상면에 설치되어 가공물을 진동 절삭하는 공구(30)를 포함하되,
상기 변위증폭부(20)는 내측으로 터널부(21)가 형성되어 상하측에 오버브릿지(22)와 언더브릿지(23)가 형성되고, 상기 언더브릿지(23)의 하방에는 중공부(25)가 형성되며, 상기 오버브릿지(22)와 언더브릿지(23) 일측 자유단부는 수직보(24)에 의해 일체로 연결되고, 상기 오버브릿지(22)와 언더브릿지(23) 타측 고정단부는 각각 힌지부(11)에 의해 상기 프레임(10)과 일체로 연결되며,
상기 피에조 액추에이터(40)는 변위증폭부(20) 자유단부의 수직보(24) 측면중앙부 일측지점과 연결되면서 이 연결지점 측방의 프레임(10) 내측으로 고정장착되어 변위증폭부(20)와 평행한 방향으로 수축팽창하면서 상기 변위증폭부(20)의 수직보(24) 인접부위를 미세진동시키고,
상기 공구(30)는 변위증폭부(20)의 오버브릿지(22) 중심부 상면에 설치되어 가공물을 진동 절삭하도록 구성하되,
상기 피에조 액추에이터(40)를 중심으로 상측에 인접하는 프레임(10) 측면 일측지점과 변위증폭부(20)의 오버브릿지(22)에 인접하는 일측지점에 양단부가 일체로 연결되고, 상기 피에조 액추에이터(40)를 중심으로 하측에 인접하는 프레임(10) 측면 일측지점과 변위증폭부(20)의 언더브릿지(23)에 인접하는 일측지점에 양단부가 일체로 각각 연결되어 피에조 액추에이터(40)의 수축방향으로 복원력을 갖는 탄성부(50)와,
상기 변위증폭부(20)의 언더브릿지(23) 저면 일측지점과 연결되면서 이 연결지점 하방의 프레임(10) 내측으로 고정장착되어 변위증폭부(20)의 진동변위량을 제어부(70)로 전달하는 피드백 센서(60)를 포함하는 것을 특징으로 하는 절삭 공구의 변위증폭부를 갖는 미소절삭장치
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