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피검체가 부착된 캔틸레버(cantilever);상기 캔틸레버의 하부에 캔틸레버와 소정의 간격을 가지고 이격되어 배치되며 그 상면에 균일한 형상의 미세 패턴이 형성된 기판;상기 캔틸레버의 일단 또는 일측에 배치된 편향 센서; 및상기 피검체의 특성 변화에 따라 캔틸레버의 휨을 검출하는 검출 유닛;을 포함하는 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 캔틸레버의 끝단에 유효 접촉부가 구비된 미세 상호 작용력 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 유효 접촉부는, 캔틸레버의 하측에 볼록한 면을 갖도록 형성된 미세 상호 작용력 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 유효 접촉부는, 캔틸레버의 끝단이 뭉툭하게 돌출되어 그 접촉면이 평활하게 형성된 미세 상호 작용력 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 유효 접촉부의 면적은 상기 기판에 형성된 미세 패턴의 면적에 비해 상대적으로 큰 미세 상호 작용력 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 유효 접촉부는, 그 접촉면의 면적이 1 내지 99㎛2 인 미세 상호 작용력 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 유효 접촉부에 피검체가 부착된 미세 상호 작용력 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 유효 접촉부에 1㎕이하의 피검체가 부착된 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 기판에는 원형 기둥 형상의 균일한 패턴이 구비된 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 기판에 형성된 패턴의 면적은 1 내지 9㎛2 인 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 편향 센서는, 광학 편향 센서인 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 편향 센서는, 압저항성 편향 센서인 미세 상호 작용력 측정장치
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제 11항에 있어서,상기 광학 편향 센서는, 레이저인 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 검출 유닛은, 광 다이오드인 미세 상호 작용력 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 기판은 파이렉스(pyrex)로 이루어진 미세 상호 작용력 측정장치
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세 상호 작용력 측정장치
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미세 캔틸레버를 이용하여 생체 물질의 상호 작용력을 측정하는 방법에 있어서,상기 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 기재된 미세 상호 작용력 측정장치를 이용하는 미세 상호 작용력 측정방법
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