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액적 토출 장치

  • 기술번호 : KST2014026577
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액적 토출 장치에 관한 것으로서, 액체가 공급되며 일측 단부가 개방되어 액적을 토출하는 노즐과, 상기 노즐의 개방된 단부를 향하여 기체를 분사하는 분사구가 형성된 하우징과, 상기 분사구로 기체를 공급하는 기체공급관을 포함할 수 있다. 액적, 토출, 분사구, 펌프, 하우징
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC B05C 5/02(2013.01) B05C 5/02(2013.01) B05C 5/02(2013.01) B05C 5/02(2013.01)
출원번호/일자 1020080034274 (2008.04.14)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0968584-0000 (2010.06.30)
공개번호/일자 10-2009-0108918 (2009.10.19) 문서열기
공고번호/일자 (20100708) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.14)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김인태 대한민국 경북 포항시 남구
2 임근배 대한민국 경북 포항시 남구
3 김성완 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)인벤티지랩 경기도 성남시 중원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0264675-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0056321-64
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0074216-07
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0259938-34
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0259935-08
7 등록결정서
Decision to grant
2010.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0272522-52
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
액체가 공급되며 일측 단부가 개방되어 액적을 토출하는 노즐; 상기 노즐의 개방된 단부를 향하여 기체를 분사하는 분사구가 형성된 하우징; 및 상기 분사구로 기체를 공급하는 기체공급관; 을 포함하고 상기 노즐은 상기 분사구에 끼워져 상기 하우징의 외측으로 돌출되고, 상기 분사구와 상기 노즐 사이의 공간으로 기체가 분사되는 액적 토출 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 분사구는 노즐의 외면과 인접하게 배치된 액적 토출 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 분사구는 상기 노즐의 둘레방향을 따라 이어져 형성된 액적 토출 장치
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 기체공급관은 상기 하우징과 연통된 액적 토출 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 노즐은 상부노즐과 상기 상부노즐보다 더 작은 내경을 갖는 하부노즐을 포함하고, 상기 하우징에는 상기 상부노즐이 끼워지는 상부홀과 상기 하부노즐이 끼워지는 분사구가 형성되며, 상기 하부노즐과 상기 분사구 사이의 공간으로 기체가 분사되는 액적 토출 장치
7 7
제 2항에 있어서, 상기 하우징에는 복수 개의 노즐이 끼워져 설치되고, 상기 노즐들의 외면과 인접한 하우징의 면에 각각 분사구가 형성된 액적 토출 장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 하우징에는 상기 하우징 내로 공급된 기체가 유통하는 통로가 형성된 액적 토출 장치
9 9
제 1항에 있어서, 하우징의 일측 면은 개방되고 개방된 부분에는 빛이 투과할 수 있는 광투과성 물질로 이루어진 투명판이 설치된 액적 토출 장치
10 10
제 1항에 있어서, 상기 노즐과 연결되어 상기 노즐로 액체를 공급하는 액체 공급관; 상기 액체 공급관과 연통되며 내부에 액체가 저장된 액체 공급부; 상기 액체 공급부와 연결되어 상기 액체 공급부의 내부 압력을 조절하여 상기 액체 공급관으로 액체를 이동시키는 펌프; 를 더 포함하는 액적 토출 장치
11 11
제 10항에 있어서, 상기 액체 공급부는 외형을 이루는 챔버와 상기 챔버 내부에 설치되며 액체를 저장하는 용기를 포함하고, 상기 챔버 내부의 압력과 상기 용기 내부의 액체 압력을 검출하여 압력 차에 대한 정보를 상기 펌프의 작동을 제어하는 펌프 제어부로 전달하는 압력 검출기를 더 포함하는 액적 토출 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.