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쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

  • 기술번호 : KST2014022838
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 쵸퍼가 내장된 실시간 초전형 적외선 센서 및 그 제조방법을 개시한다.본 발명은 기판 위에 화학적 또는 물리적인 증착법으로 형성되는 초전체 박막과, 초전체 박막 위에 금속물질 또는 산화물질로 형성되는 전극과, 초전체 박막 외부에 마이크로머시닝 기술을 이용하여 3차원의 들뜬 구조를 가지며 고정자와 진동자로 분리되는 빗살무늬 형상의 실리콘과, 실리콘의 고정자 전면에 설치되는 적외선 입사필터를 포함한 것으로, 초전형 적외선 센서를 박막으로 제조함으로서 소자의 두께가 얇아져 소자의 체적 비열이 감소하고, 소자의 표면적이 작아짐에 따라 캐패시턴스가 감소하여 우수한 전압응답특성을 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 초전형 적외선 센서 기능과 적외선 센서를 단락시키는 쵸퍼 기능을 하나로 패키징하여 동시에 수행할 수 있는 것이다.
Int. CL H01L 31/09 (2006.01) G01J 1/02 (2006.01)
CPC H01L 31/09(2013.01) H01L 31/09(2013.01)
출원번호/일자 1020000022166 (2000.04.26)
출원인 최승철, 고재석
등록번호/일자 10-0358635-0000 (2002.10.15)
공개번호/일자 10-2001-0103177 (2001.11.23) 문서열기
공고번호/일자 (20021030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.04.26)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 최승철 대한민국 서울특별시 강남구
2 고재석 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최승철 대한민국 서울특별시 송파구
2 고재석 대한민국 경기도 수원시 권

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교 산학협력단 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2000-0083146-17
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2000.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2000-5119580-36
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2001.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2001-5284214-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0060114-00
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.04.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0123810-23
6 의견서
Written Opinion		 2002.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2002-0123811-79
7 등록결정서
Decision to grant		 2002.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0250900-26
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.07.14 수리 (Accepted) 4-1-2005-0023992-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.10.06 수리 (Accepted) 4-1-2010-5184482-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.10.06 수리 (Accepted) 4-1-2010-5184483-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.05.09 수리 (Accepted) 4-1-2016-5056424-22
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2018-5104348-90
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번호 청구항
1 1

쵸퍼가 내장된 실시간 초전형 적외선 센서에 있어서,

기판 위에 화학적 또는 물리적인 증착법으로 형성되는 초전체 박막과,

상기 초전체 박막 위에 금속물질 또는 산화물질로 형성되는 전극과,

상기 초전체 박막 외부에 마이크로머시닝 기술을 이용하여 3차원의 들뜬 구조를 가지며 고정자와 진동자로 분리되는 빗살무늬 형상의 실리콘과,

상기 실리콘의 상기 고정자 전면에 설치되는 적외선 입사필터를 포함하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 초전체는 PZT 또는 PbTiO3 재료 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 전극은 금속 물질인 니켈-크롬(Ni-Cr) 또는 Pt 전극중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 전극은 산화 물질인 RuO2 전극인 것을 특징으로 하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

5 5

제 1 항에 있어서,

상기 고정자는 상기 초전체 박막 양단에 길이방향으로 상기 기판에 고정된 상태를 유지하면서, 상기 초전체(11)를 기준으로 서로 대면하는 면은 오목볼록 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

6 6

제 1 항에 있어서,

상기 진동자의 양면은 상기 고정자의 오목볼록 형상과 대응하는 형상으로 이루어지며, 상기 진동자의 가장자리가 상기 고정자에 의해 떠받쳐지는 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

7 7

제 1 항에 있어서,

상기 진동자와 대면하는 상기 고정자의 측벽 하부는 상기 진동자측 방향으로 완만하게 경사를 유지하면서 돌출된 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서

8 8

쵸퍼가 내장된 실시간 초전형 적외선 센서 제조 방법에 있어서,

기판 위에 화학적 또는 물리적인 증착법을 이용해 초전체 박막을 형성하는 단계와,

상기 초전체 박막에 금속물질 또는 산화물질의 전극을 형성하는 단계와,

상기 초전체 박막 외부에 마이크로머시닝 기술을 이용하여 3차원의 들뜬 구조를 갖는 실리콘을 성장시키는 단계와,

상기 실리콘을 빗살무늬 형태를 갖는 고정자와 진동자로 분리 형성하는 단계와,

상기 초전체 박막 위에 상기 고정자와 진동자로 분리된 들뜬 구조의 빗살무늬 형상의 상기 실리콘을 설치하는 단계와,

상기 실리콘의 상기 고정자 전면에 적외선 입사 필터를 설치하는 단계를 포함하는 쵸퍼 내장 초전형 적외선 센서 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.