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나노소재용 역학-전기 복합센서

  • 기술번호 : KST2014023951
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노소재의 역학적인 물성 측정에만 치중되어왔던 기존의 힘센서에 비해서, 역학적-전기적 복합물성을 동시에 측정할 수 있는 나노소재용 역학-전기 복합센서에 관한 것이다. 본 발명은 압전막(ZnO)이 내장된 감지부의 끝단에 제1감지막(Au층)이 형성되고, 지지부에 전기적 물성을 측정하기 위해 끝단에 제2감지막(Au층)이 형성된 제5전극이 포함되고, 상기 제1감지막과 제2감지막이 탄소나노튜브 섬유를 통해 전기적으로 연결되며, 상기 제1감지막이 나노소재에 접촉하여 굽힘하중을 가하거나 나노소재를 그리핑하여 인장하중을 가할 때 압전막의 압전현상을 이용하여 나노소재에 가해진 하중을 측정하고, 동시에 변화되는 전기적 물성을 측정함으로써, 역학적 물성과 전기적 물성 간의 상관관계를 측정 및 평가하여 나노소재의 신뢰성에 대한 평가를 향상시킬 수 있는 나노소재용 역학-전기 복합센서를 제공한다. 나노소재, 역학-전기 복합물성, 감지부, 압전현상, 지지부
Int. CL G01N 3/08 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01) G01D 21/02(2013.01)
출원번호/일자 1020090114350 (2009.11.25)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1051890-0000 (2011.07.20)
공개번호/일자 10-2011-0057795 (2011.06.01) 문서열기
공고번호/일자 (20110728) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남승훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 장훈식 대한민국 대구광역시 서구
3 전상구 대한민국 부산광역시 부산진구
4 김민석 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0723601-57
2 등록결정서
Decision to grant		 2011.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0386876-28
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
4 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent		 2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
압전막이 내장되어 나노소재(35)에 굽힘 또는 인장하중을 가할 때 나노소재(35)의 역학적 물성을 측정하는 감지부(20); 상기 감지부(20)의 끝단에 형성되며, 상기 나노소재(35)가 접촉될 때 상기 역학적 물성 측정과 동시에 전기적 물성을 실시간으로 측정하는 제1감지막(21a); 및 상기 감지부(20)의 일단부가 일체로 연결되어 감지부(20)를 지지하는 지지부(10); 를 포함하는 나노소재용 역학-전기 복합센서
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 감지부(20)는 실리콘산화막(22), Au층(23), 압전물질로 된 압전막(24), Au층(23), 실리콘산화막(22)이 적층된 구조로 이루어지고, 상기 압전막(24)의 압전현상을 이용하여 가해진 하중을 측정하는 것을 특징으로 하는 나노소재용 역학-전기 복합센서
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 지지부(10)는 나노소재(35)에 가해진 하중을 측정하기 위해 휘스톤 브리지 회로를 구성하도록 형성된 제1 내지 제4전극(11~14)과, 상기 나노소재(35)의 전기적 물성을 측정하기 위해 제1감지막(21a)과 연결되도록 끝단에 제2감지막(21b)이 형성된 제5전극(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노소재용 복합센서
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 제1감지막(21a)과 제2감지막(21b)은 탄소나노튜브 섬유(30)에 의해 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2감지막(21b)과 탄소나노튜브 섬유(30)의 접점부위에 전자빔을 주사하여 탄소분자 또는 탄화수소분자가 증착되는 것을 특징으로 하는 나노소재용 역학-전기 복합센서
5 5
청구항 3에 있어서, 상기 제1감지막(21a)과 제2감지막(21b)은 탄소나노튜브 섬유(30)에 의해 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2감지막(21a,21b)과 탄소나노튜브 섬유(30)의 접점부위에 이온빔을 주사하여 백금이 증착되는 것을 특징으로 하는 나노소재용 역학-전기 복합센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 21세기 프론티어연구개발사업 나노 패턴손상 및 복합물성 측정기술 개발