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전도성을 갖는 다이어프램(2)과;상기 다이어프램(2)의 양단을 지지하며, 상기 다이어프램(2) 상부로 개구된 공간인 상부챔버(5)를 형성하는 하단웨이퍼(4)와;상기 상부챔버(5)를 밀폐하도록 상기 하단웨이퍼(4)의 상면에 결합되는 상단웨이퍼(1)와;상기 상단웨이퍼(1)의 하단면 중앙부에 형성된 환형의 기준박막(11)을 기준하여 상호 이격되도록 형성되는 다수의 환형 금속박막(10)과;상기 기준박막(11)으로부터 환형의 직경방향으로 상기 금속박막(10)과 연속적으로 직렬연결되는 다수개의 저항체(13)와;상기 금속박막(10)과 저항체(13)를 전기적으로 연결하는 리드선(8)으로 구성되는 전원부(9); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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전도성을 갖는 다이어프램(2)과;상기 다이어프램(2)의 양단을 지지하며, 상기 다이어프램(2)의 상부로 개구된 공간인 상부챔버(5)를 형성하는 하단웨이퍼(4)와;상기 상부챔버(5)를 밀폐하도록 상기 하단웨이퍼(4)의 상면에 결합되는 상단웨이퍼(1)와;상기 상단웨이퍼(1)의 하단면 중앙부에 형성된 바형의 제 1금속박막(22)으로부터 양측으로 비대칭을 이루며, 상호간 일정간격 이격되어 형성되는 다수개의 제 2금속박막(21)과; 상기 제 2금속박막(21) 사이에 각각 위치되되, 상기 제 2금속박막(21)과 연속적으로 직렬연결되는 다수개의 저항체(13)와;상기 제 2금속박막(21)과 저항체(13)를 전기적으로 연결하는 리드선(8)으로 구성되는 전원부(9); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다이어프램(2)은 상면에 전도성 박막(2a)이 증착되어 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상단웨이퍼(1)는 파이렉스 글래스 소재인 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 저항체(13)는 ITO 소재인 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속박막(10) 및 제 2금속박막(21)은 저항체와의 사이 간격을 조절함으로써 출력특성의 비선형성을 보정할 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,상기 저항체(13)는 금속박막(10)이 상호 이격되며 형성된 박막홀(12)에 위치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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제 2항에 있어서,상기 제 2금속박막(21)은 상호간 이격거리는 동일하되, 상기 제 1금속박막(22)과 가장 근접한 양측 제 2금속박막(21)의 위치를 상이하게 조절하여 센서감도를 상승시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 압력센서
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