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시료의 가열과 온도 측정을 동시에 수행하는 박막 열선;
상기 박막 열선에 연결되어 교류 전류의 가열 각주파수를 공급하는 신호발생기;
상기 박막 열선의 온도 신호를 측정하는 록인 증폭기; 및
상기 록인 증폭기에 연결되어 상호 연동되는 제어부를 포함하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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제1 항에 있어서,
상기 박막 열선과 상기 록인 증폭기 사이에 연결되어 상기 온도 신호를 증폭하는 차동 증폭기를 더 포함하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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제2 항에 있어서,
상기 신호발생기와 함께 상기 박막 열선에 직렬로 연결되는 가변저항을 더 포함하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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4
제3 항에 있어서,
상기 박막 열선은,
가열부를 형성하는 열선과
상기 열선이 온도 측정부를 형성하도록 상기 열선에 연결되어 상기 록인 증폭기에 연결되는 전극을 포함하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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제4 항에 있어서,
상기 전극은,
교류 전류를 공급하는 2개의 교류 공급 전극과
상기 열선의 전압 신호를 측정하는 2개의 전압 측정 전극을 포함하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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6
제4 항에 있어서,
상기 박막 열선은,
한 지점에서 액체 시료의 존재 유무를 측정하는 점 측정형 박막 열선을 포함하며,
상기 점 측정형 박막 열선은,
상기 한 지점에서 상기 액체 시료의 레벨 변화에 따른 상기 열선의 전압 신호를 측정하여, 상기 열선의 온도 변화를 감지하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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7
제4 항에 있어서,
상기 박막 열선은,
한 범위에서 액체 시료의 레벨을 연속적으로 측정하는 연속 측정형 박막 열선을 포함하며,
상기 연속 측정형 박막 열선은,
상기 액체 시료의 깊이 방향을 따라 신장되는 상태로 배치되어, 상기 열선의 길이 내에서 상기 액체 시료의 레벨 변화에 따른 상기 열선의 전압 신호를 측정하여, 상기 열선의 온도 변화를 감지하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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8
제3 항에 있어서,
상기 록인 증폭기는,
ω각주파수의 상기 교류 전류에 의해 가열된 상기 박막 열선의 3ω각주파수의 전압 신호를 측정하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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9
제3 항에 있어서,
상기 가변저항과 상기 차동증폭기는,
저항값과 이득값을 각각 조정하여 상기 박막 열선의 ω각주파수의 전압 신호를 제거하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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10
제9 항에 있어서,
상기 차동증폭기는,
외부 노이즈 신호를 제거하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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11
제3 항에 있어서,
상기 신호발생기가 상기 박막 열선에 공급하는 교류 전류는 ω각주파수를 가지는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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12
제3 항에 있어서,
상기 신호발생기는 상기 박막 열선의 온도 상승이 방지되도록 상기 교류 전류의 진폭을 제어하는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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13
제3 항에 있어서,
상기 박막 열선은 액체와 기체의 계면이 존재하는 부분에 설치되는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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14
제13 항에 있어서,
상기 박막 열선은,
상기 액체와 상기 기체의 계면 주위에 하나 또는 복수로 설치되며,
고정 또는 이동 구조로 설치되는 액체 혼합물 시료의 레벨 및 혼합비 측정 센서
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