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산화 알루미늄 다공층을 갖는 습도 센서 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014026553
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 습도 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 습도 센서의 감도 및 정확도를 향상시킬 수 있도록 본 발명에 따른 습도 센서는 기판과 상기 기판 상에 형성되며 복수 개의 홀이 형성된 산화 알루미늄 다공층, 및 상기 산화 알루미늄 다공층 상에 형성된 전극을 포함한다. 또한, 본 발명에 따른 습도 센서의 제조 방법은 알루미늄 기판을 준비하는 단계와, 알루미늄 기판을 산화시켜서 산화 알루미늄 다공층을 형성하는 단계, 및 상기 산화 알루미늄 다공층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 산화 알루미늄 다공층, 홀, 센서, 감습층
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/26 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080113487 (2008.11.14)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1019576-0000 (2011.02.25)
공개번호/일자 10-2010-0054526 (2010.05.25) 문서열기
공고번호/일자 (20110308) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.14)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박현철 대한민국 경북 포항시 남구
2 김혜진 대한민국 인천 계양구
3 황운봉 대한민국 경북 포항시 남구
4 김영득 대한민국 경북 포항시 남구
5 이건홍 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0788391-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0047707-73
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0526867-23
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0045697-52
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0045694-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0104153-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 상에 형성되며 복수 개의 홀이 형성된 산화 알루미늄 다공층; 및 상기 산화 알루미늄 다공층 상에 형성된 전극; 을 포함하고 상기 전극에는 복수 개의 홀이 형성되며 상기 전극에 형성된 홀과 상기 산화 알루미늄 다공층에 형성된 홀은 서로 연통된 습도 센서
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 전극의 두께는 30nm 내지 200nm인 습도 센서
5 5
제 1항에 있어서, 상기 전극은 제1 전극, 및 상기 제1 전극에 인접하게 배치된 제2 전극을 포함하는 습도 센서
6 6
제 5항에 있어서, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 전극 돌기들을 포함하고, 상기 제1 전극의 전극 돌기들은 상기 제2 전극의 전극 돌기들 사이에 끼워진 습도 센서
7 7
제 1항에 있어서, 상기 전극은 하나의 판 형태로 이루어지고, 상기 전극과 상기 기판이 전기적으로 연결되고, 이들에 전원이 연결 설치된 습도 센서
8 8
제 7항에 있어서, 상기 전극에는 상방향으로 개방된 개구부가 형성된 습도 센서
9 9
제 1항에 있어서, 상기 전극을 보호하는 폴리머층을 더 포함하고, 상기 전극은 상기 폴리머층과 상기 산화 알루미늄 다공층 사이에 위치하는 습도 센서
10 10
제 1항에 있어서, 상기 산화 알루미늄 다공층과 연결된 히터가 설치된 습도 센서
11 11
제 1항에 있어서, 상기 전극에는 전원 및 정전용량(capacitance) 측정기가 연결 설치된 습도 센서
12 12
알루미늄 기판을 준비하는 단계; 알루미늄 기판을 산화시켜서 산화 알루미늄 다공층을 형성하는 단계; 및 상기 산화 알루미늄 다공층 상에 상기 산화 알루미늄 다공층에 형성된 홀과 연통된 홀을 갖는 전극을 형성하는 단계; 를 포함하는 습도 센서의 제조 방법
13 13
제 12항에 있어서, 상기 전극을 패터닝하는 단계를 더 포함하는 습도 센서의 제조 방법
14 14
제 13항에 있어서, 상기 전극을 패터닝하는 단계는 상기 전극 상에 레지스트층을 형성하는 단계와 상기 레지스트층을 노광하는 단계, 및 상기 전극을 에칭하는 단계를 포함하는 습도 센서의 제조 방법
15 15
제 12항에 있어서, 상기 전극을 형성하는 단계는 상기 전극을 이루는 금속을 1Å/s 내지 0
16 16
제 12항에 있어서, 상기 전극을 형성하는 단계는 상기 산화 알루미늄 다공층 위에 섀도 마스크를 설치한 상태에서 상기 전극을 이루는 금속을 증착하는 단계를 포함하는 습도 센서의 제조 방법
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1 US08325460 US 미국 FAMILY
2 US20100134948 US 미국 FAMILY

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1 US2010134948 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8325460 US 미국 DOCDBFAMILY
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