| 요약 |
본 발명은 스코트 변압기를 이용하여 이온빔을 원형으로 조사하는 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스코드 변압기를 이용하여 3상 교류 전압을 90°의 위상차를 가지는 한 쌍의 단상 교류 전압으로 변환시키고, 각 단상 교류 전압을 수평 및 수직 방향 편향기에 각각 인가하여 편향기에 의해 굴절되어 표적에 조사되는 이온빔의 궤적을 원형이 되도록 제어함으로써, 표적에서 이온빔 분포의 균일도를 향상시키고 열부하를 감소시키는 이온빔 원형 조사 장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 스코트 변압기를 이용한 이온빔 원형 조사 장치는, 이온빔을 생성하는 이온원과; 3상의 교류 전압을 공급해주는 3상 전원과; 상기 3상 전원으로부터 전압을 공급받아 서로 90°의 위상차를 가지는 한 쌍의 단상 교류 전압을 출력해주는 스코트 변압기; 및 상기 스코트 변압기로부터 출력되는 한 쌍의 단상 교류 전압을 각각 입력받아 상기 이온원으로부터 조사되는 이온빔의 진행 방향을 수평 및 수직 방향으로 각각 변경시키는 수평 방향 편향기 및 수직 방향 편향기로 이루어진 2차원 편향기를 포함하여 구성되는 점을 특징으로 한다.본 발명에 따른 스코트 변압기를 이용한 이온빔 조사 장치 및 그 방법은 편향기의 전원에 스코트 변압기만을 추가로 구비하여 이온빔을 원형으로 조사할 수 있기 때문에, 조사 면적을 넓히고 조사 균일도를 향상시키는 동시에 단순한 구조를 가진 저렴한 이온빔 조사 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.스코트 변압기, 이온빔, 원형 조사, 편향기, 위상차
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