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대상물을 액상 시료로 형성하는 제1 용액을 상기 대상물로 제공하는 제1 제공부;
화학 발광(chemiluminescence) 현상을 발생시키는 제2 용액을 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료로 제공하고, 그 단부는 외부 튜브 및 상기 외부 튜브 내에서 유동 가능하게 삽입되고, 상기 제2 용액을 제공하는 내부 튜브를 구비하는 이중 튜브 구조로 이루어지는 제2 제공부;
상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 디텍터; 및
상기 제2 용액을 제공하는 제2 제공부의 단부와 상기 광의 세기를 측정하는 디텍터의 단부를 서로 이웃하게 위치시키고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 서로 이웃하게 위치하는 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시키는 차단부를 포함하는 분석 장치
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제1 항에 있어서, 상기 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 제1 용액은 상기 대상물을 식각하여 상기 액상 시료로 형성하는 불화수소산을 포함하는 혼합물이고, 상기 제2 용액은 루미놀을 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제1 항에 있어서, 상기 디텍터는,
그 단부가 상기 제2 제공부의 단부와 이웃하게 위치하고, 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광을 집광하는 집광부;
상기 집광부와 연결되고, 상기 집광부에 의해 집광된 광을 증폭시키는 증폭부; 및
상기 증폭부와 연결되고, 상기 증폭된 광을 전기 신호로 변환시키는 신호 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제3 항에 있어서, 상기 제2 제공부의 단부와 이웃하게 위치하는 집광부는 상기 제2 제공부의 단부를 둘러싸게 위치하는 광섬유 다발을 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제1 항에 있어서, 상기 차단부는 주둥이 및 내부 공간을 갖는 컵 구조로 이루어지고, 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 상기 내부 공간 내에 서로 이웃하게 수용하고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 차단부의 주둥이를 상기 대상물에 면접시킴에 의해 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시키는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제5 항에 있어서, 고무, 테프론 또는 이들의 혼합물로 이루어지고, 상기 차단부의 주둥이로부터 둘출되게 상기 주둥이를 둘러싸는 실링부를 더 포함하고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 차단부의 실링부를 상기 대상물에 면접시키는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료의 pH를 조절하는 pH 조절부를 더 포함하고,
상기 pH 조절부는 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료를 건조시키는 건조부와, 상기 건조부에 의해 건조된 상기 액상 시료로 산성 수용액 또는 중성 수용액을 포함하는 제3 용액을 제공하는 제3 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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