요약 |
본 발명은 이동이 가능하도록 구비되는 전자석을 이용한 이온빔 스위치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스위치 전자석과 집속 전자석을 병렬로 배치하고 각 전자석을 이온빔이 조사되는 방향과 수직으로 왕복 이동시키는 이동 수단을 구비하여 이온빔이 스위치 전자석과 집속 전자석을 선택적으로 통과하도록 구성함으로써, 빔을 인출하지 않고 다음 가속 단계로 공급하는 경우에 빔이 스위치 전자석을 통과하지 않고 바로 집속 전자석 만을 통과하게 하여, 장치의 설치 공간 및 집속 전자석의 용량을 줄일 수 있는 이온빔 스위치에 관한 것이다.본 발명에 따른 이동 가능한 전자석을 이용한 이온빔 스위치는, 이온빔의 진행 방향을 편향시키는 스위치 전자석과; 발산되는 이온빔을 집속해주는 집속 전자석; 및 상기 스위치 전자석 및 집속 전자석을 병렬로 탑재하고 이온빔의 입사 방향과 수직으로 왕복 이동이 가능하도록 구성되어, 이온빔이 상기 스위치 전자석 또는 집속 전자석의 중심을 선택적으로 통과할 수 있도록 구비되는 이송 테이블을 포함하여 구성되는 점을 특징으로 한다.본 발명에 따른 이동 가능한 전자석을 이용한 이온빔 스위치는 스위치 전자석과 집속 전자석이 병렬로 배치되므로 각 전자석이 직렬로 배치된 종래의 이온빔 스위치에 비하여 길이가 짧은 이온빔 공급 라인을 구성할 수 있으며, 다음 가속 단계로 직진하기 위해 스위치 전자석을 통과하지 않으므로 이온빔의 발산 정도가 작아 집속 전자석의 용량을 줄여 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.이온빔 스위치, 병렬 배치, 스위치 전자석, 집속 전자석, 가속기
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