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알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법

  • 기술번호 : KST2014027198
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 퓨록산분자(furoxan molecule)를 이용한 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 극자외선을 사용하여 극자외선에 의한 퓨록산분자막의 변화를 유도하여 알카인(alkyne)화합물의 단분자막을 국소적으로 기판의 표면상에 형성시킬 수 있기 때문에 선택적으로 미세한 부분에 알카인(alkyne)화합물의 단분자막에 다른 화학분자를 반응시킬 수 있는 기초기술을 제공한다. 퓨록산, 극자외선, 자기조립분자막, 삼중결합
Int. CL G03F 7/26 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01)
출원번호/일자 1020080068395 (2008.07.15)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1027513-0000 (2011.03.30)
공개번호/일자 10-2010-0008022 (2010.01.25) 문서열기
공고번호/일자 (20110406) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.07.15)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황찬국 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 허정무 대한민국 서울특별시 마포구
3 김정숙 대한민국 서울특별시 구로구
4 황광진 대한민국 대전광역시 유성구
5 황한나 대한민국 서울특별시 동대문구
6 박준원 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태동 대한민국 서울특별시 구로구 가마산로 ***, ***호(구로동, 대림오피스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0506485-22
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0513432-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2009-0020942-19
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0353545-24
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0658423-36
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.10.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0658422-91
8 등록결정서
Decision to grant
2011.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0100987-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 위에 퓨록산(furoxan)분자막을 형성시키는 분자막형성단계; 및 상기 시료준비단계에서 형성된 퓨록산분자막에 극자외선(EUV : Extreme Ultra Violet)을 조사하는 광조사단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 분자막형성단계는 상기 퓨록산분자막을 형성시킬 기판을 세정하는 기판세정단계; APDES((3-aminoproryl)diethoxymethylsilane)분자막을 상기 기판세정단계에서 세정된 기판의 표면 위에 형성시키는 APDES분자막형성단계; 및 상기 APDES분자막형성단계에서 형성된 상기 APDES분자막에 퓨록산화합물을 반응시키어 퓨록산분자막을 형성시키는 퓨록산분자막형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 광조사단계는 상기 분자막형성단계에서 퓨록산분자막이 형성된 기판을 초고진공상태의 챔버 내에 위치시킨 상태에서 극자외선을 조사함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 퓨록산분자막을 형성하는 퓨록산분자는 FCA(3-Methyl-4-furoxancarbaldehyde)분자 또는 FBA(3-phenyl-4furoxanbenzaldehyde)분자인 것을 특징으로 하는 알카인(alkyne)화합물의 단분자막형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.