1 |
1
유체의 점성을 측정하는 마이크로 점도계로서,유체의 유입구 및 유출구가 각각 형성되는 기판과,상기 유입구 및 상기 유출구에 각각 연결되도록 상기 기판에 형성되는 가진용 동공 및 센싱용 동공과,상기 가진용 동공 및 상기 센싱용 동공을 서로 연결시키는 마이크로채널과,상기 가진용 동공 및 상기 센싱용 동공의 일측에 내측의 유체와 함께 진동하도록 각각 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판과,상기 가진용 진동판에 진동을 가하여 상기 가진용 동공내의 유체에 진동을 가하는 가진수단과,상기 가진수단의 진동에 의해 상기 마이크로채널을 통해서 상기 센싱용 진동판에 전달되는 유체의 진동이나 압력을 유체의 점성 측정을 위해 센싱하는 센싱수단을 포함하는 마이크로 점도계
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은,상기 가진용 동공 및 상기 센싱용 동공과 상기 마이크로채널이 각각 형성되는 본체와,상기 본체 내측의 유체를 외부에서 확인할 수 있도록 상기 본체에 본딩되는 투명재질의 커버를 포함하는 마이크로 점도계
|
3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 본체는 실리콘 웨이퍼로 이루어지며, 상기 본체에 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판은 상기 실리콘 웨이퍼에 증착되는 실리콘나이트라이드막인 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
|
4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 본체는 실리콘 이중막 웨이퍼로 이루어지며, 상기 본체에 마련되는 가진용 진동판 및 센싱용 진동판은 상기 실리콘 이중막 웨이퍼에 증착되는 실리콘막인 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
|
5 |
5
제 2 항에 있어서, 상기 커버는,글래스 웨이퍼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 가진수단은,제 1 압전체 양측에 제 1 전극이 각각 마련되어 상기 가진용 진동판에 설치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
|
7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 센싱수단은,제 2 압전체 양측에 제 2 전극이 각각 마련되어 상기 센싱용 진동판에 설치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
|
8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 기판의 유입구 및 유출구측에 유체의 이동을 개폐하기 위한 개폐밸브가 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
|