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탄소용융환원반응을 이용한 나노 홀 형성 방법
- 기술번호 : KST2014026468
- 담당센터 : 대구기술혁신센터
- 전화번호 : 053-550-1450
| 요약 | 기판 상부에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 상부에 금속 혹은 전이 금속 입자를 증착하는 단계; 및 상기 금속 입자가 형성된 절연층의 탄소용융환원(carbothermal reduction) 반응으로 절연층에 나노 홀을 형성하는 단계;를 포함하는 절연층의 식각 방법이 제공된다. 탄소용융환원, 나노홀, 철 나노입자, 배열, 블록공중합체 |
|---|---|
| Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/20 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/0259(2013.01) H01L 21/0259(2013.01) H01L 21/0259(2013.01) H01L 21/0259(2013.01) H01L 21/0259(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080112232 (2008.11.12) |
| 출원인 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1030434-0000 (2011.04.14) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0053213 (2010.05.20) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110420) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.11.12) |
| 심사청구항수 | 19 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 포항공과대학교 산학협력단 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 변혜령 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
| 2 | 장태현 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
| 3 | 최희철 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 포항공과대학교 산학협력단 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.11.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0782474-26 |
| 2 | [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서 [Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document |
2008.11.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-5056110-88 |
| 3 | [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서 [Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document |
2008.11.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-5056289-30 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.08.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0362635-46 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.10.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0677498-39 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.10.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0677496-48 |
| 7 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2010.12.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0568183-86 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.02.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0091870-78 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.02.09 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2011-0091871-13 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.04.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0191251-96 |
| 11 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2011.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0315797-20 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0025573-58 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5024386-11 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.11.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5243581-27 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.11.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5245997-53 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5247115-68 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판 상부에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 상부에 금속 혹은 전이 금속 입자를 증착하는 단계; 상기 금속 입자에 접촉하는 탄소 층을 형성시키는 단계; 및 상기 절연층을 탄소용융환원(carbothermal reduction) 시켜 나노 홀을 형성시키는 단계; 를 포함하며, 상기 탄소 층이 400 내지 1500℃에서 탄소소스 기체를 주입하거나 또는 0 내지 300 ℃에서 탄소기가 포함된 용액 상의 화학 반응을 통하여 상기 금속 입자 상에 형성되어 절연층에 나노 홀을 형성시키는 방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 금속 혹은 전이 금속 입자가 고분자, 블록공중합체, 계면활성제, 마이셀(micelle), Languir-Blodgett 기술, 표면 프로그램된 어셈블리 (surface-programmed assembly), 용액 증발법 또는 기판의 스텝 에지 (step edge), 전자기장 사용 등을 통해 정렬됨을 특징으로 하는 방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 절연층의 나노 홀이 패턴을 가지고 형성되는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 기판이 실리콘 웨이퍼, 사파이어, 유리, 석영, 금속, 알루미나, 및 플라스틱으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서, 상기 절연층이 규소를 포함하는 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 절연층이 산화규소, 이산화규소, 질산화규소, 및 질화규소로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서, 상기 금속 혹은 전이 금속 입자가 니켈(Ni), 철(Fe), 코발트(Co), 이트륨(Y), 몰리브데늄(Mo), 알루미늄(Al), 로듐(Rh), 루비듐(Ru), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 크롬(Cr), 망간(Mn), 주석(Sn), 백금(Pt) 혹은 이들의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서, 상기 금속 혹은 전이 금속 입자가 스핀 코팅(spin-coating), 용액의 주입 및 증발, 메탈 증착, 스퍼터링(sputtering) 또는 리소그래피 방법을 이용하여 증착됨을 특징으로 하는 방법 |
| 9 |
9 제 1 항에 있어서, 상기 금속 입자에 접촉하는 탄소 층 형성 단계 및 탄소용융환원 (carbothermal reduction) 단계가 동시에 일어나는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 10 |
10 제 9 항에 있어서, 상기 금속 입자에 접촉하는 탄소 층 형성 단계 및 상기 탄소 용융 환원 단계가 수소, 아르곤 및 알코올을 동시에 주입하면서 일어나는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 11 |
11 제 10 항에 있어서, 상기 알코올의 함량이 총 기체 부피의 0 |
| 12 |
12 제 9 항에 있어서, 상기 금속 입자에 접촉하는 탄소 층 형성 단계 및 상기 탄소 용융 환원 단계가 물 또는 산소, 수소, 아르곤 및 탄화 수소를 동시에 주입하면서 일어나는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 13 |
13 제 12 항에 있어서, 상기 물의 함량이 총 기체 부피의 0 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 제 1 항에 있어서, 상기 금속 입자 상의 탄소 층이 탄화소스 기체 및 탄소기가 포함된 용액 상을 동시에 주입함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 16 |
16 제 1 항에 있어서, 상기 금속 입자 상의 탄소 층이 용액 상에 고분자, 블록공중합체, 계면활성제, 혹은 마이셀(micelle)의 화학반응을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 17 |
17 제 1 항에 있어서, 상기 금속 혹은 전이 금속 입자가 0 |
| 18 |
18 제 1 항에 있어서, 상기 탄소용융환원반응이 산소 및 비활성기체를 주입하면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 19 |
19 제 18 항에 있어서, 상기 산소의 함량이 총 기체 부피의 0 |
| 20 |
20 제 1 항에 있어서, 상기 탄소용융환원반응이 700 내지 1700 ℃의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1030434-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20081112 출원 번호 : 1020080112232 공고 연월일 : 20110420 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110408 청구범위의 항수 : 19 유별 : H01L 21/20 발명의 명칭 : 탄소용융환원반응을 이용한 나노 홀 형성 방법 존속기간(예정)만료일 : 20140415 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 393,000 원 | 2011년 04월 15일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.11.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0782474-26 |
| 2 | [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서 | 2008.11.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-5056110-88 |
| 3 | [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서 | 2008.11.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-5056289-30 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2010.08.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0362635-46 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.10.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0677498-39 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.10.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0677496-48 |
| 7 | 최후의견제출통지서 | 2010.12.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0568183-86 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.02.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0091870-78 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.02.09 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2011-0091871-13 |
| 10 | 등록결정서 | 2011.04.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0191251-96 |
| 11 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2011.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0315797-20 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0025573-58 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5024386-11 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.11.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5243581-27 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.11.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5245997-53 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5247115-68 |
| 기술번호 | KST2014026468 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 경북기술이전센터 |
| 기술명 | 탄소용융환원반응을 이용한 나노 홀 형성 방법 |
| 기술개요 |
기판 상부에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 상부에 금속 혹은 전이 금속 입자를 증착하는 단계; 및 상기 금속 입자가 형성된 절연층의 탄소용융환원(carbothermal reduction) 반응으로 절연층에 나노 홀을 형성하는 단계;를 포함하는 절연층의 식각 방법이 제공된다. 탄소용융환원, 나노홀, 철 나노입자, 배열, 블록공중합체 |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 식각에 필요한 유독한 화학약품, 복잡한 전처리 과정 및 비싼 기계 장비를 사용하지 않고 간단한 화학적 방법을 통하여 절연층에 극미소 크기의 나노 홀을 직접적으로 형성시키는 효과가 있다. |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스,기술협력,기술지도,M&A,기타, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345148260 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-0062040 |
| 연구과제명 | 그래핀 나노구조체 내 전자 수송 특성 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200809~201502 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345155315 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0090897 |
| 연구과제명 | 테라헤르쯔/광학 다중생체영상시스템 응용에 최적화된 표적지향적 지능형 나노 프로브 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 고려대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200710~201207 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345155806 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2005-2001325 |
| 연구과제명 | 초고감도 및 다채널 신호전달용 탄소나노튜브 및 탄소나노구조체 기반 바이오전자소자 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200504~201403 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345157269 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2010-00285 |
| 연구과제명 | 자기조립된 탄소구조체와 이들의 소자 응용을 위한 메조크기효과(MSE) 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 201005~201304 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345072205 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R0A-2007-000-20125-0 |
| 연구과제명 | 블록공중합체의분자량,화학조성제어기술을이용한나노구조의상향적접근기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200707~201206 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345075565 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2005-01325 |
| 연구과제명 | 초고감도및다채널동시검지용탄소나노튜브기반바이오전자소자개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200504~201403 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345076360 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R11-2008-052-02001-0 |
| 연구과제명 | 그래핀나노구조체내전자수송특성연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200809~201502 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1350007457 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R11-2000-070-07002-0 |
| 연구과제명 | Biochip및의약운반체 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 포항공과대학교 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200603~200902 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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|---|---|---|
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