| 요약 |
본 발명은 영구자석 필터를 이용한 이온분률 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 설치가 용이하고, 위치조절이 가능하여 이온 가속기로부터 가속 수송되는 이온빔에 포함된 각 이온들의 성분 및 전하량을 빠른 시간 내에 효율적으로 측정할 수 있는 영구자석 필터를 이용한 이온분률 측정장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 영구자석 필터를 이용한 이온분률 측정장치는, 이온 가속기의 이온빔 수송 경로 상에 삽입되어 장착될 수 있도록 몸체의 양단에 연결 플랜지(flange)가 형성되어 있는 동시에, 외부의 진공계에 연결될 수 있도록 몸체의 일측에 진공계 연결 플랜지가 형성되어 있는 챔버와; 상기 챔버 내부에 구비되며, 몸체 중심부에 수평방향으로 개구된 슬릿이 형성되어 있는 콜리메이터와; 상기 슬릿의 좌우에 구비되는 한 쌍의 영구자석과 상기 영구자석 및 상기 슬릿을 둘러싸는 형태로 구성되는 강자성체의 자속 실드를 포함하여 구성되어, 상기 콜리메이터의 배면에 부착되어 구비되는 이온빔 편향장치와; 상기 이온빔 편향장치 및 상기 콜리메이터를 수직방향으로 이동가능하게 하는 편향기 수직이동장치와; 상기 이온빔 편향장치에 이온빔의 진행방향을 따라 소정거리 이격되어 구비되는 이온빔 전류측정기와; 상기 이온빔 전류측정기의 수직 이동을 가능하게 하는 전류측정기 수직이동장치; 및 상기 챔버 외부에 구비되며, 상기 이온빔 전류측정기 및 전류측정기 수직이동장치에 연결되어, 상기 전류측정기 수직이동장치를 제어하여 상기 이온빔 전류측정기의 위치를 설정하고, 상기 이온빔 전류측정기의 위치에 따라 측정된 전류량을 기록하는 제어장치;를 포함하여 이루어진다.이온빔, 전하량, 영구자석, 이온분률, 자기장, 착탈식
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