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대상물을 식각하여 액상 시료로 형성하는 제1 용액을 상기 대상물 상에 제공하는 제1 제공부;
상기 제1 제공부에 이웃하게 위치하고, 화학 발광 현상을 발생시키는 제2 용액을 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료로 제공하는 제2 제공부;
상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 상기 대상물 상에서 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 디텍터; 및
상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료의 pH를 조절하는 pH 조절부를 포함하는 분석 장치
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제5 항에 있어서, 상기 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 제1 용액은 상기 대상물을 식각하여 상기 액상 시료로 형성하는 불화수소산을 포함하는 혼합물이고, 상기 제2 용액은 루미놀을 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제5 항에 있어서, 상기 제1 제공부는 상기 대상물의 일부 영역 또는 전체 영역에 걸쳐 스캔 동작이 가능하게 구동되고, 상기 제1 제공부의 스캔 동작에 의해 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료를 상기 제1 제공부의 스캔 동작을 통하여 한 곳에 모으는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제5 항에 있어서, 상기 디텍터는,
상기 제2 제공부를 둘러싸는 광섬유 다발을 포함하고, 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 상기 대상물 상에서 방출되는 광을 집광하는 집광부;
상기 집광부와 연결되고, 상기 집광된 광을 증폭시키기 위한 증폭부; 및
상기 증폭부와 연결되고, 상기 증폭된 광을 전류로 변환시키는 전류 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제5 항에 있어서, 상기 pH 조절부는,
상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료를 건조시키는 건조부; 및
상기 건조부에 의해 건조된 상기 액상 시료로 산성 수용액 또는 중성 수용액을 포함하는 제3 용액을 제공하는 제3 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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대상물을 액상 시료로 형성하는 제1 용액을 상기 대상물로 제공하는 제1 제공부;
화학 발광(chemiluminescence) 현상을 발생시키는 제2 용액을 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료로 제공하는 제2 제공부;
상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 디텍터; 및
상기 제1 제공부와 제2 제공부 사이에 위치하고, 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료를 상기 제2 제공부로 이송하는 이송부를 포함하는 분석 장치
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제11 항에 있어서, 상기 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 제1 용액은 상기 대상물을 식각하여 상기 액상 시료로 형성하는 불화수소산을 포함하는 혼합물이고, 상기 제2 용액은 루미놀을 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제11 항에 있어서, 상기 제1 제공부는 상기 대상물의 일부 영역 또는 전체 영역에 걸쳐 스캔 동작이 가능하게 구동되고, 상기 제1 제공부의 스캔 동작에 의해 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료를 상기 제1 제공부의 스캔 동작을 통하여 한 곳에 모으는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제11 항에 있어서, 상기 디텍터는,
상기 액상 시료를 수용하는 셀;
상기 셀의 일면에 부착되고, 상기 셀의 일면으로부터 투과되는 광을 집광하기 위한 집광부;
상기 집광된 광을 증폭시키기 위한 증폭부; 및
상기 증폭된 광을 전류로 변환시키는 전류 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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제11 항에 있어서, 상기 이송부는,
상기 액상 시료가 존재하는 대상물 자체를 이송하는 부재 또는 상기 대상물로부터 상기 액상 시료 자체를 흡입하여 이송하는 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치
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