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MEMS 표면마이크로가공기술을 이용하여 금속 및 다결정 실리콘 캔틸레버형 구조로 제조된 적어도 하나의 구동기부와,벌크마이크로가공기술을 이용하여 금속거울면으로 제조된 적어도 하나의 거울 구조부와,상기 구동기부와 상기 거울 구조부를 잇는 연결부와, 상기 연결부의 양측에 설치되는 가이드부와, 상기 양측 가이드부를 연결하도록 하고 상기 연결부의 저측에 형성되는 회전스프링부를 포함하고,상기 구동기부와 거울구조부는 분리 제작되어 연결부에 결합되는 것을 특징으로 하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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청구항 1에 있어서, 상기 구동기부는 복수개가 배열된 구조이고, 상기 거울 구조부는 상기 구동기부의 수에 대응되도록 배열된 구조인 것을 특징으로 하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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청구항 1에 있어서,상기 구동기부는 정전력, 자기력 또는 열적변형력에 의한 상하 운동력으로 구동하는 것을 특징으로 하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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청구항 3에 있어서, 상기 거울 구조부는 단결정 실리콘이나 다결정 실리콘을 이용하여 제조된 초소형인 것을 특징으로 하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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청구항 1에 있어서, 상기 구동기부와 상기 거울 구조부는 회전스프링부를 중심으로 시소 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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하측 실리콘면에 해당하는 캔틸레버 받침부와, 상기 캔틸레버 받침부의 상면 일측에 가로방향으로 형성된 정전력을 위한 전극 패드와, 상기 전극패드를 제외한 상기 캔틸레버 받침부의 상면에 도포되는 SOI 웨이퍼의 실리콘 산화막과, 상기 실리콘 산화막 면상에 길이 방향으로 다수개가 배설되는 금속 또는 실리콘 다중 캔틸레버와, 상기 캔틸레버 받침부와 소정 거리 이격되어 설치되고 거울부의 하측 실리콘면에 해당하는 거울부 받침부와, 상기 거울부 받침부의 상측에 상기 캔틸레버와 대응되도록 배설되는 다수개의 금속거울면과, 상기 금속거울면의 저부에 형성된 상측 실리콘면과, 상기 캔틸레버와 상기 금속 거울면을 잇는 연결부와, 상기 연결부의 양측에 설치되는 가이드부와, 상기 양측 가이드부를 연결하도록 하고 상기 연결부의 저측에 형성되는 회전스프링부를 포함하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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청구항 6에 있어서, 상기 회전스프링을 중심으로 정전구동의 상기 캔틸레버와 거울부의 하측 실리콘면에 해당하는 거울부 받침부와 캔틸레버측의 하측 실리콘면에 해당하는 캔틸레버 받침부에 해당하는 고정 전극 간의 정전인력 작용이 거울면을 변형 없이 들어 올려줘 원하는 기울임을 얻을 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이
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캔틸레버와 초소형 금속 거울면이 회전스프링을 축으로 상하 구동하는 거물단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이의 제조방법에 있어서,SOI 웨이퍼의 상측 실리콘 부분에서 상기 거울면과 상기 회전스프링 부분을 제외한 나머지 부분을 DRIE 공정을 이용하여 제거하는 단계와,폴리머 등을 이용하여 상기 캔틸레버 중 실리콘 산화막에서 떨어져 있는 부분 모양처럼 희생층을 만드는 단계와,금속박막을 만든 후 상기 캔틸레버를 제외한 나머지를 제거하는 단계와,상기 회전스프링을 적절한 깊이로 파내는 단계와,상기 거울면의 하측 실리콘면을 파내는 단계와,상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이의 제조방법
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