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농도측정 대상인 시료가스가 통과하는 샘플셀; 상기 샘플셀 내의 일단에 배치되며, 소정의 듀티비를 갖는 구동펄스에 의해 구동되어 상기 샘플셀을 향해 적외선 광을 단속적으로 발광하는 반도체 발광부; 상기 발광부에 상기 구동펄스를 공급하는 구동부; 상기 반도체 발광부와 대면하도록 상기 샘플셀 내의 타단에 배치되며, 상기 시료가스에 흡수되는 파장의 광을 통과시키는 제1 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제1 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 측정신호를 출력하는 제1반도체 광센서, 상기 흡수파장과 무관한 파장을 통과시키는 제2 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제2 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 기준신호를 출력하는 제2 반도체 광센서를 포함하여 구성되는 반도체 광검출부; 상기 기준신호와 상기 측정신호를 각각 증폭하고 광단속 주기와 동일한 정현파 형태의 출력신호로 대역필터링 한 다음, 상기 발광부의 광단속 주기와 동일한 주기의 정현파로 출력하는 신호처리부; 및 상기 정현파 출력신호를 디지털신호로 변환한 다음 비선형 보정을 거쳐 실효값을 산출하여 상기 시료가스의 농도로 환산하는 농도계산부를 구비하는 구성을 가지며, 특히 상기 반도체 발광부는 상기 구동펄스를 입력받아 적외선 광을 발광하는 반도체 발광소자; 적외선 투과율이 우수한 재질로 만들어지며 상기 반도체 발광소자 앞에 배치된 광윈도우; 및 온도센싱 및 열전냉각을 위해 상기 반도체 발광소자에 결합된 열전냉각모듈을 구비하며, 진공상태로 밀봉된 것을 특징으로 하는 시료가스 농도의 고속 측정장치
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농도측정 대상인 시료가스가 통과하는 샘플셀; 상기 샘플셀 내의 일단에 배치되며, 소정의 듀티비를 갖는 구동펄스에 의해 구동되어 상기 샘플셀을 향해 적외선 광을 단속적으로 발광하는 반도체 발광부; 상기 발광부에 상기 구동펄스를 공급하는 구동부; 상기 반도체 발광부와 대면하도록 상기 샘플셀 내의 타단에 배치되며, 상기 시료가스에 흡수되는 파장의 광을 통과시키는 제1 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제1 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 측정신호를 출력하는 제1반도체 광센서, 상기 흡수파장과 무관한 파장을 통과시키는 제2 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제2 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 기준신호를 출력하는 제2 반도체 광센서를 포함하여 구성되는 반도체 광검출부; 상기 기준신호와 상기 측정신호를 각각 증폭하고 광단속 주기와 동일한 정현파 형태의 출력신호로 대역필터링 한 다음, 상기 발광부의 광단속 주기와 동일한 주기의 정현파로 출력하는 신호처리부; 및 상기 정현파 출력신호를 디지털신호로 변환한 다음 비선형 보정을 거쳐 실효값을 산출하여 상기 시료가스의 농도로 환산하는 농도계산부를 구비하며, 상기 발광부는 20Hz 이상 100Khz 이하의 주파수로 광단속이 가능한 반도체 발광소자를 이용하여 구성된 것을 특징으로 하는 시료가스 농도의 고속 측정장치
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농도측정 대상인 시료가스가 통과하는 샘플셀; 상기 샘플셀 내의 일단에 배치되며, 소정의 듀티비를 갖는 구동펄스에 의해 구동되어 상기 샘플셀을 향해 적외선 광을 단속적으로 발광하는 반도체 발광부; 상기 발광부에 상기 구동펄스를 공급하는 구동부; 상기 반도체 발광부와 대면하도록 상기 샘플셀 내의 타단에 배치되며, 상기 시료가스에 흡수되는 파장의 광을 통과시키는 제1 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제1 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 측정신호를 출력하는 제1반도체 광센서, 상기 흡수파장과 무관한 파장을 통과시키는 제2 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제2 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 기준신호를 출력하는 제2 반도체 광센서, 적외선 투과율이 우수한 재질의 광윈도우와, 온도센싱 및 열전냉각을 위해 상기 제1 및 제2 반도체 광센서에 결합된 열전냉각모듈를 포함하여 진공상태로 밀봉되는 반도체 광검출부; 상기 기준신호와 상기 측정신호를 각각 증폭하고 광단속 주기와 동일한 정현파 형태의 출력신호로 대역필터링 한 다음, 상기 발광부의 광단속 주기와 동일한 주기의 정현파로 출력하는 신호처리부; 및 상기 정현파 출력신호를 디지털신호로 변환한 다음 비선형 보정을 거쳐 실효값을 산출하여 상기 시료가스의 농도로 환산하는 농도계산부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료가스 농도의 고속 측정장치
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농도측정 대상인 시료가스가 통과하는 샘플셀; 상기 샘플셀 내의 일단에 배치되며, 소정의 듀티비를 갖는 구동펄스에 의해 구동되어 상기 샘플셀을 향해 적외선 광을 단속적으로 발광하는 반도체 발광부; 상기 발광부에 상기 구동펄스를 공급하는 구동부; 상기 반도체 발광부와 대면하도록 상기 샘플셀 내의 타단에 배치되며, 상기 시료가스에 흡수되는 파장의 광을 통과시키는 제1 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제1 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 측정신호를 출력하는 제1반도체 광센서, 상기 흡수파장과 무관한 파장을 통과시키는 제2 광학필터와 이의 후방에 배치되어 상기 제2 광학필터를 통과한 적외선 광을 센싱하여 그에 대응하는 기준신호를 출력하는 제2 반도체 광센서, 적외선 투과율이 우수한 재질의 광윈도우와, 온도센싱 및 열전냉각을 위해 상기 제1 및 제2 반도체 광센서에 결합된 열전냉각모듈를 포함하여 진공상태로 밀봉되는 반도체 광검출부; 상기 기준신호와 상기 측정신호를 각각 증폭하고 광단속 주기와 동일한 정현파 형태의 출력신호로 대역필터링 한 다음, 상기 발광부의 광단속 주기와 동일한 주기의 정현파로 출력하는 신호처리부; 및 상기 정현파 출력신호를 디지털신호로 변환한 다음 비선형 보정을 거쳐 실효값을 산출하여 상기 시료가스의 농도로 환산하는 농도계산부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료가스 농도의 고속 측정장치
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