맞춤기술찾기

이전대상기술

전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자 및 제조방법

  • 기술번호 : KST2014023524
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자 및 제조방법에 관한 것으로 기판의 상부에 적층되는 제 1도핑층을 포함하고, 상기 제 1도핑층 일측에 메사 식각 된 저면에 적층되는 제 1전극을 포함하며, 상기 제 1도핑층의 식각되지 않은 부분의 상부에 적층되는 활성층을 포함한다. 그리고, 상기 활성층의 상부에 격자구조로 적층되는 제 2도핑층을 포함하며, 상기 제 2도핑층의 돌출된 부분에 적층되는 투명전극을 포함하고, 상기 투명전극이 적층 된 제 2도핑층의 일측에 적층되는 제 2전극을 포함한다. 본 발명에 의하면, 투명전극과 제 2도핑층을 동시에 식각함에 따라 플리즈마 식각에 대한 데미지를 방지하여 전기적 특성을 향상시키고, 스카라이브레인(scribe lane) 상에 격자구조를 형성하여 발광 소자의 광추출 효율을 증가시킨다.발광소자, 투명전극, 메사 식각, 격자구조
Int. CL H01L 33/42 (2010.01.01) H01L 33/06 (2010.01.01)
CPC H01L 33/42(2013.01) H01L 33/42(2013.01) H01L 33/42(2013.01) H01L 33/42(2013.01) H01L 33/42(2013.01)
출원번호/일자 1020070052277 (2007.05.29)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-0886821-0000 (2009.02.26)
공개번호/일자 10-2009-0001903 (2009.01.09) 문서열기
공고번호/일자 (20090304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.29)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김상묵 대한민국 광주 서구
2 백종협 대한민국 대전광역시 서구
3 이상헌 대한민국 부산 금정구
4 김윤석 대한민국 서울 강북구
5 이승재 대한민국 전북 전주시 덕진구
6 진정근 대한민국 경기 군포시
7 유영문 대한민국 서울 관악구
8 염홍서 대한민국 서울 마포구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0394647-48
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0178161-31
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0382419-54
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0382420-01
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0499504-94
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0730778-48
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0730780-30
8 등록결정서
Decision to grant
2009.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0078298-09
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과,상기 기판의 상부에 적층된 제 1도핑층과,상기 제 1도핑층의 일측의 메사 식각된 저면에 적층된 제 1전극과,상기 제 1도핑층의 식각되지 않은 부분의 상부에 적층된 활성층과,상기 활성층의 상부에 순차로 적층된 제 2도핑층 및 투명전극과,상기 제 2도핑층 및 투명전극의 일측에 적층된 제 2전극을 포함하는 발광소자에 있어서,상기 제 1전극과 상기 제 2전극 사이 영역의 제 2도핑층 및 투명전극은, 제 2도핑층의 상층부가 격자구조이고, 상기 격자구조의 상부면에만 투명전극이 설치되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1도핑층 및 제 2도핑층은 질화갈륨(GaN)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 활성층은 양자우물층(MQW)인 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 사파이어 기판인 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1전극은 제 1도핑층과 같은 극성을 가진 전극이고, 상기 제 2전극은 제 2도핑층과 같은 극성을 가진 전극으로서, 각각 N 전극과 P전극 중에 선택되는 반대 전극인 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자
7 7
기판 위에 제 1도핑층, 활성층 및 제 2도핑층이 순차적으로 적층된 발광 소자의 제조방법에 있어서, 상기 제 2도핑층의 상부에 투명전극을 증착하는 1단계;상기 투명전극의 상부에 나노 사이즈의 패터닝을 실시하는 2단계;상기 패터닝을 따라 상기 투명전극과 상기 제 2 도핑층의 상부층을 동시에 식각하여 격자구조를 형성하고, 제 2도핑층의 격자구조의 돌출된 상부면에 투명전극이 구비된 구조를 형성하는 3단계; 및상기 3단계를 통해 형성된 발광 소자의 일측에 메사 식각을 실행하여 상기 식각된 저면에 제 1전극을 형성하고, 상기 발광 소자의 타측 상부에 제 2전극을 형성하는 4단계를 포함하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 나노 사이즈의 패터닝 방법은 이빔, 레이저 홀로그래피, 나노임프린트 중에서 선택된 어느 하나의 방법인 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자 제조방법
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 2단계의 나노 사이즈 패터닝은 상기 투명전극 상부에 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4), 포토레지스터(photoresist), 아이티오(ITO), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 및 금(Au)으로 구성된 그룹 중에서 선택된 어느 하나의 물질을 식각 마스크 물질로 하여 수행되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자 제조방법
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 제 1전극은 제 1도핑층과 같은 극성을 가진 전극이고, 상기 제 2전극은 제 2도핑층과 같은 극성을 가진 전극으로서, 각각 N 전극과 P전극 중에 선택되는 반대 전극인 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 향상한 광자결정 발광 소자 제조방법
11 11
삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.