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백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014023857
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광소재의 굴절률 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 상대적으로 간단한 간섭계 구도와 원리로서 단순한 형태의 샘플 준비만으로도 연속적이고 넓은 파장 영역에서의 위상 굴절률의 절대값을 일시에 측정할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명에 따른 굴절률 측정 장치는, 다중 파장의 광 신호를 출력하는 광원(10); 상기 광원(10)으로부터 입력되는 광 신호를 2개로 분배하는 광 신호 분배기(101,201), 상기 광 신호 분배기(101,201)를 통하여 분배된 광 신호 중 어느 하나를 수신하는 기준팔(110,210), 상기 광 신호 분배기(101,201)를 통하여 분배된 광 신호 중 다른 하나를 수신하여 측정 대상인 광 샘플로 통과시키고 상기 광 샘플을 회전시킬 수 있는 스테이지를 구성하는 샘플팔(120,220), 상기 기준팔(110,210) 및 상기 샘플팔(120,220)을 거쳐 출력되는 광 신호들을 결합하여 상호 간섭시키는 광 신호 결합기(102,202)를 포함하는 광 간섭계(100,200); 및 상기 광 간섭계(100,200)에서 간섭된 광 신호를 전달받아 스펙트럼을 분석하는 광 스펙트럼 분석기(20);를 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치를 개시한다. 굴절률, 간섭무늬, 마이켈슨, 마하젠더, 간섭계
Int. CL G01N 21/25 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01)
CPC G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01)
출원번호/일자 1020090121335 (2009.12.08)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1108693-0000 (2012.01.16)
공개번호/일자 10-2011-0064649 (2011.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20120125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.08)
심사청구항수 26

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승환 대한민국 인천광역시 남구
2 이승훈 대한민국 인천광역시 남동구
3 김경헌 대한민국 인천광역시 연수구
4 임재인 대한민국 인천광역시 남구
5 김동욱 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0757955-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.08.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0068175-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0584992-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0979265-48
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0979264-03
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0026730-63
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다중 파장의 광 신호를 출력하는 광원(10); 상기 광원(10)으로부터 입력되는 상기 다중 파장의 광 신호를 2개로 분배하는 광 신호 분배기(101,201), 상기 광 신호 분배기(101,201)를 통하여 분배된 광 신호 중 어느 하나를 수신하는 기준팔(110,210), 상기 광 신호 분배기(101,201)를 통하여 분배된 광 신호 중 다른 하나를 수신하여 측정 대상인 광 샘플로 통과시키고 상기 광 샘플을 회전시킬 수 있는 스테이지를 구성하는 샘플팔(120,220), 상기 기준팔(110,210) 및 상기 샘플팔(120,220)을 거쳐 출력되는 광 신호들을 결합하여 상호 간섭시키는 광 신호 결합기(102,202)를 포함하는 광 간섭계(100,200); 및 상기 광 간섭계(100,200)에서 상호 간섭된 광 신호를 전달받아 간섭무늬의 스펙트럼을 분석하는 광 스펙트럼 분석기(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 기준팔(110)은, 상기 광 신호 분배기(101)로부터 수신한 광 신호를 공기 중으로 출력하기 위한 광 신호 출력용 콜리메이터(104); 및 상기 광 신호 출력용 콜리메이터(104)로부터 출력된 광 신호를 수신하기 위한 광 신호 수신용 콜리메이터(105); 를 포함하며, 상기 광 신호 분배기(101)와 상기 광 신호 출력용 콜리메이터(104) 사이의 광 경로 및 상기 광 신호 수신용 콜리메이터(105)와 상기 광 신호 결합기(102) 사이의 광 경로 중 하나 이상은 광 섬유로 형성되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 샘플팔(120)은, 상기 광 신호 분배기(101)로부터 수신한 광 신호를 광 샘플 설치대(130)로 조사하는 광 신호 발사용 콜리메이터(106); 및 상기 광 샘플 설치대(130) 상의 광 샘플을 통과하여 상기 광 신호 발사용 콜리메이터(106)로부터 조사되는 광 신호를 수신하는 광 신호 수광용 콜리메이터(107); 를 포함하며, 상기 광 신호 분배기(101)와 상기 광 신호 발사용 콜리메이터(106) 사이의 광 경로 및 상기 광 신호 수광용 콜리메이터(107)와 상기 광 신호 결합기(102) 사이의 광 경로 중 하나 이상은 광 섬유로 형성되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 광 신호 분배기(101)와 상기 광 신호 출력용 콜리메이터(104) 사이의 광경로 또는 상기 광 신호 수신용 콜리메이터(105)와 상기 광 신호 결합기(102) 사이에 구비되어 이들 광 경로 상으로 진행하는 광 신호의 편광 방향을 조절하기 위한 편광 조절기(103)가 구비되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 기준팔(210)은 상기 광 신호 분배기(201)로부터 분배된 광 신호를 굴절시켜 광 신호 결합기(202)로 조사되도록하고, 위치 이동을 통하여 기준팔에서의 광 경로 길이를 조절하는 제 1굴절수단(204); 을 포함하고, 상기 샘플팔(220)은 상기 광 신호 분배기(201)로부터 분배된 상기 광 신호를 굴절시켜 상기 광 샘플 설치대(130) 상의 광 샘플을 통하여 상기 광 신호 결합기(202)로 조사되도록 하는 제 2굴절수단(206); 을 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 제 1굴절수단(204)과 상기 광 신호 결합기(202) 사이의 광 경로에는 광 신호의 편광 방향을 조절하기 위한 반파장판형 편광조절기(207)가 구비되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 샘플팔(120, 220)은 굴절률이 미리 측정된 기판 위에 굴절률을 측정하고자 하는 물질이 박막으로 코팅된 샘플을 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
8 8
청구항 1에 있어서, 상기 샘플팔(120, 220)은 굴절률이 미리 측정된 물질로 이루어진 액체를 담을 수 있는 용기와 상기 용기에 담긴 액체 샘플을 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
9 9
청구항 1에 있어서, 상기 광 간섭계(100,200)의 외면에는 외부 진동의 영향을 차단하기 위한 진동차단막(30)이 구비되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
10 10
다중 파장의 광 신호를 출력하는 광원(10); 상기 광원(10)으로부터 입력되는 광 신호를 2개로 분배하고, 분배된 방향으로부터 되돌아오는 두 광 신호들을 결합하여 상호 간섭시키는 광 신호 분배/결합 수단(301,401), 분배된 두 광 신호 중 어느 하나를 반사하여 상기 광 신호 분배/결합 수단(301,401)으로 되돌려 보내는 기준팔(310,410), 분배된 광 신호 중 다른 하나를 측정대상인 광 샘플 설치대(130) 상의 광 샘플로 통과시키고 상기 광 샘플을 회전시킬 수 있는 스테이지를 구성하며 광 신호를 상기 광 신호 분배/결합 수단(301,401)으로 되돌려 보내고 상기 광 신호 분배/결합 수단(301,401)의 다른쪽 입력단으로 간섭무늬가 출력되도록 하는 샘플팔(320,420)을 포함하는 광 간섭계(300,400); 및 상기 광 간섭계(300,400)에서 간섭된 광 신호를 전달받아 스펙트럼을 분석하는 광 스펙트럼을 분석하는 광 스펙트럼 분석기(20); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
11 11
청구항 10에 있어서, 상기 기준팔(310)은 상기 광 신호 분배/결합 수단(301)으로부터 나온 광 신호를 수신하고, 수신된 광 신호를 제 1반사체(305)로 출력한 후 상기 제 1반사체(305)로부터 반사된 광 신호를 입력받는 광 신호 출력/수신용 콜리메이터(303)를 포함하고, 상기 샘플팔(320)은 상기 광 신호 분배/결합 수단(301)으로부터 나온 광 신호를 상기 광 샘플 설치대(130) 상의 광 샘플로 출력하고, 상기 광 샘플을 통하여 투과되며 제 2반사체(306)에 의해 반사된 광 신호를 입력받는 광 신호 연결 콜리메이터(304)를 포함하고, 상기 광 신호 분배/결합 수단(301)과 상기 광 신호 출력/수신용 콜리메이터(303) 사이의 광 경로 및 상기 광 신호 분배/결합 수단(301)과 상기 광 신호 연결 콜리메이터(304) 사이의 광 경로 중 하나 이상은 광 섬유로 구성되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
12 12
청구항 11에 있어서, 상기 광 신호 분배기(301)와 상기 광 신호 출력/수신용 콜리메이터(303) 사이의 광경로 상으로 진행하는 광 신호의 편광 방향을 조절하기 위한 편광 조절기(302)가 구비되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
13 13
청구항 12에 있어서, 상기 제 1반사체(305)는 상기 광 신호 분배/결합 수단(301)으로부터 분배된 광 신호 중 어느 하나를 반사하여 상기 광 신호 분배/결합 수단(301)으로 되돌려 보내며, 위치 이동을 통하여 상기 기준팔(310)에서의 광 경로 길이를 조절하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
14 14
청구항 10에 있어서, 상기 샘플팔(320, 420)은 굴절률이 미리 측정된 기판 위에 굴절률을 측정하고자 하는 물질이 박막으로 코팅된 샘플을 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
15 15
청구항 10에 있어서, 상기 샘플팔(320,420)은 굴절률이 미리 측정된 물질로 이루어진 액체를 담을 수 있는 용기와 상기 용기에 담긴 액체 샘플을 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
16 16
청구항 10에 있어서, 상기 광 간섭계(300, 400)의 외면에는 외부 진동의 영향을 차단하기 위한 진동차단막(30)이 구비되는 것을 특징으로 하는 굴절률 측정 장치
17 17
광 샘플의 각도가 샘플로 진행하는 빔의 광축에 수직하게 위치하고 있는 상태에서 광 간섭계를 통과하여 출력되는 스펙트럼을 측정하고 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻는 기준 스펙트럼 획득단계; 상기 스펙트럼을 고속 푸리에 변환과 힐버트 변환을 이용하여 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 기준 간섭무늬 획득단계; 상기 기준 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준 파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변화에 따른 위상 차이값을 계산하는 기준 위상차 계산단계; 상기 광 샘플이 회전한 상태에서 상기 광 간섭계를 통과하여 나오는 스펙트럼을 측정하고 상기 기준 간섭무늬 획득단계와 동일한 과정을 거친 후 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻은 다음 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 대조 간섭무늬 획득단계; 상기 대조 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변화에 따른 위상 차이값을 계산하는 대조 위상차 계산단계; 상기 기준 위상차 계산단계 및 상기 대조 위상차 계산단계 각각에 대하여 위상 차이값을 데이터 피팅하여 각각의 피팅함수를 결정하는 피팅함수 결정단계; 및 싱기 피팅함수 결정단계에서 결정된 피팅함수들을 이용하여 임의의 파장에 해당하는 주파수에서의 기준 위상차 값과 대조 위상차 값을 구하고, 상기 기준 위상차 값 및 상기 대조 위상차 값의 차이값과 하기의 수학식 17을 이용하여 굴절률을 계산하는 굴절률 계산단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
18 18
광 샘플의 각도가 샘플로 진행하는 빔의 광축에 수직하게 위치하고 있는 상태에서 상기 광 간섭계를 통과하여 출력되는 스펙트럼을 측정하며 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻는 기준 스펙트럼 획득단계; 상기 기준 스펙트럼 획득단계와 동일하게 광 샘플의 각도가 샘플로 진행하는 빔의 광축에 수직하게 위치하고 있는 상태에서 상기 광 간섭계의 두 팔 중 하나만을 교번적으로 막아 빛 통과를 차단하고, 차단되지 않은 팔의 스펙트럼을 측정한 후, 이들 스펙트럼을 상기 기준 스펙트럼 획득단계에서 얻어진 스펙트럼으로부터 제외하고 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 기준 간섭무늬 획득단계; 상기 기준 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준 파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변화에 따른 위상 차이값을 계산하는 기준 위상차 계산단계; 상기 광 샘플이 회전한 상태에서 상기 광 간섭계를 통과하여 나오는 스펙트럼을 측정하고 상기 기준 간섭무늬 획득단계와 동일한 과정을 거친 후 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻은 다음 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 대조 간섭무늬 획득단계; 상기 대조 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변화에 따른 위상 차이값을 계산하는 대조 위상차 계산단계; 상기 기준 위상차 계산단계 및 상기 대조 위상차 계산단계 각각에 대하여 위상 차이값을 데이터 피팅하여 각각의 피팅함수를 결정하는 피팅함수 결정단계; 및 상기 피팅함수 결정단계에서 결정된 피팅함수들을 이용하여 임의의 파장에 해당하는 주파수에서의 기준 위상차 값과 대조 위상차 값을 구하고, 상기 기준 위상차 값 및 상기 대조 위상차 값 간의 차이값과 하기의 수학식 17에 의하여 굴절률을 계산하는 굴절률 계산단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
19 19
청구항 17 또는 18에 있어서, 상기 기준 스펙트럼 획득단계 또는 상기 대조 스펙트럼 획득단계 이전에 기준팔의 광 신호 전송길이를 조절하는 전송길이 조절단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
20 20
청구항 19에 있어서, 상기 전송길이 조절단계는 간섭무늬의 가시도가 가장 큰 상태가 될 수 있도록 기준팔의 광 신호 전송길이를 조절하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
21 21
청구항 20에 있어서, 상기 광 샘플이 복굴절률을 가지는 경우에는, 이중 간섭무늬가 측정되도록 상기 광 샘플로 조사되는 광 신호의 편광과 상기 기준팔의 광 신호 전송길이를 조절하는 조절단계; 일정한 간격의 스펙트럼을 구하기 위하여 상기 기준 스펙트럼 획득단계 및 대조 스펙트럼 획득단계에서 획득된 스펙트럼을 보간하는 보간단계; 푸리에 변환과 필터링 및 역푸리에 변환 과정을 이용하여 보간된 스펙트럼으로부터 정상 굴절빔과 비정상 굴절빔에 대한 간섭무늬로 구분하는 간섭무늬 구분단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
22 22
광 샘플의 각도가 샘플로 진행하는 빔의 광축에 수직하게 위치하고 있는 상태에서 광 간섭계를 통과하여 출력되는 스펙트럼을 측정하고, 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻는 기준 스펙트럼 획득단계; 상기 스펙트럼을 고속 푸리에 변환과 힐버트 변환을 이용하여 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 기준 간섭무늬 획득단계; 상기 기준 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준 파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변환에 따른 위상차이 값을 계산하는 기준 위상차 계산단계; 상기 광 샘플이 회전한 상태에서 상기 광 간섭계를 통과하여 나오는 스펙트럼을 측정하고, 상기 기준 간섭무늬 획득단계와 동일한 과정을 거친 후 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻은 다음 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 대조 간섭무늬 획득단계; 상기 대조 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스팩트럼을 이용하여 미리 정해진 기준파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변화에 따른 위상차이 값을 계산하는 대조 위상차 계산단계; 상기 기준 위상차 계산단계 및 상기 대조 위상차 계산단계 각각에 대해서 위상차이 값을 데이터 피팅하여 각각의 피팅함수를 결정하는 피팅함수 결정단계; 및 상기 피팅함수 결정단계에서 결정된 피팅함수들을 이용하여 임의의 파장에 해당하는 주파수에서의 기준 위상차 값과 대조 위상차 값을 구하고, 상기 기준 위상차 값 및 상기 대조 위상차 값 간의 차이값과 하기의 수학식 18을 이용하여 굴절률을 계산하는 굴절률 계산단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
23 23
광 샘플의 각도가 샘플로 진행하는 빔의 광축에 수직하게 위치하고 있는 상태에서 광 간섭계를 통과하여 출력되는 스펙트럼을 측정하고, 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻는 기준 스펙트럼 획득단계; 상기 기준 스펙트럼 획득단계와 동일하게 광 샘플의 각도가 샘플로 진행하는 빔의 광축에 수직하게 위치하고 있는 상태에서, 상기 광 간섭계의 두 팔 중 하나만을 교번적으로 막아 빛 통과를 차단하고, 차단하지 않은 팔의 스펙트럼을 측정한 후, 이들 스펙트럼을 상기 기준 스펙트럼 획득단계에서 얻어진 스펙트럼으로부터 제외하고 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 기준 간섭무늬 획득단계; 상기 기준 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준 파장에 해당하는 주파수로부터 주파수 변환에 따른 위상차이 값을 계산하는 기준 위상차 계산단계; 상기 광 샘플이 회전한 상태에서 상기 광 간섭계를 통과하여 나오는 스펙트럼을 측정하고, 상기 기준 간섭무늬 획득단계와 동일한 과정을 거친 후, 파장을 주파수로 바꾸어 주파수 스펙트럼을 얻은 다음 정규화하여 간섭무늬 스펙트럼을 구하는 대조 간섭무늬 획득단계; 상기 대조 간섭무늬 획득단계에서 얻어진 간섭무늬 스펙트럼을 이용하여 미리 정해진 기준파장에서 해당하는 주파수로부터의 주파수 변화에 따른 위상차이 값을 계산하는 대조 위상차 계산단계; 상기 기준 위상차 계산단계 및 상기 대조 위상차 계산단계 각각에 대해서 위상차이 값을 데이터 피팅하여 각각의 피팅함수를 결정하는 피팅함수 결정단계; 및 상기 피팅함수 결정단계에서 결정된 피팅함수들을 이용하여 임의의 파장에 해당하는 주파수에서의 기준 위상차 값과 대조 위상차 값을 구하고, 상기 기준 위상차 값 및 상기 대조 위상차 값 간의 차이값과 하기의 수학식 18에 의해 굴절률을 계산하는 굴절률 계산단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
24 24
청구항 22 또는 23에 있어서, 상기 기준 스펙트럼 획득단계 또는 상기 대조 스펙트럼 획득단계 이전에 기준팔의 광 신호 전송길이를 조절하는 전송길이 조절단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
25 25
청구항 24에 있어서, 상기 전송길이 조절단계는 간섭무늬의 가시도가 가장 큰 상태가 될 수 있도록 기준팔의 광 신호 전송길이를 조절하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
26 26
청구항 24에 있어서, 상기 광 샘플이 복굴절률을 가지는 경우에는, 이중 간섭무늬가 측정되도록 상기 광 샘플로 조사되는 광 신호의 편광과 상기 기준팔의 광 신호 전송길이를 조절하는 조절단계; 일정한 간격의 스펙트럼을 구하기 위하여 상기 기준 스펙트럼 획득단계 및 대조 스펙트럼 획득단계에서 획득된 스펙트럼을 보간하는 보간단계; 푸리에 변환과 필터링 및 역푸리에 변환 과정을 이용하여 보간된 스펙트럼으로부터 정상 굴절빔과 비정상 굴절빔에 대한 간섭무늬로 구분하는 간섭무늬 구분단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 백색광 간섭계를 기반으로 하는 굴절률 측정 방법
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