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베이스블럭과,
상기 베이스블럭에 결합되고, 측정하고자 하는 전자기파가 통과하도록 직선형 슬릿이 관통하여 형성된 슬릿블럭과,
상기 슬릿블럭의 슬릿의 단부에 결합되며, 상기 슬릿을 통과한 전자기파에 의해 광전자를 발생시키는 광전소자와,
상기 슬릿블럭과 상기 광전소자를 전기적으로 절연시키기 위한 절연체를 포함하여 이루어진 전자기파 수광 장치
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제1항에 있어서,
상기 슬릿은 상기 전자기파가 입사하는 측 단부의 폭에 비해 상기 광전소자가 결합된 측 단부의 폭이 더 큰 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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제1항에 있어서,
상기 베이스블럭과 슬릿블럭은 각각 동합금으로 이루어지고,
상기 절연체는 세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스블럭과 상기 슬릿블럭은 각각, 한 쌍의 넓은 면 사이에 복수의 측면이 배치된 기둥 형상을 이루고, 각각의 넓은 면이 마주보도록 배치된 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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제4항에 있어서,
상기 슬릿은 상기 슬릿블럭의 복수의 측면 중 한 면으로부터 그 반대편 측면으로 관통 형성된 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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6
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스블럭과 상기 슬릿블럭은 각각, 한 쌍의 넓은 면 사이에 복수의 측면이 배치된 기둥 형상을 이루고,
상기 슬릿블럭은 복수의 측면 중 한 면이 상기 베이스블럭의 한 쌍의 넓은 면 중 한 면에 결합된 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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7
제6항에 있어서,
상기 슬릿은 상기 슬릿블럭의 복수의 측면 중 한 면으로부터 그 반대편 측면으로 관통 형성된 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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8
제6항에 있어서,
상기 슬릿블럭은 복수의 측면 중 전자기파가 입사되는 한 면이 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치
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9
금속재료로 된 슬릿블럭에 방전가공을 통해 상기 블럭의 두께보다 얕은 깊이로 직선형의 제1홈을 형성하는 단계와,
상기 제1홈의 바닥으로부터 방전가공을 통해 상기 슬릿블럭을 관통시키되, 상기 제1홈보다 좁은 폭을 가진 직선형의 제2홈을 가공하는 단계와,
상기 슬릿블럭의 상기 제1홈 측에 광전소자를 결합하는 단계를 포함하여 이루어진 전자기파 수광 장치 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 제2홈을 가공하는 단계는,
와이어 방전가공에 의한 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치 제조방법
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금속재료로 된 슬릿블럭에 직선형의 제1홈을 관통하여 형성하는 단계와,
상기 제1홈보다 좁은 폭을 가진 직선형의 제2홈이 관통하여 형성된 금속판을 제조하는 단계와,
상기 제2홈이 상기 제1홈과 겹쳐지도록 상기 금속판을 상기 슬릿블럭에 결합하는 단계와,
상기 슬릿블럭의 상기 금속판이 결합된 반대측 면에 광전소자를 결합하는 단계를 포함하여 이루어진 전자기파 수광 장치 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 제2홈이 관통하여 형성된 금속판을 제조하는 단계는,
리가(LIGA)공정에 의한 것을 특징으로 하는 전자기파 수광 장치 제조방법
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13
전자기파를 직선형 슬릿이 형성된 슬릿블럭으로 슬리팅하는 단계와,
상기 슬리팅된 전자기파를 광전소자에 충돌시키는 단계와,
상기 슬릿블럭 및 광전소자를 상기 슬릿의 길이방향을 가로지르는 방향으로 주사하는 단계와,
상기 광전소자에서 발생된 광전자를 분석하는 단계를 포함하여 이루어진 전자기파 분포 측정 방법
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14
제13항에 있어서, 상기 광전자를 분석하는 단계는,
상기 슬릿블럭 및 광전소자의 이송거리를 측정하는 단계와,
상기 광전소자에서 발생된 광전자에 의한 전류를 측정하는 단계와,
상기 측정된 광전자에 의한 전류를 상기 이송거리에 대응시켜 상기 전자기파의 공간적인 분포를 도출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기파 분포 측정 방법
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15
전자기파를 직선형 슬릿이 형성된 슬릿블럭으로 슬리팅하는 단계와,
상기 슬리팅된 전자기파를 광전소자에 충돌시키는 단계와,
상기 슬릿블럭 및 광전소자를 상기 슬릿의 길이방향을 따라 주사하는 단계와,
상기 광전소자에서 발생된 광전자를 분석하는 단계를 포함하여 이루어진 전자기파 분포 측정 방법
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16
제15항에 있어서, 상기 광전자를 분석하는 단계는,
상기 슬릿블럭 및 광전소자의 이송거리를 측정하는 단계와,
상기 광전소자에서 발생된 광전자에 의한 전류를 측정하는 단계와,
상기 측정된 전류값을 미분하는 단계와,
상기 미분된 광전자에 의한 전류를 상기 이송거리에 대응시켜 상기 전자기파의 공간적인 분포를 도출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기파 분포 측정 방법
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베이스블럭과, 상기 베이스블럭에 결합되고 측정하고자 하는 전자기파가 통과하도록 직선형 슬릿이 관통하여 형성된 슬릿블럭과, 상기 슬릿블럭의 슬릿의 단부에 결합되며 상기 슬릿을 통과한 전자기파에 의해 광전자를 발생시키는 광전소자와, 상기 슬릿블럭과 상기 광전소자를 전기적으로 절연시키기 위한 절연체를 포함하여 이루어진 수광부와,
상기 수광부의 베이스블럭에 결합된 이송막대와,
상기 이송막대를 직선이동 시키기 위한 직선이송수단과,
상기 이송막대를 냉각시키기 위한 냉각수단과,
상기 수광부의 광전소자와 전기적으로 접속되어 상기 광전소자에서 발생된 광전자를 측정하는 광전자측정부와,
상기 이송막대의 이송거리를 측정하는 이송거리측정부와,
상기 광전자측정부 및 이송거리측정부로부터 각각 측정한 결과를 입력받아 상기 전자기파의 공간적인 분포를 연산하는 연산부를 포함하여 이루어진 전자기파 분포 측정 장치
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