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미세 프로브 형성용 용액에 적어도 2개의 전극을 준비하고, 상기 전극들에 전압을 인가하여 뾰족한 상기 전극들 사이에 전기장 집중을 유도하여 상기 전극의 끝에 미세 프로브를 형성하며,
상기 미세 프로브 형성용 용액은,
나노와이어 및 나노입자 중 하나와 전도성 폴리머의 단량체를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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적어도 2개의 전극을 정렬하여 미세 프로브의 몸체가 될 전극을 준비하는 전극준비단계;
나노와이어 및 나노입자 중 하나와 단량체를 혼합한 미세 프로브 형성용 용액을 준비하는 용액준비단계;
준비된 상기 전극들 사이에 상기 미세 프로브 형성용 용액을 공급하는 용액공급단계; 및
상기 전극들 사이에 전압을 인가하여 서로 대응하는 팁 사이에 전기장을 집중시키는 전기장집중단계를 포함하며,
상기 용액공급단계는,
상기 미세 프로브 형성용 용액에 전도성 폴리머의 단량체를 첨가하는 단계를 더 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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3
제2 항에 있어서,
상기 전극준비단계는,
상기 전극을 2개의 제1 전극과 제2 전극으로 준비하며,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은,
뾰족한 팁을 서로 마주 보도록 정렬되어 상기 제1 전극의 팁과 상기 제2 전극의 팁 사이에 최단거리를 형성하는 미세 프로브 제조 방법
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4
제2 항에 있어서,
상기 전극준비단계는,
상기 전극을 3개 또는 4개로 준비하며,
상기 전극들의 각 팁들은 삼각형 또는 사각형으로 정열되는 미세 프로브 제조 방법
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5
제4 항에 있어서,
상기 전극준비단계는,
상기 나노와이어 및 상기 나노입자 중 하나가 집적된 상태에서 상기 전극들 사이의 간격을 조절하는 미세 프로브 제조 방법
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6
제2 항에 있어서,
상기 전극준비단계는,
뾰족한 팁을 가지는 전극을 제작하는 단계와
상기 팁을 미세 위치 조정을 통해 정렬하는 단계를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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7
제6 항에 있어서,
상기 전극준비단계는
텅스텐 와이어를 이용하여 전기화학적인 식각으로 뾰족 형상의 팁을 형성하는 미세 프로브 제조 방법
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8
제2 항에 있어서,
상기 전극준비단계는 평면에 형성된 전극에 뾰족한 전극을 정렬하여 평면에 수직인 미세 기둥을 제작하는 미세 프로브 제조 방법
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9
제2 항에 있어서,
상기 용액준비단계는,
상기 미세 프로브 형성용 용액에 전기화학적으로 합성되는 기능성 폴리머의 단량체(monomer)를 포함시키는 미세 프로브 제조 방법
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10
제9 항에 있어서,
상기 기능성 폴리머의 단량체는,
피롤, 아닐린, 아세틸렌, 티오펜, 이소티오펜, 페닐렌, 톨루딘, 아진, 아센, 아줄렌, 피리딘, 및 인돌 중 하나 또는 둘 이상을 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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11
제2 항에 있어서,
상기 용액준비단계는,
용매에 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나를 혼합하는 제1 혼합단계와,
상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나가 혼합된 용액에 기능성 폴리머의 단량체를 혼합하는 제2 혼합단계를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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12
제11 항에 있어서,
상기 제1 혼합단계는
상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나를 0
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13
제12 항에 있어서,
상기 제1 혼합단계는 상기 용액에 계면활성제 및 초음파 중 하나의 처리를 하는 미세 프로브 제조 방법
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14
제12 항에 있어서,
상기 제1 혼합단계는,
상기 용액에서 상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나의 농도를 조절하는 미세 프로브 제조 방법
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15
제12 항에 있어서,
상기 제2 혼합단계는,
상기 기능성 폴리머 단량체를 0
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16
제12 항에 있어서,
상기 제2 혼합단계는 상기 용액에 상기 기능성 폴리머 단량체를 유기용매에 희석시키거나 초음파 처리하는 미세 프로브 제조 방법
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17
제12 항에 있어서,
상기 제2 혼합단계는 도핑 용액을 더 혼합하는 미세 프로브 제조 방법
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18
제9 항에 있어서,
상기 나노와이어 및 나노입자 중 하나는,
탄소나노튜브(CNT), 플러렌(C60), 금나노입자(gold nano particle) 및 은나노입자(silver nano particle) 중 하나를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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19
제9 항에 있어서,
상기 미세 프로브 형성용 용액은 촉매를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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20
제2 항에 있어서,
상기 용액공급단계는,
상기 전극들 사이에 상기 미세 프로브 형성용 용액을 적하시키는 단계와
상기 전극들을 상기 미세 프로브 형성용 용액에 담그는 단계 중 하나를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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21
삭제
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22
제2 항에 있어서,
상기 용액공급단계는 상기 미세 프로브의 제작 단계에 따라 적어도 2가지의 상기 미세 프로브 형성용 용액을 공급하는 미세 프로브 제조 방법
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23
제2 항에 있어서,
상기 전기장집중단계는 상기 전극들에 교류 및 직류 중 하나의 전압을 인가하는 미세 프로브 제조 방법
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24
제23 항에 있어서,
상기 전기장집중단계는,
상기 전극들에 서로 다른 전압을 인가하여 전기장이 집중되는 부분을 조절하는 미세 프로브 제조 방법
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25
제23 항에 있어서,
상기 교류 전압은 1kHz 내지 100MHz의 주파수 범위를 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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제23 항에 있어서,
상기 직류 전압은 0
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27
제23 항에 있어서,
상기 전기장집중단계는 직류 전압의 크기를 조절하는 미세 프로브 제조 방법
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28
제23 항에 있어서,
상기 전기장집중단계는 상기 전극들 사이 간격을 증대시키는 미세 프로브 제조 방법
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제3 항에 있어서,
상기 전기장집중단계에 이어, 상기 미세 프로브 형성용 용액을 제거하여,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 집중된 재료와 뾰족한 팁에 메니스커스(meniscus)가 형성되면서 집중된 재료를 응집시켜 미세 프로브를 형성하는 프로브완성단계를 더 포함하는 미세 프로브 제조 방법
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30
제1 항 내지 제20 항 및 제22 항 내지 제29 항 중 어느 한 항의 미세 프로브 제조 방법으로 제작되어,
원자현미경(AFM)의 팁, 주사현미경(STM)의 팁, 생체 탐침(Bio Probe), 전자총(electron emission source), 전자방출소자 및 세포/생체물질 내부 물성 측정 센서 중 적어도 어느 하나에 적용되는 미세 프로브
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