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실시간 공정 진단 구조체를 이용한 분광 분석기

  • 기술번호 : KST2014023945
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공상태에서 반응부산물 또는 반응물에 빔을 입사하고 입사된 빔이 굴절 및 산란되도록 하여 출사되는 출사빔의 강도를 측정함으로써 반응부산물 또는 반응물의 정량 및 정성분석을 할 수 있도록 하는 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기에 관한 것으로, 본 발명의 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기는 빔이 입사되는 입사창(11)과, 상기 입사창(11)으로 입사된 빔이 입사되며 반응부산물 또는 반응물의 실시간 공정진단이 가능하도록 일시 수용하는 수용부(12)와, 상기 수용부(12) 내에서 입사된 빔이 반응부산물 또는 반응물에 통과하여 출사되는 출사창(13)과, 상기 수용부(12) 내부에 장착되며 상기 입사창(11)으로 입사된 빔이 상기 수용부(12) 내부를 적어도 한번 이상 왕복되도록 반사하여 상기 출사창(13)으로 출사되도록 하는 반사미러(14)를 포함하며, 내부가 진공상태로 되는 반응기(10); 상기 반응기(10)로부터 출사된 빔을 검출하는 검출기(20); 검출된 빔의 세기를 이용하여 시료의 정성 및 정량을 분석하는 분석기(30); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 실시간, 공정진단, 적외선, 분광 분석기, 진공상태
Int. CL G01N 21/00 (2014.01) G01N 21/25 (2014.01) G01N 21/35 (2014.01)
CPC G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01)
출원번호/일자 1020070079049 (2007.08.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0892309-0000 (2009.04.01)
공개번호/일자 10-2009-0014798 (2009.02.11) 문서열기
공고번호/일자 (20090408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 서울 용산구
2 윤주영 대한민국 서울 양천구
3 성대진 대한민국 충남 공주시
4 신용현 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0572646-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0043268-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0617960-25
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0008251-43
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0008213-18
7 등록결정서
Decision to grant
2009.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0116145-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
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빔이 입사되는 입사창(111)과, 상기 입사창(111)으로 입사된 빔이 입사되며 반응부산물 또는 반응물의 실시간 공정진단이 가능하도록 일시 수용하는 수용부(112)와, 상기 수용부(112) 내에서 고정부(113)에 의해 고정되며 입사된 빔이 반응부산물 또는 반응물에 의한 굴절 및 산란되어 입사되며 내부를 적어도 한번 이상 왕복하여 출사되도록 하는 크리스탈(114)과,상기 크리스탈(114) 주변에 이격되어 구비되며 원적외선 영역의 연속 복사선을 제공하는 플라즈마 전극(115)과, 상기 크리스탈(114)로부터 출사된 빔을 출사하는 출사창(116)을 포함하며, 내부가 진공상태로 되는 반응기(110);상기 반응기(110)로부터 출사된 빔의 굴절 및 산란을 검출하는 검출기(120);검출된 빔의 세기를 이용하여 시료의 정성 및 정량을 분석하는 분석기(130);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 반응기(110)는 상기 반응기 내의 압력을 조절하기 위한 압력조절기(117)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 크리스탈(114)과 플라즈마 전극(115)에 반응부산물 또는 반응물이 흡착 및 증착되는 것을 방지하도록 비활성기체를 주입하는 청소용 포트 (118)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 고정부(113)는 상기 크리스탈(114)의 온도를 조절하도록 온도 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기
11 11
제 7 항에 있어서, 상기 반응기(110)는 상기 크리스탈(114)과 플라즈마 전극(115)에 흡착 및 증착된 시료를 세척하기 위하여 상기 크리스탈(114)과 플라즈마 전극(115) 사이에 기체 또는 액체를 주입하기 위한 주입구(119)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기
12 12
제 1 항 내지 제 11 항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 분석기는 휴지기 장비 내부에서 나오는 기체를 분석하여 장비청소주기 또는 유지관리주기(PM주기) 분석에 이용되는 것을 특징으로 하는 적외선 분광 분석기
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3 US7830505 US 미국 DOCDBFAMILY
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