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3차원 X선 현미경 구조 및 이에 사용되는 소형 X선 거울의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014027194
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 개시된 본 발명에 따른 X선 현미경 구조는 외부로부터 전력을 공급받아 X선을 발생시키는 소오스, 상기 소오스에 인접하여 구비되고 상기 소오스로부터 발생되는 X선을 집광하여 고강도 평행 X선으로 유도하는 소형 X선 거울, 상기 소형 X선 거울과 이격 배치되고 고강도 평행 X선을 고강도 단일파장 평행 X선으로 추출하는 분광기, 상기 분광기와 이격 배치되고 상기 분광기와의 사이에 구비된 측정대상물을 투과한 고강도 단일파장 평행 X선을 필터링하여 탄성산란을 제거하는 필터부, 상기 필터부에 의하여 필터링된 고강도 단일파장 평행 X선을 검출하는 X선 검출부를 포함하고, 상기 소형 X선 거울 및 분광기는 상기 소오스를 수용하는 하우징의 일측에 연결되며, 상기 하우징과 소형 X선 거울의 사이 및 상기 소형 X선 거울과 분광기의 사이에 위치 컨트롤러가 구비되어 상기 소형 X선 거울 및 분광기의 설치각도를 제어하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01B 15/04 (2006.01) G21K 7/00 (2006.01) G01N 23/04 (2006.01)
CPC G21K 7/00(2013.01) G21K 7/00(2013.01) G21K 7/00(2013.01)
출원번호/일자 1020100027098 (2010.03.26)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0997419-0000 (2010.11.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20101130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.26)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전인수 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정성종 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층 (서초동, 영동빌딩)(제이앤케이국제특허사무소)
2 정철오 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)
3 김영록 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0192128-75
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0246353-31
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0278496-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0273683-62
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0466045-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0466041-06
7 등록결정서
Decision to grant
2010.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0428137-46
8 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-1020617-14
9 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-1020615-23
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부로부터 전력을 공급받아 X선을 발생시키는 소오스;상기 소오스에 인접하여 구비되고 상기 소오스로부터 발생되는 X선을 집광하여 고강도 평행 X선으로 유도하는 소형 X선 거울;상기 소형 X선 거울과 이격 배치되고 고강도 평행 X선을 고강도 단일파장 평행 X선으로 추출하는 분광기;상기 분광기와 이격 배치되고 상기 분광기와의 사이에 구비된 측정대상물을 투과한 고강도 단일파장 평행 X선을 필터링하여 탄성산란을 제거하는 필터부;상기 필터부에 의하여 필터링된 고강도 단일파장 평행 X선을 검출하는 X선 검출부;를 포함하고,상기 소형 X선 거울 및 분광기는 상기 소오스를 수용하는 하우징의 일측에 연결되며, 상기 하우징과 소형 X선 거울의 사이 및 상기 소형 X선 거울과 분광기의 사이에 위치 컨트롤러가 구비되어 상기 소형 X선 거울 및 분광기의 설치각도를 제어하는 것을 특징으로 하는 3차원 X선 현미경 구조
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제 1 항에 있어서, 상기 X선 검출부는 상기 필터부에서 필터링된 고강도 단일파장 평행 X선을 가시광선으로 변환시키는 박막 섬광체;상기 박막 섬광체에 의하여 변환된 가시광선을 확대하는 렌즈부;상기 렌즈부에 의하여 확대된 가시광선을 반사시키는 반사 거울 및 상기 반사 거울로부터 반사된 가시광선을 기록하는 영상 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 X선 현미경 구조
3 3
제 1 항에 있어서,상기 필터부는 DOD(Dynamic Oblique Deposition) 기법으로 형성된 나노스프링 박막 필터인 것을 특징으로 하는 3차원 X선 현미경 구조
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제 1 항에 있어서, 상기 분광기는CMP(ChemicAl MechanicAl Polishing) 작업을 거친 100~200㎛ 두께의 Si(실리콘) 기판에 밀도가 서로 다른 두 종류의 금속층을 반복하여 적층함으로써 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 X선 현미경 구조
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3차원 X선 현미경 구조에서 사용되는 소형 X선 거울의 제조방법은, 미리 설계된 기하학적 형상을 바탕으로 코어를 제작하는 단계(S110);상기 코어의 상부에 희생층 또는 SAM(Self Assembled Monolayer)를 설치하는 단계(S120);상기 희생층 또는 SAM의 상부에 밀도가 서로 다른 두 종류의 금속층으로 구성된 다중 박막 적층을 형성하는 단계(S130);상기 다중 박막 적층의 상부에 보강재를 도포하여 다중 박막 적층 X선 거울을 형성하는 단계(S140);상기 다중 박막 적층 X선 거울과 코어를 분리하는 단계(S150);로 구성되는 것을 특징으로 하는 소형 X선 거울의 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 코어는 알루미늄 금속판에 니켈을 코팅한 후 중심선 평균 거칠기(Ra)= 1~3nm 사이의 표면 정밀도로 가공하고 SAM을 설치할 경우, 금(gold)을 도포하는 것을 특징으로 하는 소형 X선 거울의 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 다중 박막 적층은 소형 X선 거울에 대한 X선 반사율 계산을 재실시한 후 밀도가 서로 다른 두 종류의 금속층(A, B)의 적정 두께비 tA/tB를 결정하는 것을 특징으로 하는 소형 X선 거울의 제조방법
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제 15 항에 있어서,보강재는 금속재료 후막 또는 SU8과 같은 폴리머를 사용하는 것을 특징으로 하는 소형 X선 거울의 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국연구재단 전남대학교 방사선기술개발사업/첨단비파괴검사기술 X-선 산란 효과 보정을 통한 초고분해능 X-선 시스템의 개발과 획득한 초고해상도 영상을 이용한 새로운 비파괴 분석기법의 확립