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웨이퍼 표면 측정데이터를 가시화하기 위한 데이터 처리방법으로서,각 측정 지점에서의 측정값을 데이터 배열인 Gf,g 를 G 데이터 배열로 정의(s110)하고, G 데이터 배열보다 크게 형성되며 G 데이터 배열이 복사된 가상의 데이터 배열인 Fi,j 를 F 데이터 배열로 정의(s120)하는 단계(s100);상기 F 데이터 배열에서 G 데이터 배열에 해당하는 측정값을 유효 데이터로 확정하는 단계(s200);상기 F 데이터 배열에서 G 데이터 배열외의 값을 추정하여 이를 유효 데이터로 확정하는 단계(s300); 및상기 F 데이터 배열의 각 지점 사이의 공간에서 유효 데이터 사이의 값을 보간하여 산출하는 단계(s400)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 1 에 있어서,상기 단계(s100)에서 F 데이터 배열과 동일한 크기를 같는 B 데이터 배열을 설정하고 다음과 같이 정의하는 단계(s130)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 2 에 있어서,상기 단계(s130)에서 Bi,j 값은 F 데이터 배열에서 Gf,g 가 복사된 부분에 대응하는 지점에 대하여는 1 로 설정되고, F 데이터 배열에서 Gf,g 가 복사된 부분에 대응하는 지점외의 지점에 대하여는 0 으로 설정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 2 또는 청구항 3 에 있어서,상기 단계(s100)에서 F 데이터 배열과 동일한 크기를 같는 C 데이터 배열을 다음과 같이 정의하는 단계 (s140)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 4 에 있어서,상기 단계(s140)에서 C 데이터 배열의 초기값이 모두 0으로 셋팅되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 2 또는 청구항 3 에 있어서,상기 단계(s200)는, F 데이터 배열의 유효 데이터인 Gf,g 값을 미리 설정된 설정치와 비교하는 단계(s210);F 데이터 배열의 유효 데이터인 Gf,g 값이 미리 설정된 설정치와 특정관계를 만족하는 지 여부를 판단하는 단계(s220); 및F 데이터 배열의 유효 데이터인 Gf,g 값이 설정된 설정치와 특정관계를 만족하는 경우 다음 식에 의해 산출된 유효 데이터를 해당 지점에서의 유효 데이터로 설정하는 단계(s230)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 6 에 있어서,상기 F 데이터 배열의 모든 지점에 대해 단계(s210) 내지 단계(s230)을 수행하는 단계(s240)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 6 에 있어서,상기 단계(220)에서 F 데이터 배열의 유효 데이터인 Gf,g 값과 미리 설정된 설정치와 특정관계는 다음의 식 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 5 에 있어서,B 데이터 배열에서 각각의 Bi,j 값을 확인하는 단계(s310);B 데이터 배열에서 각각의 Bi,j 값이 0 인지 여부를 판단하는 단계(s320);Bi,j 값이 0 인 경우에는 해당하는 Fi,j 값을 이 지점 주변의 유효 데이터를 갖는 지점의 데이터을 이용하여 다음 식에 의해 산출된 값으로 선정하는 단계(s330); 단계(s330)에서 Fi,j 값이 신규로 선정된 경우 이에 대응하는 C 데이터 배열의 해당 지점에 대해 Ci,j = 1 로 설정하고, 이에 대응하는 B 데이터 배열의 해당 지점에 대해 Bi,j = 1 로 설정하는 단계(s340)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 9 에 있어서,상기 단계(s340) 이후에 다음 조건을 만족하는 지 여부를 판단하고 만족하지 못하는 경우 단계(s310) 내지 단계(s340)을 반복 실행하는 단계(s350)를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 10 에 있어서,상기 단계(s350)에서 단계(s310) 내지 단계(s340)을 반복 실행하기 이전에 Ci,j 를 1 로 셋팅하는 단계(s360)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 1 에 있어서,상기 단계(s400)는,F 데이터 배열에서 (i,j) 번째 지점, (i,j-1) 번째 지점, (i-1,j) 번째 지점, 및 (i-1,j-1) 번째 지점의 4개의 지점으로 형성되는 사각형 공간의 내부 보간지점(x,y)과 이 보간지점을 둘러싸는 상기 4개의 지점과의 거리의 합을 다음 식에 의해 산출하는 단계(s410); , , (0 003c# x 003c# c, 0 003c# y 003c# d, 단, c 는 데이터 배열에서 각 지점사이의 횡방향 간격, d 는 데이터 배열에서 각 지점사이의 종방향 간격임) (단, L(x,y)는 점 (x,y)를 둘러싼 4개의 지점과 거리의 합, k 는 지수평균계수임)보간지점(x,y)에서의 유효 데이터값인 Fi,j(x,y) 를 다음과 같은 지수평균식에 의해 산출하는 단계(s420)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 12 에 있어서,상기 F 데이터 배열을 구성하는 지점 사이의 공간인 m×n 공간 모두에 대해 단계(s410) 및 단계(s420)를 수행하여 보간지점(x,y)에서의 유효 데이터값인 Fi,j(x,y)를 모두 산출하는 단계(s430)를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 측정 데이터 처리방법
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청구항 12 에 있어서,상기 k 는 1
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