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습식 식각 장치

  • 기술번호 : KST2014026951
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 습식 식각 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 식각 용액에 반응하지 않는 소수성의 식각 용기, 및 상기 식각 용기를 식각 대상에 점착시키는 점착부재를 포함하는 습식 식각 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 원하는 부분만을 쉽고 간단하게 식각할 수 있는 습식 식각 장치를 제공한다. 테프론, PDMS, 습식 식각, 웨이퍼
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67086(2013.01) H01L 21/67086(2013.01) H01L 21/67086(2013.01)
출원번호/일자 1020080092961 (2008.09.22)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0987111-0000 (2010.10.05)
공개번호/일자 10-2010-0033886 (2010.03.31) 문서열기
공고번호/일자 (20101011) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이동원 대한민국 광주광역시 북구
2 박창신 대한민국 광주광역시 북구
3 최보영 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0665676-86
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0714905-86
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0056964-01
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0262348-24
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0542313-81
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0590198-85
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0590182-55
9 등록결정서
Decision to grant
2010.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0424153-84
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
습식 식각 장치에 있어서, 식각 용액을 담으며 소수성 구조물로 이루어지고, 상부 및 하부가 개방된 식각 용기; 및 상기 식각 용기의 하부에 결합되고, 중심 부위가 관통되어 있는 점착부재; 를 포함하는데, 상기 점착 부재는 실리콘 웨이퍼에 희생층을 증착하고, 상기 실리콘 웨이퍼 위에 테프론 몰드를 위치시킨 후 PDMS를 상기 테프론 몰드에 부어 경화시킨 후, 상기 희생층을 제거하여 제조되는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 소수성 구조물은 테프론으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 식각 용기는 하부 방향으로 내부의 폭이 좁아지도록 단차가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 식각 용액의 온도를 조절하는 핫플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 식각 용액의 온도를 측정하는 열전도대 및 열전도대 측정기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 전남대학교 국가지정연구실사업 질량분석기가 집적화된 다기능 원자현미경 시스템 개발