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입력광을 반사시켜 광로를 변화시키는 반사미러; 입력신호에 의해 정전인력을 발생하여 기설정된 위치로 스위칭하도록 상기 반사미러를 구동시키고, 상기 반사미러의 변위에 대응하여 정전용량을 변화시키는 구동수단; 상기 구동수단으로부터 정전용량의 변화량을 검출하는 정전용량 검출수단; 및 상기 정전용량 검출수단의 출력신호에 기초하여 상기 반사미러의 스위칭 위치를 판별하여 기설정 위치와 일치하지 않을 시 상기 반사미러의 위치를 보정하도록 상기 구동수단을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 광스위칭장치
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청구항 1에 있어서, 상기 구동수단은 상기 입력신호에 따라 정전인력을 발생하는 빗살형상의 구동전극과, 상기 반사미러의 변위에 따라 상기 정전용량의 변화량을 발생하는 빗살형상의 검지전극과, 상기 구동전극과 검지전극에 대해 소정간격 이격되어 상기 구동전극과 검지전극과 겹쳐지는 빗살형상의 구조물과, 상기 빗살형상의 구조물에 결합되어 상기 정전인력에 의해 기계적 운동을 하는 지지부로 구성되는 것을 특징으로 광스위칭장치
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청구항 2에 있어서, 상기 구동전극과 검지전극과 구조물은 반사미러의 정확한 위치제어를 위해 상기 반사미러와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 광스위칭장치
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청구항 2에 있어서, 상기 구동수단은 기판과 결합하기 위한 복수의 고정부가 결합되며, 상기 구동전극의 일측에는 제 1 고정부가, 상기 검지전극의 일측에는 제 2 고정부가, 상기 상기 지지부에는 제 3 내지 제 6고정부가 결합되는 것을 특징으로 하는 광스위칭장치
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청구항 2에 있어서, 상기 구동수단은 상기 구조물의 변위에 따라 정전용량이 선형적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 광스위칭장치
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청구항 1에 있어서, 상기 정전용량 검출수단은 상기 검지전극의 정전용량 변화량에 따라 전압신호를 발생하는 정전용량-전압 컨버터로 구성되는 것을 특징으로 하는 광스위칭장치
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