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기판상에 철(Fe) 및 비소(As)를 포함하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟을 제조하는 방법에 있어서,
스트론튬(Sr), 코발트(Co), 철(Fe) 및 비소(As)를 상기 목적하는 초전도성 박막을 이루는 화합물의 화학양론수(stoichiometric number)에 해당하는 몰비만큼 혼합하고, 상기 비소(As)를 추가로 첨가하여 혼합하는 혼합단계;
상기 혼합된 물질들을 열처리하고, 분쇄하는 열처리단계; 및
상기 열처리된 물질을 성형하고, 열처리하는 성형단계를 포함하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 비소의 추가된 첨가량은, 비소의 화학양론수에 해당하는 몰비 대비 5 내지 50%인 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 철-비소 기반 초전도성 박막을 이루는 화합물은,
SrFe2-xCoxAs2, 여기서 0
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제1항에 있어서,
상기 혼합단계에 사용되는 비소의 일부는 철과 1:1의 몰비로 미리 반응시켜 비화철(FeAs) 형태로 첨가하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 열처리단계는, 석영(quartz) 또는 알루미나 재질의 용기 내에 상기 혼합된 물질을 수용하고 밀폐시킨 후 진공상태에서 수행하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 열처리단계는,
상온에서 500 내지 750℃까지 승온한 후, 5 내지 15 시간 동안 유지하는 제1열처리단계; 및
800 내지 1200℃까지 승온한 후, 5 내지 15시간 동안 유지하는 제2열처리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 성형단계는, 상기 열처리단계를 거친 물질을 비활성 기체 환경 하에서 분쇄하고, 몰드에 장입한 후, 이를 3 내지 15톤의 압력으로 가압하여 수행하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 성형단계는,
상기 열처리된 물질을 성형한 후, 석영 또는 알루미나 재질의 용기 내에 상기 혼합된 물질을 수용하고 밀폐시킨 후 진공상태에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 성형단계는,
상기 열처리된 물질을 성형한 후,
상온에서 500 내지 750℃까지 승온한 후, 5 내지 10 시간 동안 유지하는 제1성형열처리단계; 및
제1성형열처리단계 이후, 600 내지 900℃까지 승온한 후, 5 내지 10시간 동안 유지하는 제2성형열처리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막용 타겟 제조방법
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