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측정대상물체에 하전입자 빔(Charged Particle Beam)을 조사하는 빔 조사부;상기 조사되는 하전입자 빔의 에너지 변화를 측정하는 에너지 변화 측정부; 및상기 측정된 에너지 변화를 이용하여, 상기 측정대상물체에 대한 영상을 획득하는 영상 획득부를 포함하고,상기 에너지 변화 측정부는,상기 하전입자 빔이 제1 코일, 제2 코일, 상기 측정대상물체, 및 제3 코일을 순차적으로 지나는 동안에 발생하는 상기 에너지 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 에너지 변화 측정부는,상기 조사된 하전입자 빔이 상기 제1 코일 및 상기 제2 코일 사이의 구간에서 비행하는 제1 비행시간을 측정하고,상기 조사된 하전입자 빔이 상기 제2 코일에서 상기 측정대상물체를 지나 상기 제3 코일에 도달하는 제2 비행시간을 측정하며,상기 측정된 제1 비행시간 및 상기 제2 비행시간을 이용하여 상기 측정대상물체에 의한 상기 조사된 하전입자 빔의 에너지 감소량을 결정하고, 상기 결정된 에너지 감소량에 기초하여 상기 에너지 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 에너지 변화 측정부는,상기 조사되는 하전입자 빔이 통과하는 경우에 전자기 유도에 의한 유도전류를 발생하는 적어도 하나 이상의 코일;상기 적어도 하나 이상의 코일에서 발생한 상기 유도전류에 기초한 신호를 증폭하고, 잡음제거 후에 상기 신호의 발생을 알리는 논리신호를 생성하는 적어도 하나 이상의 증폭 및 신호발생판별기;상기 신호의 발생에 기초하여, 상기 조사되는 하전입자 빔이 상기 적어도 하나 이상의 코일로 구분되는 구간들에서 비행하는 시간을 측정하는 비행시간 측정기; 및측정된 적어도 하나 이상의 비행 시간을 이용하여, 상기 측정대상물체에 대한 상기 하전입자 빔의 입사 에너지 및 투과 에너지를 산출하고, 상기 산출된 입사 에너지 및 투과 에너지를 이용하여 상기 측정대상물체에 흡수된 에너지를 결정함으로써, 에너지 변화를 측정하는 에너지 결정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제5항에 있어서,상기 비행시간 측정기는,상기 적어도 하나 이상의 코일 중에서 제1 코일 및 제2 코일로써 구분되는 구간에서 발생하는 비행시간을 측정하고,상기 조사되는 하전입자 빔의 통과에 따라서, 상기 제1 코일에서 발생하는 유도전류를 상기 비행시간을 측정하는데 필요한 시작신호로, 상기 제2 코일에서 발생하는 유도전류를 상기 비행시간을 측정하는데 필요한 종료신호로 결정하며,상기 시작신호가 발생한 시점부터 상기 종료신호가 발생한 시점까지 경과되는 시간을 상기 비행시간으로 결정하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제5항에 있어서,상기 영상 획득부는,상기 측정대상물체에 흡수된 에너지를 이용하여, 상기 측정대상물체의 단층영상 및 3차원 영상 중에서 적어도 하나의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제5항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 증폭 및 신호발생판별기는,상기 발생한 신호를 선정된 이득으로 증폭하는 차동 증폭기상기 증폭된 신호의 저주파 잡음을 제거하는 고역통과필터; 및상기 잡음이 제거된 신호에 대응하는 논리신호를 생성하여 출력하는 비교기를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 측정대상물체의 여러 각도에서 에너지 변화를 측정하도록, 상기 측정대상물체를 상하좌우로 이동하는 대상물체 구동장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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제5항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 코일은 도넛형 코일(toroidal coil)인 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 장치
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측정대상물체에 하전입자 빔(Charged Particle Beam)을 조사하는 단계;상기 조사되는 하전입자 빔의 에너지 변화를 측정하는 단계; 및상기 측정된 에너지 변화를 이용하여, 상기 측정대상물체에 대한 영상을 획득하는 단계를 포함하고,상기 조사되는 하전입자 빔의 에너지 변화를 측정하는 단계는,상기 하전입자 빔이 제1 코일, 제2 코일, 상기 측정대상물체, 및 제3 코일을 순차적으로 지나는 동안에 발생하는 에너지 변화를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 방법
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제11항에 있어서,상기 에너지 변화를 측정하는 단계는,상기 조사된 하전입자 빔이 제1 코일 및 제2 코일 사이의 구간에서 비행하는 제1 비행시간을 측정하는 단계;상기 조사된 하전입자 빔이 상기 제2 코일에서 상기 측정대상물체를 지나 제3 코일에 도달하는 제2 비행시간을 측정하는 단계;상기 제1 비행시간 및 상기 제2 비행시간을 이용하여 상기 측정대상물체에 의한 상기 조사된 하전입자 빔의 에너지 감소량을 결정하는 단계; 및상기 결정된 에너지 감소량에 기초하여, 상기 에너지 변화를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 촬영 방법
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제11항 및 제13항 중 어느 한 항의 방법을 수행하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체
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