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마이크로 점도계

  • 기술번호 : KST2014027422
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 점도계에 관한 것으로서, 유체의 점성을 측정하는 마이크로 점도계로서, 유체의 유입구 및 유출구가 각각 형성되는 기판과, 유입구 및 유출구에 각각 연결되도록 기판에 형성되는 가진용 동공 및 센싱용 동공과, 가진용 동공 및 센싱용 동공을 서로 연결시키는 마이크로채널과, 가진용 동공 및 센싱용 동공의 일측에 내측의 유체와 함께 진동하도록 각각 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판과, 가진용 진동판에 진동을 가하여 가진용 동공내의 유체에 진동을 가하는 가진수단과, 가진수단의 진동에 의해 마이크로채널을 통해서 센싱용 진동판에 전달되는 유체의 진동이나 압력을 유체의 점성 측정을 위해 센싱하는 센싱수단을 포함한다. 따라서, 본 발명은 MEMS(Micro-Electro Mechanical Systems) 구조물을 이용하여 유체의 점성을 측정함으로써 극소량의 유체만으로도 점성이나 그 변화율을 측정할 수 있고, 이로 인해 구하기 힘들거나 고가인 시약이나 기체의 점도를 측정할 수 있으며, 중력의 영향을 받지 않기 때문에 점도계의 위치가 어떤 방향으로 놓여 있더라도 자유로운 측정이 가능하고, 작은 크기를 가지기 때문에 독립적인 장비로 사용됨은 물론 다른 장비의 부품을 이루더라도 많은 부피를 차지하지 않으며, 점도를 효율적으로 신속하게 측정할 수 있는 효과를 가지고 있다.
Int. CL G01N 11/16 (2006.01.01) G01N 11/04 (2006.01.01) G01M 7/02 (2006.01.01) B01J 19/00 (2018.01.01)
CPC G01N 11/16(2013.01) G01N 11/16(2013.01) G01N 11/16(2013.01) G01N 11/16(2013.01)
출원번호/일자 1020060044516 (2006.05.18)
출원인 포항공과대학교 산학협력단, 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0741262-0000 (2007.07.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.18)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문원규 대한민국 경북 포항시 남구
2 최성준 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
2 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0345847-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0010935-41
4 등록결정서
Decision to grant
2007.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0359548-18
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2007-5195152-79
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유체의 점성을 측정하는 마이크로 점도계로서,유체의 유입구 및 유출구가 각각 형성되는 기판과,상기 유입구 및 상기 유출구에 각각 연결되도록 상기 기판에 형성되는 가진용 동공 및 센싱용 동공과,상기 가진용 동공 및 상기 센싱용 동공을 서로 연결시키는 마이크로채널과,상기 가진용 동공 및 상기 센싱용 동공의 일측에 내측의 유체와 함께 진동하도록 각각 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판과,상기 가진용 진동판에 진동을 가하여 상기 가진용 동공내의 유체에 진동을 가하는 가진수단과,상기 가진수단의 진동에 의해 상기 마이크로채널을 통해서 상기 센싱용 진동판에 전달되는 유체의 진동이나 압력을 유체의 점성 측정을 위해 센싱하는 센싱수단을 포함하는 마이크로 점도계
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은,상기 가진용 동공 및 상기 센싱용 동공과 상기 마이크로채널이 각각 형성되는 본체와,상기 본체 내측의 유체를 외부에서 확인할 수 있도록 상기 본체에 본딩되는 투명재질의 커버를 포함하는 마이크로 점도계
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 본체는 실리콘 웨이퍼로 이루어지며, 상기 본체에 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판은 상기 실리콘 웨이퍼에 증착되는 실리콘나이트라이드막인 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 본체는 실리콘 이중막 웨이퍼로 이루어지며, 상기 본체에 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판은 상기 실리콘 이중막 웨이퍼에 증착되는 실리콘막인 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
5 5
제 2 항에 있어서, 상기 커버는,글래스 웨이퍼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 가진수단은,제 1 압전체 양측에 제 1 전극이 각각 마련되어 상기 가진용 진동판에 설치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 센싱수단은,제 2 압전체 양측에 제 2 전극이 각각 마련되어 상기 센싱용 진동판에 설치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 기판의 유입구 및 유출구측에 유체의 이동을 개폐하기 위한 개폐밸브가 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.