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금속 박막의 증착을 이용한 유리 나노 가공 방법

  • 기술번호 : KST2014026563
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 유리 나노 가공 방법은, 유리 기판 위에 금속 박막을 패터닝(patterning)하여 증착시키는 단계; 상기 패터닝된 금속 박막이 증착된 유리 기판에 열을 가하는 단계; 상기 금속 박막과 상기 유리 기판 사이에 전기장을 형성하는 단계; 상기 금속 박막이 형성된 유리 기판을 왕수(aqua regia) 또는 피라냐 세정액(piranha cleaning solution)에 기 설정된 시간 동안 담가두어 금속 박막과 함께 유리 기판을 식각시키는 단계를 포함한다. 유리, 나노 가공, 철 박막, 분자 치환, 왕수
Int. CL C03C 17/06 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) C03C 17/00 (2011.01) C03C 17/09 (2011.01)
CPC C03C 17/06(2013.01) C03C 17/06(2013.01) C03C 17/06(2013.01) C03C 17/06(2013.01) C03C 17/06(2013.01) C03C 17/06(2013.01)
출원번호/일자 1020080043349 (2008.05.09)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0973828-0000 (2010.07.28)
공개번호/일자 10-2009-0117343 (2009.11.12) 문서열기
공고번호/일자 (20100803) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.09)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유효봉 대한민국 서울 노원구
2 임근배 대한민국 경북 포항시 남구
3 김판겸 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0332083-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.07 수리 (Accepted) 9-1-2008-0069172-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.03.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0089540-25
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0282849-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0282851-01
7 등록결정서
Decision to grant
2010.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0315915-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
유리 기판 위에 금속 박막을 패터닝(patterning)하여 증착시키는 단계; 상기 패터닝된 금속 박막이 증착된 유리 기판에 열을 가하는 단계; 상기 금속 박막과 상기 유리 기판 사이에 전기장을 형성하는 단계; 상기 금속 박막이 형성된 유리 기판을 왕수(aqua regia) 또는 피라냐 세정액(piranha cleaning solution)에 기 설정된 시간 동안 담가두어 금속 박막과 함께 유리 기판을 식각시키는 단계 를 포함하는 유리 나노 가공 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 금속 박막은 스퍼터링법 또는 필라멘트 증착, 전자빔 증착, RF 전력 증착 및 플래쉬 증착 중 어느 하나의 열 증착법에 의해 형성되는 유리 나노 가공 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 금속 박막은 철 박막인 유리 나노 가공 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 금속 박막을 패터닝하여 증착시키는 단계는, 상기 유리 기판 위에 포토레지스트층을 형성하고 기 설정된 형상으로 패터닝하는 단계; 상기 포토레지스트층이 패터닝된 유리 기판 상에 금속 박막을 증착시키는 단계; 및 상기 금속 박막이 증착된 유리 기판에 리프트 오프 공정을 실시하여 금속 박막을 패터닝하는 단계를 포함하는 유리 나노 가공 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 유리 기판은 붕규산 유리 기판을 포함하는 유리 나노 가공 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 왕수는 HCl : HNO3 = 3 내지 7 : 1 의 부피비로 이루어지는 유리 나노 가공 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 피라냐 세정액은 H2SO4 : H2O2 = 2 내지 4 : 1 의 부피비로 이루어지는 유리 나노 가공 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.