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미세 프로브 제작 방법 및 그 미세 프로브

  • 기술번호 : KST2014026558
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 미세 프로브 제작 방법은 제작 효율을 향상시키며, 다양한 기능을 가지는 미세 프로브를 제작하는 것이다. 본 발명의 미세 프로브 제작 방법은, 적어도 2개의 전극을 정렬하여 미세 프로브의 몸체가 될 전극을 준비하는 전극준비단계, 나노와이어 및 나노입자 중 하나와 단량체를 혼합한 미세 프로브 형성용 용액을 준비하는 용액준비단계, 준비된 상기 전극들 사이에 상기 미세 프로브 형성용 용액을 공급하는 용액공급단계, 및 상기 전극들 사이에 전압을 인가하여 서로 대응하는 팁 사이에 전기장을 집중시키는 전기장집중단계를 포함한다. 미세 프로브, 나노와이어, 나노입자, 전극, 전기장
Int. CL G01Q 70/12 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01)
CPC G01Q 60/40(2013.01) G01Q 60/40(2013.01) G01Q 60/40(2013.01) G01Q 60/40(2013.01)
출원번호/일자 1020080043093 (2008.05.08)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0998085-0000 (2010.11.26)
공개번호/일자 10-2009-0117177 (2009.11.12) 문서열기
공고번호/일자 (20101203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.08)
심사청구항수 29

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안태창 대한민국 경북 포항시 남구
2 최우석 대한민국 경북 포항시 남구
3 임근배 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0330001-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0018789-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0184483-72
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0354635-67
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0354634-11
7 등록결정서
Decision to grant
2010.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0531790-24
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세 프로브 형성용 용액에 적어도 2개의 전극을 준비하고, 상기 전극들에 전압을 인가하여 뾰족한 상기 전극들 사이에 전기장 집중을 유도하여 상기 전극의 끝에 미세 프로브를 형성하며, 상기 미세 프로브 형성용 용액은, 나노와이어 및 나노입자 중 하나와 전도성 폴리머의 단량체를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
2 2
적어도 2개의 전극을 정렬하여 미세 프로브의 몸체가 될 전극을 준비하는 전극준비단계; 나노와이어 및 나노입자 중 하나와 단량체를 혼합한 미세 프로브 형성용 용액을 준비하는 용액준비단계; 준비된 상기 전극들 사이에 상기 미세 프로브 형성용 용액을 공급하는 용액공급단계; 및 상기 전극들 사이에 전압을 인가하여 서로 대응하는 팁 사이에 전기장을 집중시키는 전기장집중단계를 포함하며, 상기 용액공급단계는, 상기 미세 프로브 형성용 용액에 전도성 폴리머의 단량체를 첨가하는 단계를 더 포함하는 미세 프로브 제조 방법
3 3
제2 항에 있어서, 상기 전극준비단계는, 상기 전극을 2개의 제1 전극과 제2 전극으로 준비하며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은, 뾰족한 팁을 서로 마주 보도록 정렬되어 상기 제1 전극의 팁과 상기 제2 전극의 팁 사이에 최단거리를 형성하는 미세 프로브 제조 방법
4 4
제2 항에 있어서, 상기 전극준비단계는, 상기 전극을 3개 또는 4개로 준비하며, 상기 전극들의 각 팁들은 삼각형 또는 사각형으로 정열되는 미세 프로브 제조 방법
5 5
제4 항에 있어서, 상기 전극준비단계는, 상기 나노와이어 및 상기 나노입자 중 하나가 집적된 상태에서 상기 전극들 사이의 간격을 조절하는 미세 프로브 제조 방법
6 6
제2 항에 있어서, 상기 전극준비단계는, 뾰족한 팁을 가지는 전극을 제작하는 단계와 상기 팁을 미세 위치 조정을 통해 정렬하는 단계를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
7 7
제6 항에 있어서, 상기 전극준비단계는 텅스텐 와이어를 이용하여 전기화학적인 식각으로 뾰족 형상의 팁을 형성하는 미세 프로브 제조 방법
8 8
제2 항에 있어서, 상기 전극준비단계는 평면에 형성된 전극에 뾰족한 전극을 정렬하여 평면에 수직인 미세 기둥을 제작하는 미세 프로브 제조 방법
9 9
제2 항에 있어서, 상기 용액준비단계는, 상기 미세 프로브 형성용 용액에 전기화학적으로 합성되는 기능성 폴리머의 단량체(monomer)를 포함시키는 미세 프로브 제조 방법
10 10
제9 항에 있어서, 상기 기능성 폴리머의 단량체는, 피롤, 아닐린, 아세틸렌, 티오펜, 이소티오펜, 페닐렌, 톨루딘, 아진, 아센, 아줄렌, 피리딘, 및 인돌 중 하나 또는 둘 이상을 포함하는 미세 프로브 제조 방법
11 11
제2 항에 있어서, 상기 용액준비단계는, 용매에 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나를 혼합하는 제1 혼합단계와, 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나가 혼합된 용액에 기능성 폴리머의 단량체를 혼합하는 제2 혼합단계를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
12 12
제11 항에 있어서, 상기 제1 혼합단계는 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나를 0
13 13
제12 항에 있어서, 상기 제1 혼합단계는 상기 용액에 계면활성제 및 초음파 중 하나의 처리를 하는 미세 프로브 제조 방법
14 14
제12 항에 있어서, 상기 제1 혼합단계는, 상기 용액에서 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나의 농도를 조절하는 미세 프로브 제조 방법
15 15
제12 항에 있어서, 상기 제2 혼합단계는, 상기 기능성 폴리머 단량체를 0
16 16
제12 항에 있어서, 상기 제2 혼합단계는 상기 용액에 상기 기능성 폴리머 단량체를 유기용매에 희석시키거나 초음파 처리하는 미세 프로브 제조 방법
17 17
제12 항에 있어서, 상기 제2 혼합단계는 도핑 용액을 더 혼합하는 미세 프로브 제조 방법
18 18
제9 항에 있어서, 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나는, 탄소나노튜브(CNT), 플러렌(C60), 금나노입자(gold nano particle) 및 은나노입자(silver nano particle) 중 하나를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
19 19
제9 항에 있어서, 상기 미세 프로브 형성용 용액은 촉매를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
20 20
제2 항에 있어서, 상기 용액공급단계는, 상기 전극들 사이에 상기 미세 프로브 형성용 용액을 적하시키는 단계와 상기 전극들을 상기 미세 프로브 형성용 용액에 담그는 단계 중 하나를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
21 21
삭제
22 22
제2 항에 있어서, 상기 용액공급단계는 상기 미세 프로브의 제작 단계에 따라 적어도 2가지의 상기 미세 프로브 형성용 용액을 공급하는 미세 프로브 제조 방법
23 23
제2 항에 있어서, 상기 전기장집중단계는 상기 전극들에 교류 및 직류 중 하나의 전압을 인가하는 미세 프로브 제조 방법
24 24
제23 항에 있어서, 상기 전기장집중단계는, 상기 전극들에 서로 다른 전압을 인가하여 전기장이 집중되는 부분을 조절하는 미세 프로브 제조 방법
25 25
제23 항에 있어서, 상기 교류 전압은 1kHz 내지 100MHz의 주파수 범위를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
26 26
제23 항에 있어서, 상기 직류 전압은 0
27 27
제23 항에 있어서, 상기 전기장집중단계는 직류 전압의 크기를 조절하는 미세 프로브 제조 방법
28 28
제23 항에 있어서, 상기 전기장집중단계는 상기 전극들 사이 간격을 증대시키는 미세 프로브 제조 방법
29 29
제3 항에 있어서, 상기 전기장집중단계에 이어, 상기 미세 프로브 형성용 용액을 제거하여, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 집중된 재료와 뾰족한 팁에 메니스커스(meniscus)가 형성되면서 집중된 재료를 응집시켜 미세 프로브를 형성하는 프로브완성단계를 더 포함하는 미세 프로브 제조 방법
30 30
제1 항 내지 제20 항 및 제22 항 내지 제29 항 중 어느 한 항의 미세 프로브 제조 방법으로 제작되어, 원자현미경(AFM)의 팁, 주사현미경(STM)의 팁, 생체 탐침(Bio Probe), 전자총(electron emission source), 전자방출소자 및 세포/생체물질 내부 물성 측정 센서 중 적어도 어느 하나에 적용되는 미세 프로브
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.