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20℃ 내지 70℃의 용융점을 갖는 도전성 입자; 및
상기 도전성 입자의 융점보다 높은 경화온도를 갖는 폴리머를 포함하는 이방성 도전 접속제
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제 1 항에 있어서,
상기 도전성 입자는 갈륨 및 갈륨계 합금으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접속제
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제 1 항에 있어서,
상기 폴리머는 열가소성 수지, 열경화성 수지 및 광반응성 수지로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접속제
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(a) 20℃ 내지 70℃의 용융점을 갖는 도전성 입자와 상기 도전성 입자의 융점보다 높은 경화온도를 갖는 폴리머를 포함하는 이방성 도전 접속제를 표면에 제 1 웨팅영역이 형성된 제 1 기판과 상기 제 1 웨팅영역에 대응되는 제 2 웨팅영역이 형성된 제 2 기판의 사이에 배치시키는 단계; 및
(b)상기 이방성 도전 접속제를 상기 폴리머의 경화가 완료되지 않는 온도까지 가열하여 각 웨팅영역의 표면에 도전층을 형성하여 제 1 웨팅영역과 제 2 웨팅영역을 전기적으로 접속시키는 단계를 포함하는 단자 간의 접속방법
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제 4 항에 있어서,
상기 도전성 입자는 갈륨 및 갈륨계 합금으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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6
제 4 항에 있어서,
상기 폴리머는 열가소성 수지, 열경화성 수지 및 광반응성 수지로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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7
제 4 항에 있어서,
상기 이방성 도전 접속제는 표면활성화 수지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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8
제 4 항에 있어서,
각 웨팅영역은 도전성 패드로 형성된 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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9
제 8 항에 있어서,
상기 도전성 패드는 기판 표면에 형성된 제 1 금속층 및 제 1 금속층의 표면에 형성된 제 2 금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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10
제 9 항에 있어서,
상기 제 2 금속층은 니켈 또는 금으로 형성된 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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제 4 항에 있어서,
상기 폴리머가 광경화성 수지인 경우, 도전성 입자의 융점 이상으로 가열한 후 자외선을 조사하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 단자 간의 접속방법
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