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피디엠에스를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014022364
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 마이크로미러 제작 방법에 있어서, (1) 상측을 향하여 경사지며, 중심부가 소정 거리 이격되어 마주보게 배치되도록 몰드(mold)를 패터닝(patterning)하는 단계, (2) 상기 패터닝된 몰드에 PDMS(poly dimethyl siloxane stamp)를 투입하여 경화시키는 단계, (3) 경사진 바닥 전극을 형성하기 위하여 상기 경화된 PDMS를 상기 패터닝된 몰드로부터 분리하는 단계, (4) 상기 경사진 바닥 전극이 형성된 PDMS에 금속 막을 증착하는 단계, (5) 상기 PDMS 상측으로 이격된 위치에 상기 PDMS와의 전압 차에 따른 정전력을 형성하기 위한 실리콘 기판을 결합하여 가공하는 단계, (6) 상기 가공된 실리콘 기판에 알루미늄을 증착하고 패터닝하는 단계, 및 (7) 상기 패터닝된 알루미늄을 마스크로 하여 상기 실리콘 기판을 식각(etching)하는 단계를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다. 본 발명의 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법에 따르면, 바닥 전극의 형태를 PDMS를 이용하여 경사진 구조로 형성함으로써 구동전압이 감소하고, 바닥 전극과의 간격을 구동전압의 상승 없이 증가시킬 수 있게 함으로써 제어가 가능한 구동각도의 범위를 크게 키울 수 있는 마이크로미러를 제작할 수 있다. 뿐만 아니라, 구동전압의 상승 없이 마이크로미러 스프링의 강도를 증가시켜 복원력을 키울 수 있게 됨으로써 마이크로미러가 바닥에 점착되는 현상을 현저히 줄일 수 있음과 동시에 외부 충격 및 진동에도 더 강인한 마이크로미러를 구현할 수 있다. 또한, 경사진 바닥 전극의 형태를 1축 구동 마이크로미러뿐만 아니라 2축 구동이 가능한 마이크로미러에 적합하게 제작할 수 있게 됨으로써 평판 전극을 이용한 정전력 구동 마이크로미러에 비하여 제어 가능한 구동각도를 증가시키는 동시에 마이크로미러의 구동에 필요한 인가전압을 줄일 수 있다. PDMS, 마이크로미러, 경사진 바닥 전극
Int. CL G02B 26/08 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01)
CPC G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01)
출원번호/일자 1020080127049 (2008.12.15)
출원인 이화여자대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0921434-0000 (2009.10.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20091014) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 이화여자대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박일흥 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박재형 대한민국 서울 관악구
3 김용권 대한민국 서울 강남구
4 유병욱 대한민국 서울 관악구
5 진주영 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태동 대한민국 서울특별시 구로구 가마산로 ***, ***호(구로동, 대림오피스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이화여자대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0859452-16
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0864470-45
3 보정요구서
Request for Amendment
2008.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0138946-85
4 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2009.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0891635-15
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0181397-15
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0396739-66
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0467138-80
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0467144-54
9 등록결정서
Decision to grant
2009.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0405977-74
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0707647-95
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번호 청구항
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마이크로미러 제작 방법에 있어서, (1) 경사진 바닥 전극이 삼각형 형태로 상향으로 경사지며, 상향으로 경사진 상기 삼각형의 중심부가 소정 거리 이격되어 마주보게 배치되도록 몰드(mold)를 패터닝(patterning)하는 단계; (2) 상기 패터닝된 몰드에 PDMS(poly dimethyl siloxane stamp)를 투입하여 경화시키는 단계; (3) 경사진 바닥 전극을 형성하기 위하여 상기 경화된 PDMS를 상기 패터닝된 몰드로부터 분리하는 단계; (4) 상기 PDMS에 의해 형성된 경사진 바닥 전극에 전압을 인가하기 위하여 상기 PDMS의 표면에 금속 막을 증착하는 단계; (5) 상기 PDMS 상측으로 이격된 위치에, 상기 PDMS에 의해 형성된 경사진 바닥 전극과의 전압 차에 따른 정전력을 형성하기 위하여 실리콘 기판을 결합하여 가공하는 단계; (6) 상기 가공된 실리콘 기판에 알루미늄을 증착하고 패터닝하는 단계; 및 (7) 상기 패터닝된 알루미늄을 마스크로 하여 상기 실리콘 기판을 식각(etching)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법
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제1항에 있어서, 상측을 향하여 경사지며, 중심부가 소정 거리 이격되어 마주보게 배치되도록 몰드(mold)를 패터닝(patterning)하는 상기 단계 (1)는, 제작하고자 하는 경사진 바닥 전극의 기울기와 높이에 일치하도록 상기 몰드를 패터닝하는 것을 특징으로 하는 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법
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제1항에 있어서, PDMS 상측으로 이격된 위치에 상기 PDMS와의 전압차에 따른 정전력을 형성하기 위한 실리콘 기판을 결합하여 가공하는 상기 단계 (5)는, 마이크로미러판과 상기 경사진 바닥 전극 사이의 미리 설정된 간격에 맞추어 이방성 식각 공정에 의해 상기 실리콘 기판을 가공하는 단계; 가공된 상기 실리콘 기판을 상기 PDMS와 웨이퍼 접합 공정에 의해 결합하는 단계; 및 상기 실리콘 기판을 미리 설정된 마이크로미러의 두께로 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법
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