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어닐링공정에서의 결정성장 모니터링방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2014027317
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 노내의 가열 온도에 대한 시편의 에너지수치를 모니터링시켜 결정립 크기를 모니터링함으로써, 과도한 결정립 성장을 방지할 수 있도록 한 어닐링 공정에서의 결정성장 모니터링 방법 및 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 노 내에 시편을 장입하고, 이를 가열 및 냉각하는 어닐링 열처리 공정을 모니터링하는 것에 있어서, 열처리하고자 하는 시편의 결정성장 활성화에너지를 콘트롤러에 입력하고, 수학식1에 의해 결정립 크기를 예측할 수 있는 누적에너지수치를 계산하여, 이를 콘트롤러에 모니터링시키며, 콘트롤러에 모니터링되는 누적에너지수치와 동기화되어 시편의 결정립 크기를 실시간 모니터링시키는 것을 특징으로 한다. 상기한 구성에 따라, 누적에너지수치에 대응하여 성장하는 결정립 크기를 콘트롤러에 실시간 모니터링시키므로, 결정립 성장이 과도하게 성장되는 것을 억제하여 원하는 미세 조직의 동도금 제품을 획득할 수 있는 효과가 있고, 제품의 품질을 제어할 수 있을 뿐만 아니라 공정 중에 불량품을 예측할 수 있어 불량품의 생산을 방지할 수도 있는 효과도 있다. PCB, 어닐링, 결정성장, 콘트롤러, 결정성장 활성화에너지.
Int. CL H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020090011619 (2009.02.12)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1041627-0000 (2011.06.08)
공개번호/일자 10-2010-0092315 (2010.08.20) 문서열기
공고번호/일자 (20110615) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안경준 대한민국 서울 강남구
2 전중환 대한민국 서울 양천구
3 이효수 대한민국 인천 연수구
4 권혁천 대한민국 서울 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유종정 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 *, ***호(역삼동, 강남역센트럴푸르지오시티)(오주특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 지에이전자 인천광역시 남동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0088558-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.02.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0011899-56
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0574459-78
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0853934-29
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.12.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0853925-18
8 등록결정서
Decision to grant
2011.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0279573-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
노 내에 시편을 장입하고, 이를 가열 및 냉각하는 어닐링 열처리 공정을 모니터링하는 방법에 있어서, 열처리하고자 하는 시편의 결정성장 활성화에너지(Q)를 콘트롤러(10)에 입력하는 제1단계(S10)와; 열처리 과정에서 실시간 측정되는 노 내의 가열온도와 가열 유지시간과 시편의 결정성장 활성화에너지(Q)를 수학식1에 의해 계산하여 결정립 크기를 예측할 수 있는 누적에너지수치(Θ)를 구하고, 이를 콘트롤러(10)에 모니터링시키는 제2단계(S20)와; 콘트롤러(10)에 모니터링되는 누적에너지수치(Θ)와 동기화되어 상기 시편의 결정립 크기가 실시간 모니터링되는 제3단계(S30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링공정에서의 결정성장 모니터링방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 시편의 결정립 성장이 필요한 경우에는 시편을 계속해서 가열하여 누적에너지수치(Θ)를 상승시키고, 시편의 결정립 성장이 불필요한 경우에는 시편을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 어닐링공정에서의 결정성장 모니터링방법
3 3
노 내에 시편을 장입하고, 이를 가열 및 냉각하는 어닐링 열처리 공정을 모니터링하는 장치에 있어서, 노 내의 가열온도와 가열 유지시간을 표시할 수 있도록 콘트롤러(10) 전면에 가열온도표시부(11)와 가열 유지시간표시부(12)를 각각 구비하고, 시편의 결정립 크기를 예측할 수 있는 누적에너지수치(Θ)를 수학식1에 의해 계산하여 표시할 수 있도록 상기 콘트롤러(10) 전면에 누적에너지표시부(13)를 구비하며, 상기 누적에너지수치(Θ)와 동기화되어 성장하는 시편의 결정립 크기를 실시간 표시할 수 있도록 콘트롤러(10) 전면에 결정립크기표시부(14)를 구비한 것을 특징으로 하는 어닐링공정에서의 결정성장 모니터링방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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