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레이저 다이오드 칩을 서브 마운트에 접착시키는 장치에 있어서,
상기 레이저 다이오드 칩을 넣기 위한 개구와 서브마운트를 넣기 위한 개구를 상면에 구비하는 하우징부;
상기 레이저 다이오드 칩을 올려놓기 위한 칩 테이블;
상기 서브마운트를 올려놓기 위한 서브마운트 테이블;
상기 서브마운트 테이블을 가열하여 상기 서브마운트에 증착되어 있는 납땜을 녹이는 가열부;
상기 칩 테이블과 상기 서브마운트 테이블의 위치를 이동시키는 이동모듈; 및
상기 칩 테이블에 놓여 있는 레이저 다이오드를 들어올려 상기 이동 모듈을 통해 이동되는 서브마운트로 내려놓아 상기 레이저 다이오드 칩과 상기 서브마운트를 납땜으로 접착시키는 접착 모듈을 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 레이저 다이오드 칩의 접착 장치는
상기 하우징부 내부에 있는 불순물을 상기 하우징부의 외부로 배출하며 상기 서브마운트의 납땜을 냉각시키기 위한 팬을 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 하우징부는
상기 레이저 다이오드 칩과 상기 서브마운트의 접착 후,
상기 하우징부로 냉각 가스를 주입시키기 위한 주입구; 및
상기 하우징부에 주입되어 있는 냉각 가스를 배출하기 위한 배출구를 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 서브마운트 테이블에는
상기 서브마운트의 위치를 고정시키기 위한 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 이동 모듈은
상기 칩 테이블과 상기 서브마운트 테이블이 설치되어 있는 이동 베이스; 및
상기 이동 베이스에 설치되어 있는 칩 테이블 또는 서브마운트 테이블의 위치를 상기 접착 모듈로 이동시키는 이동부를 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 레이저 다이오드 칩의 접착 장치는
상기 서브마운트 테이블의 온도를 측정하는 온도 측정부; 및
상기 측정한 온도를 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 접착 모듈은
상기 칩 테이블에 놓여 있는 레이저 다이오드 칩을 들어올려 상기 서브마운트로 내려놓는 접착팁; 및
상기 접착팁을 각각 전후방향, 좌우방향 및 상하방향으로 각각 이동시키는 미동 조절 나사를 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 접착팁은
진공펌프와 연결되어 흡착력에 의해 상기 레이저 다이오드 칩을 들어올리는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 레이저 다이오드 칩의 접착 장치는
발로 상기 진공 펌프를 작동시킬 수 있도록 지면 위에 설치되고 상기 진공 펌프를 작동시키는 발판 스위치를 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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10
제 7 항에 있어서, 상기 접착팁은
상기 접착팁을 가열하기 위한 접착팁 가열부를 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 접착팁 가열부는
상기 접착팁을 나선형으로 감싸고 있는 전열선인 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 접착 모듈은
상기 접착팁에서 상기 서브마운트로 전달되는 충격을 완화시킬 수 있는 탄성부재를 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 서브마운트의 납땜과 접착되는 상기 레이저 다이오드 칩의 위치를 확인할 수 있도록 상기 접착팁의 상측에 대물렌즈가 배치되는 광학 현미경을 더 포함하는 레이저 다이오드 칩의 접착 장치
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