기술이전플랫폼 Tech-Bridge-이전대상기술

맞춤기술찾기

홈으로 가기

맞춤기술찾기

이전대상기술

프린트하기

이전대상기술

열공압 구동 방식 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법

기술번호 : KST2014022924
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

상담신청 PDF 받기

상세정보
공개전문
공고전문
등록사항
통합행정정보
기술정보
과제정보
관련기술
심판사항

서지정보
인명정보
행정처리
청구항
지정국
패밀리정보
국가R&D 연구정보

이전 슬라이드 보기 다음 슬라이드 보기

요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 화학, 의학, 약학, 생명 공학, 환경 공학 등의 바이오산업 전반에 걸친 첨단 응용에 필수적인 극소량 유체의 자유로운 이용을 가능하게 하는 열공압 구동 방식의 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 모세관 마이크로 펌프는 일반적인 펌프와 같이 움직이는 구조물 즉, 박막이나 밸브가 존재하지 않으며, 그로 인해 구조가 단순하고 제조가 용이하며 제작 단가가 상대적으로 낮은 장점을 갖고있다. 위에 기술한 장점을 지닌 본 열공압 구동 마이크로 펌프는 두 개의 공기 챔버와 마이크로 히터, 모세관, 펌프 챔버, 통기 유로 등으로 구성된다. 마이크로 펌프는 두 가지 원리로 작동된다. 마이크로 히터에 전류를 흘리면 발생되는 열로 인해서 공기 챔버 내에 있는 공기가 팽창하면서 펌프 챔버 내에 있는 유체를 출구로 밀어낸다. 이 때 통기 유로로 인해 두 공기 챔버의 압력은 동일하고 입구를 모세관의 유체 저항이 커서 펌프 챔버내의 유체는 출구쪽으로 토출된다. 펌프 챔버 내의 유체가 완전히 토출되자마자 히터의 전류를 끊으면 팽창된 공기가 수축한다. 펌프 챔버의 출구측 유체 경계선에 작용하는 표면 장력으로 출구측 유체의 유입이 저지되고 입구측에서만 유체가 펌프 챔버 내로 유입된다. 마이크로 펌프, 열공압, 마이크로머시닝
Int. CL	B81B 3/00 (2006.01) F04B 19/00 (2006.01)
CPC	B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01)
출원번호/일자	1020050094058 (2005.10.06)
출원인	아주대학교산학협력단
등록번호/일자	10-0865634-0000 (2008.10.21)
공개번호/일자	10-2007-0038779 (2007.04.11) 문서열기
공고번호/일자	(20081027) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2007.03.27)
심사청구항수	11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	아주대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 영통구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	양상식	대한민국	서울 서초구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	윤재승	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로*길 , 덕천빌딩 *층 (역삼동)(예준국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	아주대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 영통구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2005.10.06	수리 (Accepted)	1-1-2005-0566217-95
2	보정요구서 Request for Amendment	2005.10.11	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0101239-54
3	서지사항보정서 Amendment to Bibliographic items	2005.10.25	수리 (Accepted)	1-1-2005-0605424-99
4	출원인변경신고서 Applicant change Notification	2007.01.11	수리 (Accepted)	1-1-2007-0029448-08
5	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2007.03.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0216523-66
6	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2007.03.20	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0220192-96
7	출원심사청구서 Request for Examination	2007.03.27	수리 (Accepted)	1-1-2007-0238428-31
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2007.04.09	수리 (Accepted)	4-1-2007-5053713-97
9	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2008.02.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
10	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2008.03.13	수리 (Accepted)	9-1-2008-0017901-42
11	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2008.04.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0236635-10
12	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2008.05.08	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2008-0327006-88
13	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2008.05.08	수리 (Accepted)	1-1-2008-0326979-08
14	등록결정서 Decision to grant	2008.10.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0534650-18
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.01.02	수리 (Accepted)	4-1-2014-5000672-13

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 유리로 된 하부기판 위에 화학기상증착방식에 의해 크롬과 금을 증착하고 패터닝 하여 한쌍의 마이크로 히터 및 상기 마이크로 히터와 전기적으로 연결되는 전극을 형성하는 단계 ;상기 하부기판에 전기 화학 방전 가공을 이용하여 상기 하부기판을 관통하며 유체가 주입되는 펌프입구 및 상기 유체가 배출되는 펌프출구를 형성하는 단계 ; 상기 하부기판 위에 음성 후막 감광제를 도포한 후 사진식각기술을 이용하여 상기 한쌍의 마이크로 히터를 각각 둘러싸는 한쌍의 공기 챔버를 형성하는 단계 ;상기 사진식각기술을 이용하여 상기 펌프입구와 펌프출구를 연결하고 상기 공기챔버와 연결되며 상기 유체가 충전되는 펌프 챔버를 형성하는 단계 ;상기 사진식각기술을 이용하여 상기 한쌍의 공기챔버를 서로 연결하며 상기 각각의 공기챔버에서 발생되는 공압을 동일하게 만드는 통기유로를 형성하는 단계; 상부기판 위에 산화막을 증착시키는 단계 ; 및상기 상부기판을 상기 하부기판과 열공압 방식으로 접합시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프의 제조방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 전극은,상기 하부기판 상의 네 귀퉁이 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프의 제조방법
3	3 제 1항에 있어서, 상기 유리는,파이렉스(pyrex) 인 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프의 제조방법
4	4 제 1항에 있어서, 상기 펌프 챔버는,상기 공기 챔버와 공기를 주고받기 위해 연결되는 주공압 유로 및 부공압유로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프의 제조방법
5	5 제 4항에 있어서, 상기 부공압유로는,상기 펌프챔버에 상기 유체가 충전되면서 상기 주공압유로가 상기 유체로 채워지는 경우 상기 펌프챔버에 남아있는 공기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프의 제조방법
6	6 유체가 주입되는 펌프입구 및 상기 유체가 배출되는 펌프출구를 구비하는 하부기판 ;상기 하부기판 위의 마주보는 위치에 각각 하나씩 형성되며 인가되는 전압에 의하여 열을 발생시키는 한쌍의 마이크로 히터 ;상기 마이크로 히터로 상기 전압을 인가하는 전극 ;상기 한쌍의 마이크로 히터를 각각 둘러싸는 한쌍의 공기 챔버 ;상기 펌프입구와 펌프출구를 연결하고 상기 공기챔버와 연결되며 상기 유체가 충전되는 펌프 챔버 ;상기 한쌍의 공기챔버를 서로 연결하며 상기 각각의 공기챔버에서 발생되는 공압을 동일하게 만드는 통기유로 ; 및상기 하부기판과 열공압 방식으로 접합되며 산화막을 증착시킨 상부기판을 구비하는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프
7	7 제 6항에 있어서, 상기 펌프입구 및 상기 펌프출구는 상기 하부기판을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프
8	8 제 6항에 있어서, 상기 펌프 챔버는,상기 공기 챔버와 공기를 주고받기 위해 연결되는 주공압유로 및 부공압유로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프
9	9 제 8항에 있어서, 상기 부공압유로는,상기 펌프챔버에 상기 유체가 충전되면서 상기 주공압유로가 상기 유체로 채워지는 경우 상기 펌프챔버에 남아있는 공기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프
10	10 제 6항에 있어서, 상기 마이크로 히터 및 상기 전극은,상기 하부기판 위에 화학기상증착방식에 의해 크롬과 금을 증착하고 패터닝 하여 형성되는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프
11	11 제 6항에 있어서, 상기 공기챔버, 상기 펌프챔버, 상기 통기유로는,상기 하부기판 위에 음성 후막 감광제를 도포한 후 사진식각기술을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 열공압 구동방식 모세관 마이크로 펌프

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0865634-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20051006 출원 번호 : 1020050094058 공고 연월일 : 20081027 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20081020 청구범위의 항수 : 11 유별 : B81B 3/00 발명의 명칭 : 열공압 구동 방식 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 아주대학교산학협력단 경기도 수원시 영통구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	280,500 원	2008년 10월 21일	납입
제 4 년분	금 액	282,000 원	2011년 09월 08일	납입
제 5 년분	금 액	282,000 원	2012년 10월 11일	납입
제 6 년분	금 액	282,000 원	2013년 10월 04일	납입
제 7 년분	금 액	518,000 원	2014년 09월 18일	납입
제 8 년분	금 액	533,540 원	2015년 11월 23일	납입
제 9 년분	금 액	362,600 원	2016년 10월 04일	납입
제 10 년분	금 액	845,000 원	2017년 10월 12일	납입
제 11 년분	금 액	422,500 원	2018년 10월 12일	납입
제 12 년분	금 액	422,500 원	2019년 10월 07일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2005.10.06	수리 (Accepted)	1-1-2005-0566217-95
2	보정요구서	2005.10.11	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0101239-54
3	서지사항보정서	2005.10.25	수리 (Accepted)	1-1-2005-0605424-99
4	출원인변경신고서	2007.01.11	수리 (Accepted)	1-1-2007-0029448-08
5	명세서등보정서	2007.03.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0216523-66
6	명세서등보정서	2007.03.20	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0220192-96
7	출원심사청구서	2007.03.27	수리 (Accepted)	1-1-2007-0238428-31
8	출원인정보변경(경정)신고서	2007.04.09	수리 (Accepted)	4-1-2007-5053713-97
9	선행기술조사의뢰서	2008.02.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
10	선행기술조사보고서	2008.03.13	수리 (Accepted)	9-1-2008-0017901-42
11	의견제출통지서	2008.04.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0236635-10
12	[명세서등 보정]보정서	2008.05.08	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2008-0327006-88
13	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2008.05.08	수리 (Accepted)	1-1-2008-0326979-08
14	등록결정서	2008.10.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0534650-18
15	출원인정보변경(경정)신고서	2014.01.02	수리 (Accepted)	4-1-2014-5000672-13


기술번호	KST2014022924
자료제공기관	NTB
기술공급기관	아주대학교
기술명	열공압 구동 방식 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
기술개요	본 발명은 화학, 의학, 약학, 생명 공학, 환경 공학 등의 바이오산업 전반에 걸친 첨단 응용에 필수적인 극소량 유체의 자유로운 이용을 가능하게 하는 열공압 구동 방식의 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 모세관 마이크로 펌프는 일반적인 펌프와 같이 움직이는 구조물 즉, 박막이나 밸브가 존재하지 않으며, 그로 인해 구조가 단순하고 제조가 용이하며 제작 단가가 상대적으로 낮은 장점을 갖고있다. 위에 기술한 장점을 지닌 본 열공압 구동 마이크로 펌프는 두 개의 공기 챔버와 마이크로 히터, 모세관, 펌프 챔버, 통기 유로 등으로 구성된다. 마이크로 펌프는 두 가지 원리로 작동된다. 마이크로 히터에 전류를 흘리면 발생되는 열로 인해서 공기 챔버 내에 있는 공기가 팽창하면서 펌프 챔버 내에 있는 유체를 출구로 밀어낸다. 이 때 통기 유로로 인해 두 공기 챔버의 압력은 동일하고 입구를 모세관의 유체 저항이 커서 펌프 챔버내의 유체는 출구쪽으로 토출된다. 펌프 챔버 내의 유체가 완전히 토출되자마자 히터의 전류를 끊으면 팽창된 공기가 수축한다. 펌프 챔버의 출구측 유체 경계선에 작용하는 표면 장력으로 출구측 유체의 유입이 저지되고 입구측에서만 유체가 펌프 챔버 내로 유입된다. 마이크로 펌프, 열공압, 마이크로머시닝
개발상태	기술개발진행중
기술의 우수성
응용분야	화학
시장규모 및 동향
희망거래유형	라이센스,
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	1345071516
세부과제번호	핵C6A1713
연구과제명	MEMS/나노포토닉스기반의센서및의용생체응용기술
성과구분	등록
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국학술진흥재단
연구주관기관명	아주대학교
성과제출연도	2008
연구기간	200603~201302
기여율	1
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

[1020080098407]	기생소자를 가지는 유-형태의 광대역 알에프아이디 태그 안테나	새창보기
[1020080081774]	다이렉트 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩의 저온 본딩 방법	새창보기
[1020080051438]	기체 압력을 이용하는 약물 주입 장치	새창보기
[1020080018247]	등방성 복사 특성을 갖는 U-형태의 RFID 태그 안테나	새창보기
[1020080016530]	무전원 구동 랩온어칩 및 그 구동 방법	새창보기
[1020070041894]	통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서	새창보기
[1020050094058]	열공압 구동 방식 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법	새창보기
[1020040070113]	전자기적 결합 급전 소형 광대역 모노폴 안테나	새창보기

중요키워드

이전대상기술 뷰 페이지 관련기술 표
[KST2019027138][아주대학교]	열적으로 구동하는 삼투 펌프 및 이를 이용한 발전시스템	새창보기

의뢰할 수요기술을 선택합니다

담당자명, 주소, 이메일, 연락처, 내용, 파일선택의 정보를 제공하는 도입희망기술 뷰 페이지 의뢰하기 입력표입니다.
담당자명		활동구분※필수입력항목
이메일		연락처	- -
내용
파일선택	파일선택